JP2008185144A - 直動装置及びその使用方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】直動案内装置は、転動体転動溝10を有し軸方向に延びる案内レール1と、転動体転動溝10に対向する転動体転動溝11を有するスライダ2と、転動体転動溝10,11で形成される転動体転動路14内に転動自在に装填された多数の転動体3と、を備えており、転動体3の転動を介してスライダ2が軸方向に直線移動可能とされている。転動体3は金属又はセラミックからなり、各転動体3の間にはスペーサーは介装されていない。転動体転動溝10の内面,転動体転動溝11の内面,転動体3の表面の少なくとも1つには、オイルプレーティング処理により、20℃における蒸気圧が1×10-5Pa以下の炭化水素油系の潤滑油と、分子構造中に官能基を有する潤滑油と、フッ素樹脂とからなる潤滑剤で構成された潤滑膜が形成されている。
【選択図】図1
Description
そこで、本発明は、上記のような従来技術が有する問題点を解決し、発塵性,アウトガス性,耐荷重性,及び耐久性に優れる直動装置を提供することを課題とする。
炭化水素油系の潤滑油は、大きな滑り接触が生じる場合であっても優れた潤滑性を発揮するので、直動装置の耐久性の向上に有効である。また、炭化水素油系の潤滑油の20℃における蒸気圧は、低いほどアウトガスが少なく好ましい。20℃における蒸気圧が1×10-5Paを超えると、低アウトガス性が損なわれるおそれがある。
ダイヤモンドライクカーボン被膜により、軌道面や転動面に極微細な凹凸が形成されるため(ポーラス構造)、潤滑剤の保持性が向上して直動装置の耐久性が向上する。
さらに、本発明に係る請求項3の直動装置は、請求項1又は請求項2に記載の直動装置において、前記炭化水素油系の潤滑油を平均分子量2000以下のアルキル化シクロペンタンとしたことを特徴とする。
微細で非晶質なフッ素樹脂は、潤滑油が含浸してゲル状に膨潤する。その結果、軌道面や転動面における潤滑油の保持性が向上し、潤滑寿命が向上する。ただし、フッ素樹脂の粒径が大きいと、直動装置に対して異物として作用するおそれがあるため、安定した駆動が妨げられ、動摩擦力に異常変動が生じるおそれがある。また、フッ素樹脂の密度が大きいと結晶質となり、潤滑油が含浸しにくくなって、潤滑性が低下するおそれがある。
さらに、本発明に係る請求項5の直動装置は、請求項1〜4のいずれか一項に記載の直動装置において、前記案内部材,前記可動部材,及び前記転動体の少なくとも1つを、ステンレス鋼で構成したことを特徴とする。
さらに、本発明に係る請求項6の直動装置は、請求項1〜4のいずれか一項に記載の直動装置において、前記案内部材,前記可動部材,及び前記転動体の少なくとも1つを、非磁性材で構成したことを特徴とする。
さらに、本発明に係る請求項7の直動装置は、請求項1〜4のいずれか一項に記載の直動装置において、前記両軌道面の断面形状は、単一の円弧からなる円弧状又は曲率中心の異なる2つの円弧を組合せてなる略V字状であり、その円弧の曲率半径は前記転動体の直径の51.5%以上であることを特徴とする。
さらに、本発明に係る請求項8の直動装置は、請求項1〜7のいずれか一項に記載の直動装置において、前記潤滑膜の上に、前記潤滑剤を構成する前記炭化水素油系の潤滑油及び前記分子構造中に官能基を有する潤滑油、又は、前記両潤滑油を基油とするグリースを配したことを特徴とする。
前述したように、潤滑膜の上に、この潤滑膜を構成する潤滑剤に含まれる潤滑油や、該潤滑油を基油とするグリースを配して直動装置を駆動すると、潤滑性が向上し直動装置がより長寿命となる。潤滑膜の上に潤滑油やグリースを配した後に直動装置を駆動してもよいし、潤滑油やグリースの潤滑膜上への供給を駆動中に随時行ってもよい。
〔第一実施形態〕
図1は、本発明に係る直動装置の一実施形態である直動案内装置を示す斜視図であり、図2は、図1の直動案内装置を軸方向から見た正面図(ただし、エンドキャップを省略して図示している)である。
この案内レール1の上面と両側面1a,1aとが交差する稜線部には、軸方向に延びる断面ほぼ1/4円弧形状の凹溝からなる転動体転動溝10,10が形成され、また、案内レール1の両側面1a,1aの中間位置には、軸方向に延びる断面ほぼ半円形の凹溝からなる転動体転動溝10,10が形成されている。この転動体転動溝10の内面が、後述する転動体3が転動する軌道面を形成している。
さらに、スライダ本体2Aの両袖部6,6の内側面の角部には、案内レール1の転動体転動溝10,10に対向する断面ほぼ半円形の転動体転動溝11,11が形成され、両袖部6,6の内側面の中央部には、案内レール1の転動体転動溝10,10に対向する断面ほぼ半円形の転動体転動溝11,11が形成されている。この転動体転動溝11の内面が、後述する転動体3が転動する軌道面を形成している。
一方、図示はされていないが、断面略コ字状のエンドキャップ2B,2Bは、スライダ本体2Aとの当接面(裏面)に、転動体転動路14とこれに平行な転動体戻し路13とを連通させる半ドーナッツ状の湾曲路を有しており、これら転動体転動路14と転動体戻し路13と両端の湾曲路とで、略環状の転動体循環路が形成されている。この転動体循環路内には、例えば鋼球からなる多数の転動体(ボール)3が転動自在に装填されている。なお、各転動体3の間には、スペーサーは介装されていない。
このような直動案内装置の転動体転動溝10の内面,転動体転動溝11の内面,転動体3の表面(転動面)の少なくとも1つには、潤滑剤で構成された潤滑膜(図示せず)がオイルプレーティング処理により形成されている。この潤滑剤は、20℃における蒸気圧が1×10-5Pa以下の炭化水素油系の潤滑油と、分子構造中に官能基を有する潤滑油と、フッ素樹脂と、からなっている。
さらに、案内レール1,スライダ2,及び転動体3の少なくとも1つは、ステンレス鋼で構成されていることが好ましい。ステンレス鋼としては、例えば、マルテンサイト系ステンレス鋼であるSUS440Cや、オーステナイト系ステンレス鋼であるSUS316,SUS304があげられる。また、ステンレス鋼として焼結金属(MIM)を用いてもよい。さらに、転動体3を循環させる転動体戻し路13と湾曲路についてもステンレス鋼で構成し、オイルプレーティング処理により前記潤滑膜を形成すれば、転動体3が転動する前記転動体循環路全域において潤滑性が向上するので、直動案内装置の耐久性がより向上する。
ただし、転動体3は、金属又はセラミックスで構成する必要がある。
なお、潤滑膜の下層に、ダイヤモンドライクカーボン被膜を形成してもよい。
図3は、本発明に係る直動装置の一実施形態であるボールねじの断面図である。ボールねじは、断面円弧状の螺旋状のねじ溝21aを外周面に有するねじ軸21と、ねじ軸21のねじ溝21aに対向する断面円弧状の螺旋状のねじ溝22aを内周面に有しねじ軸21に螺合される円筒状のナット22と、ねじ軸21のねじ溝21aとナット22のねじ溝22aとで形成される断面ほぼ円形の螺旋状のボール転動路26に転動自在に装填された多数のボール23と、を備えている。なお、ねじ軸21が本発明の構成要件である案内部材に相当し、ナット22が本発明の構成要件である可動部材に相当する。また、ねじ溝21a,22aの内面が、ボール23が転動する軌道面を形成している。さらに、各ボール23の間には、スペーサーは介装されていない。
このようなボールねじのねじ溝21aの内面,ねじ溝22aの内面,ボール23の表面(転動面)の少なくとも1つには、潤滑剤で構成された潤滑膜(図示せず)がオイルプレーティング処理により形成されている。この潤滑剤は、20℃における蒸気圧が1×10-5Pa以下の炭化水素油系の潤滑油と、分子構造中に官能基を有する潤滑油と、フッ素樹脂と、からなっている。
以下に、さらに具体的な実施例を示して、本発明を説明する。第一実施形態の直動案内装置及び第二実施形態のボールねじとほぼ同様の構成を有する直動案内装置及びボールねじについて、その耐久性とアウトガス性を評価した。
直動案内装置は、案内レール及びスライダがSUS440C相当のステンレス鋼、転動体(直径2.778mm)がSUS440C、エンドキャップ(湾曲路)がSUS316相当のステンレス鋼で構成されており、予圧によって負荷が与えられている。
一方、ボールねじは、ねじ軸及びナットがSUS440C相当のステンレス鋼、ボールがSUS440C、ボールを循環させるリターンチューブがSUS304で構成されており、予圧によって負荷が与えられている。
直動案内装置及びボールねじのいずれにおいても、下記のような潤滑剤を用いたものを比較例として評価した。まず、比較例Aは、2種類のフッ素油からなる潤滑剤で構成された潤滑膜を、オイルプレーティング処理によって形成したものである。フッ素油の合計の含有量は、潤滑剤全体の5質量%とした。フッ素油としては、ダイキン工業株式会社製のフッ素系高性能オイルS−200及びデュポン株式会社製のクライトックスFSHを用いた。次に、比較例Bは、フッ素グリース(ダイキン工業株式会社製のデムナムL200)1cm3 を封入したものである。
直動案内装置及びボールねじのいずれにおいても、本発明に係る潤滑膜を備えた実施例は、比較例A,Bよりも長寿命であることが分かる。また、図4から分かるように、最大接触面圧が高いほど長寿命化効果が大きく、耐荷重性も優れていた。
Qc:チャンバーのアウトガス速度(Pa・m3 /s)
C :オリフィスのコンダクタンス(定数)(m3 /s)
P1:分析室チャンバー圧力(Pa)
P2:試料室チャンバー圧力(Pa)
図7から分かるように、本発明に係る潤滑膜を備えた実施例は、比較例A,Bよりもアウトガス性が良好であった。
耐久性を評価した前述の直動案内装置と同じものにおいて、案内レール及びスライダの軌道面の曲率比を種々変更したものを、実施例の直動案内装置として用意した。また、比較例の直動案内装置(比較例C)として、実施例の直動案内装置において、オイルプレーティング処理による潤滑膜を以下のものに変更したものを用意した。
結果を図8に示す。なお、図8のグラフに示した寿命の数値は、寿命に達するまでのスライダの走行距離が100kmである場合の寿命を1とした相対値である。例えば、寿命が10である場合は、寿命に達するまでのスライダの走行距離が1000kmである。
2 スライダ
2A スライダ本体
2B エンドキャップ
3 転動体
10 転動体転動溝
11 転動体転動溝
21 ねじ軸
21a ねじ溝
22 ナット
22a ねじ溝
23 ボール
Claims (9)
- 軌道面を有し軸方向に延びる案内部材と、前記案内部材の軌道面に対向する軌道面を有するとともに前記両軌道面の間に転動自在に配された複数の転動体の転動を介して軸方向に直線移動可能に前記案内部材に支持された可動部材と、を備え、前記転動体が金属又はセラミックからなり、前記各転動体の間にスペーサーが介装されていない直動装置において、
前記案内部材の軌道面,前記可動部材の軌道面,及び前記転動体の転動面の少なくとも1つに、オイルプレーティング処理により、20℃における蒸気圧が1×10-5Pa以下の炭化水素油系の潤滑油と、分子構造中に官能基を有する潤滑油と、フッ素樹脂とからなる潤滑剤で構成された潤滑膜を形成したことを特徴とする直動装置。 - 前記潤滑膜の下層にダイヤモンドライクカーボン被膜を形成したことを特徴とする請求項1に記載の直動装置。
- 前記炭化水素油系の潤滑油を平均分子量2000以下のアルキル化シクロペンタンとしたことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の直動装置。
- 前記フッ素樹脂は、粒径が10μm以下で密度が3g/cm3 以下であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の直動装置。
- 前記案内部材,前記可動部材,及び前記転動体の少なくとも1つを、ステンレス鋼で構成したことを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の直動装置。
- 前記案内部材,前記可動部材,及び前記転動体の少なくとも1つを、非磁性材で構成したことを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の直動装置。
- 前記両軌道面の断面形状は、単一の円弧からなる円弧状又は曲率中心の異なる2つの円弧を組合せてなる略V字状であり、その円弧の曲率半径は前記転動体の直径の51.5%以上であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の直動装置。
- 前記潤滑膜の上に、前記潤滑剤を構成する前記炭化水素油系の潤滑油及び前記分子構造中に官能基を有する潤滑油、又は、前記両潤滑油を基油とするグリースを配したことを特徴とする請求項1〜7のいずれか一項に記載の直動装置。
- 請求項1〜7のいずれか一項に記載の直動装置を使用する際には、前記潤滑剤を構成する前記炭化水素油系の潤滑油及び前記分子構造中に官能基を有する潤滑油、又は、前記両潤滑油を基油とするグリースを、前記潤滑膜の上に配した状態で、前記直動装置を駆動することを特徴とする直動装置の使用方法。
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