JP2008178021A5 - - Google Patents
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- 210000003165 Abomasum Anatomy 0.000 claims 1
- 241000745987 Phragmites Species 0.000 claims 1
- 235000014676 Phragmites communis Nutrition 0.000 claims 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims 1
- 238000009751 slip forming Methods 0.000 claims 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims 1
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007011703A JP5071623B2 (ja) | 2007-01-22 | 2007-01-22 | 音叉型圧電振動片集合体及び音叉型圧電振動片の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007011703A JP5071623B2 (ja) | 2007-01-22 | 2007-01-22 | 音叉型圧電振動片集合体及び音叉型圧電振動片の製造方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008178021A JP2008178021A (ja) | 2008-07-31 |
JP2008178021A5 true JP2008178021A5 (de) | 2010-03-04 |
JP5071623B2 JP5071623B2 (ja) | 2012-11-14 |
Family
ID=39704677
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007011703A Expired - Fee Related JP5071623B2 (ja) | 2007-01-22 | 2007-01-22 | 音叉型圧電振動片集合体及び音叉型圧電振動片の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5071623B2 (de) |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4409979B2 (ja) * | 2004-02-10 | 2010-02-03 | シチズンホールディングス株式会社 | 振動子 |
JP5239709B2 (ja) * | 2008-09-30 | 2013-07-17 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電振動片用の折り取り冶具、折り取り装置、不良品折り取りシステム |
JP2010258790A (ja) * | 2009-04-24 | 2010-11-11 | Goto Seiko:Kk | 水晶片の折り取り移載装置 |
JP2011160174A (ja) * | 2010-02-01 | 2011-08-18 | Seiko Epson Corp | 振動片基板及び音叉型振動片 |
JP5789914B2 (ja) * | 2010-02-05 | 2015-10-07 | セイコーエプソン株式会社 | 音叉型圧電振動片及び圧電デバイス |
US8283988B2 (en) * | 2010-02-25 | 2012-10-09 | Seiko Epson Corporation | Resonator element, resonator, oscillator, and electronic device |
JP5747964B2 (ja) * | 2013-08-21 | 2015-07-15 | セイコーエプソン株式会社 | 双音叉型圧電振動片 |
JP5725116B2 (ja) * | 2013-09-26 | 2015-05-27 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子及び発振器 |
JP5804026B2 (ja) * | 2013-11-13 | 2015-11-04 | 株式会社大真空 | 圧電ウェハ及び圧電振動片 |
WO2015072057A1 (ja) * | 2013-11-13 | 2015-05-21 | 株式会社大真空 | 圧電ウェハ、圧電振動片、及び圧電振動子 |
JP5783224B2 (ja) * | 2013-11-14 | 2015-09-24 | セイコーエプソン株式会社 | 電子機器 |
JP6678428B2 (ja) * | 2015-10-26 | 2020-04-08 | エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 | 圧電振動片の製造方法、圧電振動片及び圧電振動子 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5492087A (en) * | 1977-12-29 | 1979-07-20 | Matsushima Kogyo Co Ltd | Manufacture of thin-cauge crystal oscillator |
JPS58157211A (ja) * | 1982-03-13 | 1983-09-19 | Kinseki Kk | 圧電振動板の製造方法 |
JP3460694B2 (ja) * | 2000-11-24 | 2003-10-27 | 株式会社大真空 | 音叉型振動子の周波数調整装置及び周波数調整方法並びにその方法によって周波数調整された音叉型振動子 |
JP4120312B2 (ja) * | 2001-10-16 | 2008-07-16 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電振動片及びその加工方法 |
WO2004100365A1 (ja) * | 2003-03-28 | 2004-11-18 | Daishinku Corporation | 音叉型振動子の周波数調整方法並びにその方法によって周波数調整された音叉型振動子 |
-
2007
- 2007-01-22 JP JP2007011703A patent/JP5071623B2/ja not_active Expired - Fee Related
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