JP4803742B2 - 巻取式真空成膜装置 - Google Patents
巻取式真空成膜装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4803742B2 JP4803742B2 JP2007027431A JP2007027431A JP4803742B2 JP 4803742 B2 JP4803742 B2 JP 4803742B2 JP 2007027431 A JP2007027431 A JP 2007027431A JP 2007027431 A JP2007027431 A JP 2007027431A JP 4803742 B2 JP4803742 B2 JP 4803742B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- roller
- static elimination
- type vacuum
- winding
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Description
11 真空チャンバ
12 フィルム
13 巻出しローラ
14 キャンローラ(冷却用ローラ)
15 巻取りローラ
16 蒸発源(成膜手段)
18 補助ローラ
20 パターン形成ユニット
21 電子ビーム照射器(荷電粒子照射手段)
22 直流バイアス電源(電圧印加手段)
23 除電ユニット
24 ピンホール検出器
25 電荷捕捉体
Claims (4)
- 真空チャンバと、この真空チャンバの内部で絶縁性のフィルムを搬送する搬送手段と、前記フィルムと密着して当該フィルムを冷却する冷却用ローラと、前記冷却用ローラに対向配置され当該フィルムに金属膜を成膜する成膜手段と、前記フィルムの成膜面に接触して当該フィルムの走行をガイドする補助ローラと、前記冷却用ローラと前記補助ローラとの間に直流電圧を印加する電圧印加手段と、前記フィルムをプラズマ処理によって除電する除電手段とを備えた巻取式真空成膜装置において、
前記冷却用ローラと前記除電ユニットとの間に、前記除電ユニットから前記冷却用ローラへ向かう荷電粒子を捕捉する電荷捕捉体を設けたことを特徴とする巻取式真空成膜装置。 - 前記電荷捕捉体は、接地電位に接続された金属製のメッシュプレートからなることを特徴とする請求項1に記載の巻取式真空成膜装置。
- 成膜前の前記フィルムに対して荷電粒子を照射する荷電粒子照射手段を備えたことを特徴とする請求項1に記載の巻取式真空成膜装置。
- 前記フィルムに成膜された金属膜中のピンホールを電気的に検出する検出手段を備えたことを特徴とする請求項1に記載の巻取式真空成膜装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007027431A JP4803742B2 (ja) | 2007-02-07 | 2007-02-07 | 巻取式真空成膜装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007027431A JP4803742B2 (ja) | 2007-02-07 | 2007-02-07 | 巻取式真空成膜装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008190012A JP2008190012A (ja) | 2008-08-21 |
JP4803742B2 true JP4803742B2 (ja) | 2011-10-26 |
Family
ID=39750378
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007027431A Active JP4803742B2 (ja) | 2007-02-07 | 2007-02-07 | 巻取式真空成膜装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4803742B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8673078B2 (en) | 2008-11-05 | 2014-03-18 | Ulvac, Inc. | Take-up vacuum processing apparatus |
CN101798681B (zh) * | 2010-03-30 | 2011-10-26 | 袁惠芬 | 卷绕式真空镀膜设备 |
JP6526186B2 (ja) * | 2015-05-15 | 2019-06-05 | 株式会社アルバック | 基板除電機構及びこれを用いた真空処理装置 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5027418B2 (ja) * | 2005-01-12 | 2012-09-19 | 東レ株式会社 | シートの薄膜形成装置および薄膜付きシートの製造方法 |
CN100562602C (zh) * | 2005-02-16 | 2009-11-25 | 株式会社爱发科 | 卷取式真空成膜装置 |
JP3795518B2 (ja) * | 2006-03-01 | 2006-07-12 | 株式会社アルバック | 巻取式真空蒸着装置及び巻取式真空蒸着方法 |
-
2007
- 2007-02-07 JP JP2007027431A patent/JP4803742B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2008190012A (ja) | 2008-08-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
WO2009128132A1 (ja) | 巻取式真空成膜装置 | |
JP5059597B2 (ja) | 巻取式真空成膜装置 | |
JP4516304B2 (ja) | 巻取式真空蒸着方法及び巻取式真空蒸着装置 | |
JP3795518B2 (ja) | 巻取式真空蒸着装置及び巻取式真空蒸着方法 | |
JP5828770B2 (ja) | 真空成膜装置 | |
JP4803742B2 (ja) | 巻取式真空成膜装置 | |
JP5056114B2 (ja) | シートの薄膜形成装置および薄膜付きシートの製造方法 | |
JP4850905B2 (ja) | 巻取式真空蒸着装置 | |
JP6413832B2 (ja) | シートの薄膜形成装置および薄膜付きシートの製造方法 | |
TWI397604B (zh) | 捲取式真空成膜裝置 | |
JP2010163693A (ja) | 巻取式真空蒸着方法 | |
JP4613046B2 (ja) | 圧力勾配型イオンプレーティング式成膜装置 | |
JP4516444B2 (ja) | 巻取式真空成膜装置 | |
JP2020030936A (ja) | 除電装置 | |
JP2016084494A (ja) | 薄膜形成装置および薄膜形成方法 | |
RU2449050C1 (ru) | Установка вакуумного осаждения намоточного типа | |
JP6520762B2 (ja) | シートの帯電密着装置、シートの真空成膜装置、および薄膜付きシートの製造方法 | |
KR102062442B1 (ko) | 기판 제전 기구 및 이것을 사용한 진공 처리 장치 | |
JP2021513004A (ja) | 堆積装置、フレキシブル基板をコーティングする方法、及びコーティングを有するフレキシブル基板 | |
JP2017160529A (ja) | 真空成膜装置および真空成膜方法 | |
TW202309348A (zh) | 加工塑膠薄膜之製造方法 | |
JPH09143698A (ja) | 連続イオンプレーティング装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090730 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110203 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110802 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110805 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4803742 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140819 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |