JPH05103978A - 物質および／または熱交換塔用の充填材 - Google Patents
物質および／または熱交換塔用の充填材Info
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 液が十分に拡散する気液接触用充填材を提供
する。 【構成】 本発明の物質および／または熱交換塔用の充
填材は、上方から液体を下方から気体を供給し内部にて
気液を接触させる事に依り両者間における物質交換およ
び／または熱交換を行う塔の内部に、該塔の軸線に沿っ
て上下方向に配置されている塔用充填材であって、該充
填材が、塔の軸線に対し傾斜している波形をなす複数の
連続した折り目を表面に加工されているシート状基材を
互いに折り目方向が交差するように且つ隣接するシート
状基材同士を接触させた状態で複数枚積層したものによ
って構成されており、折り目が加工されている前記シー
ト状基材は、小孔または開き目を有する２枚の重ね合わ
されているシート状基材又は網状基材とその間に接触し
た状態で装入されている両面が連続した薄板材とから構
成されていることを特徴とするものである。
する。 【構成】 本発明の物質および／または熱交換塔用の充
填材は、上方から液体を下方から気体を供給し内部にて
気液を接触させる事に依り両者間における物質交換およ
び／または熱交換を行う塔の内部に、該塔の軸線に沿っ
て上下方向に配置されている塔用充填材であって、該充
填材が、塔の軸線に対し傾斜している波形をなす複数の
連続した折り目を表面に加工されているシート状基材を
互いに折り目方向が交差するように且つ隣接するシート
状基材同士を接触させた状態で複数枚積層したものによ
って構成されており、折り目が加工されている前記シー
ト状基材は、小孔または開き目を有する２枚の重ね合わ
されているシート状基材又は網状基材とその間に接触し
た状態で装入されている両面が連続した薄板材とから構
成されていることを特徴とするものである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は物質および熱交換塔用の
充填材に関する。
充填材に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の充填材で本発明に云う１
枚の基材が連続した開き目を有する２枚の接触し重ねら
れた網状基材により形成されたものは公知であり広く利
用されている。
枚の基材が連続した開き目を有する２枚の接触し重ねら
れた網状基材により形成されたものは公知であり広く利
用されている。
【０００３】網を２枚重ねる効果として、次の如きが挙
げられる。１つは例えば線径０．１mmで１００メッシュ
程度の網であればこれを２枚重ねる事に依り、その網の
接触面間に於いて液に対する毛管引力を生じさせる事が
でき、その結果、充填材全体に液の拡散をならしめる事
となる。他の１つは２枚の網を重ねる事に依り、表面積
を増やそうと云うものである。
げられる。１つは例えば線径０．１mmで１００メッシュ
程度の網であればこれを２枚重ねる事に依り、その網の
接触面間に於いて液に対する毛管引力を生じさせる事が
でき、その結果、充填材全体に液の拡散をならしめる事
となる。他の１つは２枚の網を重ねる事に依り、表面積
を増やそうと云うものである。
【０００４】しかし乍らこの２つの効果の内、表面積を
増やすという点については、その表面が液とガスの接触
効率を促進する為のものとして機能しなければならない
為、液とガスとの実際の接触と云う点から考察されなけ
ればならない。その点から云えば単なる重ね合わせでは
問題を有するのである。例えば２枚重ねる基材を目の細
かい網とすると液が拡散する際、液は２枚の網の間およ
び開き目に保持されてしまい、２枚の網の有する表面積
の内半分程度が液の保持に使われ、本来、液とガスとの
接触の為の界面であるべき表面が十分に利用されない事
となる。この点から云えば２枚の網の間に液を保持させ
る事無く網を濡らし、更に網の表面全体をより多く、液
・ガス２相の界面を作る表面として利用できればより大
きな効果を実現できる訳である。これを成す為には開き
目を大きくし、開き目の中に液を保持させないようにす
る方法も考えられるが、開き目が大きくなればなる程２
枚の網の線部の接触部が減少する事となり、その結果単
位面積当りの毛管引力が減少し、液の拡散が阻害され、
十分な成果は得られない。また細かい網と粗い網との重
ね合わせも公知であるが、同様に開き目が大きくなれば
なる程、毛管引力の減少となり、液の拡散を阻害する。
増やすという点については、その表面が液とガスの接触
効率を促進する為のものとして機能しなければならない
為、液とガスとの実際の接触と云う点から考察されなけ
ればならない。その点から云えば単なる重ね合わせでは
問題を有するのである。例えば２枚重ねる基材を目の細
かい網とすると液が拡散する際、液は２枚の網の間およ
び開き目に保持されてしまい、２枚の網の有する表面積
の内半分程度が液の保持に使われ、本来、液とガスとの
接触の為の界面であるべき表面が十分に利用されない事
となる。この点から云えば２枚の網の間に液を保持させ
る事無く網を濡らし、更に網の表面全体をより多く、液
・ガス２相の界面を作る表面として利用できればより大
きな効果を実現できる訳である。これを成す為には開き
目を大きくし、開き目の中に液を保持させないようにす
る方法も考えられるが、開き目が大きくなればなる程２
枚の網の線部の接触部が減少する事となり、その結果単
位面積当りの毛管引力が減少し、液の拡散が阻害され、
十分な成果は得られない。また細かい網と粗い網との重
ね合わせも公知であるが、同様に開き目が大きくなれば
なる程、毛管引力の減少となり、液の拡散を阻害する。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明者は従来技術の欠
点を克服する為の研究を行なった。その結果連続した小
孔または開き目を有する２枚の接触し、重ねられたシー
ト状または網状基材の間に両面に連続した平面を有する
薄板材を装入する事に依り、充填材の液拡散能力と液・
ガス接触効率とを著しく向上させる事ができる事を発見
した。
点を克服する為の研究を行なった。その結果連続した小
孔または開き目を有する２枚の接触し、重ねられたシー
ト状または網状基材の間に両面に連続した平面を有する
薄板材を装入する事に依り、充填材の液拡散能力と液・
ガス接触効率とを著しく向上させる事ができる事を発見
した。
【０００６】本発明は上方から液体を下方から気体を供
給し内部にて気液を接触させる事に依り両者間における
物質交換および／または熱交換を行う塔の内部に、該塔
の軸線に沿って上下方向に配置されている塔用充填材で
あって、該充填材が、塔の軸線に対し傾斜している波形
をなす複数の連続した折り目を表面に加工されているシ
ート状基材を互いに折り目方向が交差するように複数枚
積層し折り目が加工されている前記シート状基材は小孔
または開き目を有する２枚のシート状基材とその間に装
入された両面に連続した平面又は曲面を有する薄板材と
からなり、これらのシートは接触して積層されている事
を特徴とする物質および／または熱交換塔用の充填材に
関する。
給し内部にて気液を接触させる事に依り両者間における
物質交換および／または熱交換を行う塔の内部に、該塔
の軸線に沿って上下方向に配置されている塔用充填材で
あって、該充填材が、塔の軸線に対し傾斜している波形
をなす複数の連続した折り目を表面に加工されているシ
ート状基材を互いに折り目方向が交差するように複数枚
積層し折り目が加工されている前記シート状基材は小孔
または開き目を有する２枚のシート状基材とその間に装
入された両面に連続した平面又は曲面を有する薄板材と
からなり、これらのシートは接触して積層されている事
を特徴とする物質および／または熱交換塔用の充填材に
関する。
【０００７】本発明の効果についてより詳しく述べれ
ば、従来この種の充填材に於いては、連続した小孔また
は開き目を有する２枚の接触し重ねられた基材は充填材
の機能の内、毛管引力に依る液の拡散と表面積の増加と
達成せしめる役割機能を有する。
ば、従来この種の充填材に於いては、連続した小孔また
は開き目を有する２枚の接触し重ねられた基材は充填材
の機能の内、毛管引力に依る液の拡散と表面積の増加と
達成せしめる役割機能を有する。
【０００８】毛管引力について、これを金網を２枚重ね
て使用した例を引用し説明すると、１枚の金網は縦線と
横線とを交差させて織られている為、２枚の金網を重ね
た場合相互に接触する部分と接触しない部分が生じる事
となり接触する部分では、毛管引力が生じ易く、接触し
ない部分ではその間隙が大きくなればなる程毛管引力は
生じ難くなるが、ここではこの間隙は小さく毛管引力の
発生を妨げないものとする。また小孔または開き目が小
さければ小さい程、２枚間の接触部が増え、その間に発
生する毛管引力は強まり、液の拡散力も増加する。毛管
引力の点から云えば網の形状は実施上線径：０．１mm以
下、メッシュ数：１００メッシュ程度、開き目の面積：
０．１mm2 以下が好ましい。シートの場合は、小孔の面
積：０．５mm2 以下程度が好ましい。他面、この種の充
填材の性能は限られた空間にいかに多くの液とガスを接
触させる為の面を形成するかに依り、決定される。した
がって２枚のシート状または網状基材を重ねた場合に於
いても２枚の基材の全表面を液とガスとの接触面として
利用できる事が好ましい。
て使用した例を引用し説明すると、１枚の金網は縦線と
横線とを交差させて織られている為、２枚の金網を重ね
た場合相互に接触する部分と接触しない部分が生じる事
となり接触する部分では、毛管引力が生じ易く、接触し
ない部分ではその間隙が大きくなればなる程毛管引力は
生じ難くなるが、ここではこの間隙は小さく毛管引力の
発生を妨げないものとする。また小孔または開き目が小
さければ小さい程、２枚間の接触部が増え、その間に発
生する毛管引力は強まり、液の拡散力も増加する。毛管
引力の点から云えば網の形状は実施上線径：０．１mm以
下、メッシュ数：１００メッシュ程度、開き目の面積：
０．１mm2 以下が好ましい。シートの場合は、小孔の面
積：０．５mm2 以下程度が好ましい。他面、この種の充
填材の性能は限られた空間にいかに多くの液とガスを接
触させる為の面を形成するかに依り、決定される。した
がって２枚のシート状または網状基材を重ねた場合に於
いても２枚の基材の全表面を液とガスとの接触面として
利用できる事が好ましい。
【０００９】しかし乍ら、毛管引力の増加と接触面の増
加を同時に達成しようとすると相対する問題が生じる。
加を同時に達成しようとすると相対する問題が生じる。
【００１０】２枚の基材を接触させ、毛管引力に依り液
を拡散させる為には小孔または開き目を小さくして毛管
引力を強めれば良いが、反面、接触部内側面と小孔また
は開き目の中に、液が毛管引力と表面張力とに依り保持
される為、ガスとの接触に於いては、２枚の基材の外側
面のみしか接触機会を得られず、また小孔または開き目
の中に液が保持される事に依りガスは小孔または開き目
の中に流入する事ができないと云う不具合を生じる。ガ
スを小孔または開き目の内部まで流入させる為には、小
孔または開き目を大きくする事に依り、液の表面張力に
依る膜形成を阻害し、液の保持を減少させれば良いので
はあるが、例えば金網の場合、開き目を大きくすると、
２枚の金網の接触部に於ける相互の線のずれや単位面積
当りの接触部の減少となり、それが毛管引力を弱める結
果となる。また開き目を大きくすると、充填材としての
表面積の減少を生じさせてしまう事となる。
を拡散させる為には小孔または開き目を小さくして毛管
引力を強めれば良いが、反面、接触部内側面と小孔また
は開き目の中に、液が毛管引力と表面張力とに依り保持
される為、ガスとの接触に於いては、２枚の基材の外側
面のみしか接触機会を得られず、また小孔または開き目
の中に液が保持される事に依りガスは小孔または開き目
の中に流入する事ができないと云う不具合を生じる。ガ
スを小孔または開き目の内部まで流入させる為には、小
孔または開き目を大きくする事に依り、液の表面張力に
依る膜形成を阻害し、液の保持を減少させれば良いので
はあるが、例えば金網の場合、開き目を大きくすると、
２枚の金網の接触部に於ける相互の線のずれや単位面積
当りの接触部の減少となり、それが毛管引力を弱める結
果となる。また開き目を大きくすると、充填材としての
表面積の減少を生じさせてしまう事となる。
【００１１】細かい開き目の網と大きい開き目の網との
重ね合わせに於いても同様であり、開き目を大きくすれ
ばする程単位面積当りの相互の接触部は減少する事とな
り、結果、毛管引力を弱める事となる。同時に表面積の
減少ともなる。
重ね合わせに於いても同様であり、開き目を大きくすれ
ばする程単位面積当りの相互の接触部は減少する事とな
り、結果、毛管引力を弱める事となる。同時に表面積の
減少ともなる。
【００１２】本発明に依れば、２枚の接触し、重ねられ
たシート状または網状基材の間に両面に連続する平面を
有する薄板材を装入する事に依り、前述の相対する問題
を以下の如き解決するものである。
たシート状または網状基材の間に両面に連続する平面を
有する薄板材を装入する事に依り、前述の相対する問題
を以下の如き解決するものである。
【００１３】（ａ）両面に連続する平面を有する薄板材
を装入する事に依りシート状または網状基材の重ねられ
た２枚のどちら側に於いても、薄板材との接触に於いて
はずれを起こす事無く接触する事ができる為、毛管引力
の減少を防ぐ事ができる。
を装入する事に依りシート状または網状基材の重ねられ
た２枚のどちら側に於いても、薄板材との接触に於いて
はずれを起こす事無く接触する事ができる為、毛管引力
の減少を防ぐ事ができる。
【００１４】（ｂ）薄板材を装入する事に依り、２枚間
に生じる間隙を小さくする事ができる為、毛管引力を強
める事ができる。
に生じる間隙を小さくする事ができる為、毛管引力を強
める事ができる。
【００１５】（ｃ）平面を有する薄板材を装入する事に
依り、薄板材の表面積を付加する事ができる為、小孔ま
たは開き目を大きくした際、表面積が減少する分を促す
事ができ、充填材としての性能を向上させる事ができ
る。
依り、薄板材の表面積を付加する事ができる為、小孔ま
たは開き目を大きくした際、表面積が減少する分を促す
事ができ、充填材としての性能を向上させる事ができ
る。
【００１６】この場合、薄板材の厚さは実施上１mm以下
が好ましい事を追加しておく。
が好ましい事を追加しておく。
【００１７】以上に依り従来、小孔または開き目を大き
くして、内部にガスの流入を達成せしめようとしても毛
管引力の減少が生じ、液の拡散を阻害していた不具合を
解決するに至った次第である。
くして、内部にガスの流入を達成せしめようとしても毛
管引力の減少が生じ、液の拡散を阻害していた不具合を
解決するに至った次第である。
【００１８】図面に依って本発明を更に説明する。
【００１９】図１は、本発明の充填材の塔軸に沿って充
填されている状態を示す斜面図であり、１は塔軸であ
る。２は波形となっている充填材、３は小孔または開き
目である、５は小孔または開き目を有するシート状また
は網状基材である。これは充填材が金属製またはプラス
チック製の網であっても良く、または金属板またはプラ
スチック板に多くの小孔を穿設したものであっても良
い。
填されている状態を示す斜面図であり、１は塔軸であ
る。２は波形となっている充填材、３は小孔または開き
目である、５は小孔または開き目を有するシート状また
は網状基材である。これは充填材が金属製またはプラス
チック製の網であっても良く、または金属板またはプラ
スチック板に多くの小孔を穿設したものであっても良
い。
【００２０】図２は１枚の充填材の斜面図である。２は
充填材、３は小孔または開き目を有するシート状基材で
ある。５は小孔または開き目を有するシート状または網
状基材であり、６は両面に連続した平面又は曲線を有す
る薄板材であるか又は凹凸を有する薄板材であっても良
い。これは金属またはプラスチックから構成できる。そ
の薄板材に小孔が穿設されてあっても良い。しかし乍ら
薄板材の孔の部分の面積の合計は、シート状基材の孔の
部分の面積より小さくなければならない。
充填材、３は小孔または開き目を有するシート状基材で
ある。５は小孔または開き目を有するシート状または網
状基材であり、６は両面に連続した平面又は曲線を有す
る薄板材であるか又は凹凸を有する薄板材であっても良
い。これは金属またはプラスチックから構成できる。そ
の薄板材に小孔が穿設されてあっても良い。しかし乍ら
薄板材の孔の部分の面積の合計は、シート状基材の孔の
部分の面積より小さくなければならない。
【図１】本発明の充填剤が塔に充填されている状態を示
す斜面図。
す斜面図。
【図２】１枚の充填材の斜面図。
【図３】本発明の充填材の側面図。
１：塔軸、２：波形を有する充填材、３：小孔または開
き目、５：小孔または開き目を有するシート状または網
状基材、６：両面に連続した平面を有する薄板材。
き目、５：小孔または開き目を有するシート状または網
状基材、６：両面に連続した平面を有する薄板材。
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成３年１１月２７日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正内容】
【特許請求の範囲】
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００７】本発明の効果についてより詳しく述べれ
ば、従来この種の充填材に於いては、連続した小孔また
は開き目を有する２枚の接触し重ねられた基材は充填材
の機能の内、毛管引力に依る液の拡散と表面積の増加と
を達成せしめる役割機能を有する。 ─────────────────────────────────────────────────────
ば、従来この種の充填材に於いては、連続した小孔また
は開き目を有する２枚の接触し重ねられた基材は充填材
の機能の内、毛管引力に依る液の拡散と表面積の増加と
を達成せしめる役割機能を有する。 ─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成５年１月１１日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正内容】
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は物質および／または熱交
換塔用の充填材に関する。
換塔用の充填材に関する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明者は従来技術の欠
点を克服する為の研究を行なった。その結果、連続した
小孔または開き目を有する２枚の重ね合わされたシート
状または網状基材の間に、両面が連続した薄板材を接触
した状態で装入する事に依り、充填材の液拡散能力と液
・ガス接触効率とを著しく向上させる事ができる事を発
見した。
点を克服する為の研究を行なった。その結果、連続した
小孔または開き目を有する２枚の重ね合わされたシート
状または網状基材の間に、両面が連続した薄板材を接触
した状態で装入する事に依り、充填材の液拡散能力と液
・ガス接触効率とを著しく向上させる事ができる事を発
見した。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００６】本発明は上方から液体を下方から気体を供
給し内部にて気液を接触させる事に依り両者間における
物質交換および／または熱交換を行う塔の内部に、該塔
の軸線に沿って上下方向に配置されている塔用充填材で
あって、該充填材が、塔の軸線に対し傾斜している波形
をなす複数の連続した折り目を表面に加工されているシ
ート状基材を互いに折り目方向が交差するように且つ隣
接するシート状基材同士を接触させた状態で複数枚積層
したものによって構成されており、折り目が加工されて
いる前記シート状基材は、小孔または開き目を有する２
枚の重ね合わされているシート状基材又は網状基材とそ
の間に接触した状態で装入されている両面が連続した薄
板材とから構成されていることを特徴とする物質および
／または熱交換塔用の充填材に関する。
給し内部にて気液を接触させる事に依り両者間における
物質交換および／または熱交換を行う塔の内部に、該塔
の軸線に沿って上下方向に配置されている塔用充填材で
あって、該充填材が、塔の軸線に対し傾斜している波形
をなす複数の連続した折り目を表面に加工されているシ
ート状基材を互いに折り目方向が交差するように且つ隣
接するシート状基材同士を接触させた状態で複数枚積層
したものによって構成されており、折り目が加工されて
いる前記シート状基材は、小孔または開き目を有する２
枚の重ね合わされているシート状基材又は網状基材とそ
の間に接触した状態で装入されている両面が連続した薄
板材とから構成されていることを特徴とする物質および
／または熱交換塔用の充填材に関する。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００７】本発明の効果についてより詳しく述べれ
ば、従来この種の充填材に於いては、連続した小孔また
は開き目を有する２枚の重ね合わされたシート状基材又
は網状基材は、充填材の機能の内、毛管引力に依る液の
拡散と表面積の増加とを達成せしめる役割機能を有す
る。
ば、従来この種の充填材に於いては、連続した小孔また
は開き目を有する２枚の重ね合わされたシート状基材又
は網状基材は、充填材の機能の内、毛管引力に依る液の
拡散と表面積の増加とを達成せしめる役割機能を有す
る。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１２】本発明に依れば、２枚の重ね合わされたシ
ート状または網状基材の間に、両面に連続する平面又は
曲面を有する薄板材を、両側のシート状または網状基材
と接触した状態で装入する事に依り、前述の相対する問
題を以下の如き解決するものである。
ート状または網状基材の間に、両面に連続する平面又は
曲面を有する薄板材を、両側のシート状または網状基材
と接触した状態で装入する事に依り、前述の相対する問
題を以下の如き解決するものである。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１３】（ａ）両面に連続する平面または曲面を有
する薄板材を装入する事に依りシート状または網状基材
の重ねられた２枚のどちら側に於いても、薄板材との接
触に於いてはずれを起こす事無く接触する事ができる
為、毛管引力の減少を防ぐ事ができる。
する薄板材を装入する事に依りシート状または網状基材
の重ねられた２枚のどちら側に於いても、薄板材との接
触に於いてはずれを起こす事無く接触する事ができる
為、毛管引力の減少を防ぐ事ができる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１５】（ｃ）平面を有する薄板材を装入する事に
依り、薄板材の表面積を付加する事ができる為、小孔ま
たは開き目を大きくした際、表面積が減少する分を補う
事ができ、充填材としての性能を向上させる事ができ
る。
依り、薄板材の表面積を付加する事ができる為、小孔ま
たは開き目を大きくした際、表面積が減少する分を補う
事ができ、充填材としての性能を向上させる事ができ
る。
Claims (1)
- 【請求項１】 上方から液体を下方から気体を供給し内
部にて気液を接触させる事に依り両者間における物質交
換および／または熱交換を行う塔の内部に、該塔の軸線
に沿って上下方向に配置されている塔用充填材であっ
て、 該充填材が、 塔の軸線に対し傾斜している波形をなす複数の連続した
折り目を表面に加工されているシート状基材を互いに折
り目方向が交差するように複数枚積層し折り目が加工さ
れている前記シート状基材は小孔または開き目を有する
２枚のシート状基材とその間に装入された両面に連続し
た薄板材とからなり、これらのシートは接触して積層さ
れている事を特徴とする物質および／または熱交換塔用
の充填材。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27136991A JPH05103978A (ja) | 1991-10-18 | 1991-10-18 | 物質および／または熱交換塔用の充填材 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27136991A JPH05103978A (ja) | 1991-10-18 | 1991-10-18 | 物質および／または熱交換塔用の充填材 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05103978A true JPH05103978A (ja) | 1993-04-27 |
Family
ID=17499112
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27136991A Pending JPH05103978A (ja) | 1991-10-18 | 1991-10-18 | 物質および／または熱交換塔用の充填材 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05103978A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06360A (ja) * | 1992-06-22 | 1994-01-11 | Mitsubishi Corp | 物質および／または熱交換塔用の充填材 |
| JPH0623263A (ja) * | 1992-07-08 | 1994-02-01 | Mitsubishi Corp | 物質および／又は熱交換塔用の充填材 |
| JP2008171909A (ja) * | 2007-01-10 | 2008-07-24 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | 気体噴出機構およびこれを組込んだ基板処理装置 |
-
1991
- 1991-10-18 JP JP27136991A patent/JPH05103978A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06360A (ja) * | 1992-06-22 | 1994-01-11 | Mitsubishi Corp | 物質および／または熱交換塔用の充填材 |
| JPH0623263A (ja) * | 1992-07-08 | 1994-02-01 | Mitsubishi Corp | 物質および／又は熱交換塔用の充填材 |
| JP2008171909A (ja) * | 2007-01-10 | 2008-07-24 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | 気体噴出機構およびこれを組込んだ基板処理装置 |
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