JP2008190012A - 巻取式真空成膜装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明に係る巻取式真空成膜(蒸着)装置10は、冷却用キャンローラ14と除電ユニット23の間に、除電ユニット23からキャンローラ14へ向かう荷電粒子を捕捉する電荷捕捉体25を設けることで、除電ユニット25から漏出した荷電粒子がキャンローラ14へ到達することを阻止して、キャンローラ14に印加されたフィルム密着用のバイアス電位の変動を抑止し、フィルム12に対する静電力を安定に保持する。これにより、フィルム12とキャンローラ14の間の密着力が安定に保持されるので、フィルム12の熱変形が防止されることになる。
【選択図】図1
Description
11 真空チャンバ
12 フィルム
13 巻出しローラ
14 キャンローラ(冷却用ローラ)
15 巻取りローラ
16 蒸発源(成膜手段)
18 補助ローラ
20 パターン形成ユニット
21 電子ビーム照射器(荷電粒子照射手段)
22 直流バイアス電源(電圧印加手段)
23 除電ユニット
24 ピンホール検出器
25 電荷捕捉体
Claims (4)
- 真空チャンバと、この真空チャンバの内部で絶縁性のフィルムを搬送する搬送手段と、前記フィルムと密着して当該フィルムを冷却する冷却用ローラと、前記冷却用ローラに対向配置され当該フィルムに金属膜を成膜する成膜手段と、前記フィルムの成膜面に接触して当該フィルムの走行をガイドする補助ローラと、前記冷却用ローラと前記補助ローラとの間に直流電圧を印加する電圧印加手段と、前記フィルムをプラズマ処理によって除電する除電手段とを備えた巻取式真空成膜装置において、
前記冷却用ローラと前記除電ユニットとの間に、前記除電ユニットから前記冷却用ローラへ向かう荷電粒子を捕捉する電荷捕捉体を設けたことを特徴とする巻取式真空成膜装置。 - 前記電荷捕捉体は、接地電位に接続された金属製のメッシュプレートからなることを特徴とする請求項1に記載の巻取式真空成膜装置。
- 成膜前の前記フィルムに対して荷電粒子を照射する荷電粒子照射手段を備えたことを特徴とする請求項1に記載の巻取式真空成膜装置。
- 前記フィルムに成膜された金属膜中のピンホールを電気的に検出する検出手段を備えたことを特徴とする請求項1に記載の巻取式真空成膜装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Applications Claiming Priority (1)
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JP2007027431A JP4803742B2 (ja) | 2007-02-07 | 2007-02-07 | 巻取式真空成膜装置 |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2008190012A true JP2008190012A (ja) | 2008-08-21 |
JP4803742B2 JP4803742B2 (ja) | 2011-10-26 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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Country Status (1)
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JP (1) | JP4803742B2 (ja) |
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JP4803742B2 (ja) | 2011-10-26 |
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