JP2008171909A - 気体噴出機構およびこれを組込んだ基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】気体噴出部3aは、波板16と、平板17とを接合することによって形成した流路S2と、波板16の波型部に穿設された複数の微小孔hに特徴がある。波板16の形状はどのようなものでも良いが、例えば本図に示すような下方向に突き出た台形が好ましい。その他、半円形であっても良い。そして、微小孔hは、波板16の波型部の最下端でない位置、すなわち、波型部の斜面に穿設することが望ましい。
【選択図】図3
Description
特に、流路は略密閉状態のため、微小孔のみで均一にガスを噴出させることが可能になる。
尚、図3(a)に示すように最下端の平面部に微小孔hを形成してもよい。
Claims (6)
- 所定の空間内に、均一に気体を噴射させる気体噴出機構であって、この気体噴出機構は、波型部に複数の微小な孔が穿設された波板と、他の波板または平板とを接合することによって形成した流路からなる気体噴出部と、前記流路に連通する気体供給部とを有することを特徴とする気体噴出機構。
- 請求項1に記載の気体噴出機構において、前記波型部の断面形状が、下方向に突き出た台形、または半円形であり、この波型部の最下端を外した位置に、前記複数の微小な孔が穿設されていることを特徴とする気体噴出機構。
- 請求項1または請求項2の何れかに記載の気体噴出機構において、前記流路に供給される気体がヘキサメチルジシラザン混入ガスであることを特徴とする気体噴出機構。
- 請求項1乃至請求項3の何れかに記載の気体噴出機構と、この気体噴出機構を収納するとともに内部を処理空間としたケースとを備え、このケースは減圧可能で且つ排気部を有することを特徴とする基板処理装置。
- 請求項4に記載の基板処理装置において、前記気体噴出機構は、隣接した流路の端部同士を連通させることで、一系列の流路とされていることを特徴とする基板処理装置。
- 請求項5に記載の基板処理装置において、前記一系列の流路が複数併設されていることを特徴とする基板処理装置。
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-
2007
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Patent Citations (5)
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