JP2008177289A - 基板処理装置および基板処理方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板10表面に導電薄膜20を形成し、該導電薄膜20に電極30を設け、該電極30と電源60に接続される電極40とを電気的に導通状態とし、スイッチ50を閉接して導電薄膜20に通電し、その際の電熱効果により導電薄膜20を直接発熱させて所望温度に上昇させ、反応ガスとしてSiH4ガスおよびB2H6ガスを薄膜20表面に供給してPoly−Siを堆積させる。
【選択図】 図4
Description
本実施の形態においては、絶縁性基板の表面に形成された導電層に電流を流して加熱する機能を備えた基板処理装置を基本とする。
以上の説明では、導電薄膜20に電流を流して薄膜温度を上昇させる基本構成を説明したが、本実施の形態では、これに加えて、ステージ80の裏面側からガラス基板10および透明のZnO膜からなる導電薄膜20を介して導電薄膜20上の膜形成部位に光を照射する構成を加えている。
上記第1および第2の実施の形態では、導電薄膜20の表面両端部近傍に金属電極を配設してこの導電薄膜20上部より電力を供給する例について説明した。しかし、導電薄膜20の上部に基板側の金属電極30や装置電極40等を配置すると、これら電極30、40にも同時にPoly−Si膜が成膜されてしまう。
15;孔部
20;導電薄膜
30,40,110;電極
50;スイッチ
60;電源
70;ガス供給機構
80;ステージ
100;光源
120;カバー部材
125;排気口
Claims (27)
- 表面に導電層が形成された絶縁性基板が導電層を上にした状態で載置される基板保持部と、
前記導電層に通電して加熱するために前記導電層に接続する給電電極と、
前記給電電極を介して前記導電層に給電するための電力供給手段と
を具備し、前記絶縁性基板を加熱して所定の処理を施すことを特徴とする基板処理装置。 - 前記導電層の表面に膜を形成するための反応ガスを前記導電層に供給するガス供給手段をさらに具備することを特徴とする請求項1に記載の基板処理装置。
- 前記ガス供給手段は、前記反応ガスとしてSi含有ガスを供給し、前記導電層表面にポリシリコン膜を形成することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の基板処理装置。
- 前記ガス供給手段は、前記反応ガスとしてSiH4ガスを含むガスを供給することを特徴とする請求項3に記載の基板処理装置。
- 透明材料で形成された前記絶縁性基板および前記導電層を処理することを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の基板処理装置。
- 前記導電層はZnO薄膜層であることを特徴とする請求項5に記載の基板処理装置。
- 少なくとも前記膜を形成する際に、膜形成部位に光を照射する光源をさらに有することを特徴とする請求項2から請求項4のいずれか1項に記載の基板処理装置。
- 前記絶縁性基板および前記導電層は透明材料で形成されており、前記光源は、前記絶縁性基板の裏面側から前記膜形成部位に光を照射することを特徴とする請求項7に記載の基板処理装置。
- 前記絶縁性基板は矩形基板であることを特徴とする請求項1から請求項8のいずれか1項に記載の基板処理装置。
- 前記給電電極は、前記導電層の一端部と他端部とに接続されることを特徴とする請求項9に記載の基板処理装置。
- 前記給電電極は、前記矩形基板の導電層端部全幅にわたって形成された電極に接続されることを特徴とする請求項10に記載の基板処理装置。
- 前記絶縁性基板には、前記導電層の端部位置に対応する部分に前記導電層に到達する孔部を有し、前記給電電極は前記孔部内において前記導電層の裏面側に接続されることを特徴とする請求項1から請求項9のいずれか1項に記載の基板処理装置。
- 表面に透明材料からなる導電層が形成された透明材料からなる絶縁性基板が導電層を上にした状態で載置される基板保持部と、
前記導電層に通電して加熱するために前記導電層に接続される給電電極と、
前記給電電極を介して前記導電層に給電するための電力供給手段と、
前記導電層の表面部分にポリシリコン膜を形成するための反応ガスであるSi含有ガスを前記導電層の表面に供給するガス供給手段と
を具備することを特徴とする基板処理装置。 - 前記絶縁性基板は矩形状のガラス基板であり、前記導電層はZnO薄膜層であることを特徴とする請求項13に記載の基板処理装置。
- 少なくとも前記ポリシリコン膜形成時に、前記絶縁性基板の裏面側から前記ポリシリコン膜の形成部位に光を照射する光源をさらに具備することを特徴とする請求項13または請求項14に記載の基板処理装置。
- 絶縁性基板の表面部分を加熱して所定の処理を施す基板処理方法であって、
表面に導電層が形成された絶縁性基板を導電層を上にした状態で基板保持部に載置し、前記導電層に接続する給電電極を介して前記導電層に通電して加熱することを特徴とする基板処理方法。 - 前記導電層に反応ガスを供給して、加熱されている前記導電層の表面に膜を形成することを特徴とする請求項16に記載の基板処理方法。
- 前記反応ガスとしてSi含有ガスを供給し、前記導電層の表面にポリシリコン膜を形成することを特徴とする請求項17に記載の基板処理方法。
- 前記反応ガスとしてSiH4ガスを含むガスを供給することを特徴とする請求項18に記載の基板処理方法。
- 前記絶縁性基板および前記導電層は透明材料で形成されていることを特徴とする請求項16から請求項19のいずれか1項に記載の基板処理方法。
- 前記導電層はZnO薄膜層であることを特徴とする請求項20に記載の基板処理方法。
- 少なくとも前記膜を形成する際に、膜形成部位に光を照射し、成膜しつつある膜の電気抵抗を低下させることを特徴とする請求項17から請求項19のいずれか1項に記載の基板処理方法。
- 前記絶縁性基板および前記導電層は透明材料で形成されており、前記絶縁性基板の裏面側から前記膜形成部位に光を照射することを特徴とする請求項22に記載の基板処理方法。
- 前記絶縁性基板は矩形基板であることを特徴とする請求項16から請求項23のいずれか1項に記載の基板処理方法。
- 表面に透明材料からなる導電層が形成された透明材料からなる絶縁性基板が導電層を上にした状態で基板保持部に載置し、
前記導電層に接続する給電電極を介して前記導電層に通電して加熱し、
前記導電層に反応ガスとしてSi含有ガスを供給して、加熱されている前記導電層の表面にポリシリコン膜を形成することを特徴とする基板処理方法。 - 前記絶縁性基板は矩形状のガラス基板であり、前記導電層はZnO薄膜層であることを特徴とする請求項25に記載の基板処理方法。
- 少なくとも前記ポリシリコン膜形成時に、前記絶縁性基板の裏面側から前記ポリシリコン膜の形成部位に光を照射し、成膜しつつある膜の電気抵抗を低下させることを特徴とする請求項25または請求項26に記載の基板処理方法。
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