JP2008170902A5 - - Google Patents

Claims (15)

1. 光反射性を有する光反射部を備えた可動板を含む可動部と、
   前記可動部を支持する弾性変形可能な複数の変形部材と、
   前記各変形部材上に接合され、前記各変形部材を前記可動板の厚さ方向に曲げ変形させることにより前記可動板を回動させる複数の圧電素子とを有し、
   前記複数の圧電素子のうち、少なくとも１つの圧電素子が前記可動板の表面側に設けられ、残りの圧電素子が前記可動板の裏面側に設けられていることを特徴とする光学デバイス。
2. 光反射性を有する光反射部を備えた可動板を含む可動部と、
   前記可動部を支持する弾性変形可能な４つの変形部材と、
   前記各変形部材上に接合され、前記各変形部材を前記可動板の厚さ方向に曲げ変形させることにより前記可動板を回動させる４つの圧電素子とを有し、
   前記４つの圧電素子のうち、２つの圧電素子が前記可動板の一方の面側に設けられ、他の２つの圧電素子が前記可動板の他方の面側に設けられていることを特徴とする光学デバイス。
3. 前記可動部は、前記可動板を回動可能に支持する弾性変形可能な１対の軸部材と、前記各軸部材に連結された１対の駆動部材とを含み、前記４つの変形部材は、対をなし前記各駆動部材に対応して連結され、前記各対の変形部材を互いに反対方向に曲げ変形させることにより、前記各駆動部材を回動させ、これに伴い、前記各軸部材を捩れ変形させながら前記可動板を回動させるように構成されている請求項２に記載の光学デバイス。
4. 前記２対の変形部材に連結され、前記可動板を囲むように枠状をなす枠状部材を有し、前記各軸部材を捩れ変形させながら第１の軸線まわりに前記可動板を回動させるとともに、前記枠状部材を前記第１の軸線に直交する第２の軸線まわりに回動させて前記可動板を前記第２の軸線まわりに回動させるように構成されている請求項３に記載の光学デバイス。
5. 前記可動部は、前記可動板を第１の軸線まわりに回動可能に支持する弾性変形可能な１対の第１の軸部材と、前記各第１の軸部材に連結され、前記可動板を囲むように枠状をなす枠状部材と、前記枠状部材を前記第１の軸線と直交する第２の軸線まわりに回動可能に支持する弾性変形可能な１対の第２の軸部材と、前記各第２の軸部材に連結された１対の駆動部材とを含み、前記４つの変形部材は、対をなし前記各駆動部材に対応して連結され、前記各対の変形部材を互いに反対方向に曲げ変形させることにより、前記各駆動部材を回動させ、これに伴い、前記各第２の軸部材を捩れ変形させながら前記枠状部材を前記第２の軸線まわりに回動させて前記可動板を前記第２の軸線まわりに回動させるとともに、前記各第１の軸部材を捩れ変形させながら可動板を前記第１の軸線まわりに回動させるように構成されている請求項２に記載の光学デバイス。
6. 前記１対の駆動部材のうちの一方の駆動部材に連結された前記１対の変形部材に対応する前記１対の圧電素子は、それぞれ、前記可動板の一方の面側に設けられ、前記１対の駆動部材のうちの他方の駆動部材に連結された前記１対の変形部材に対応する前記１対の圧電素子は、それぞれ、前記可動板の他方の面側に設けられている請求項２ないし５のいずれかに記載の光学デバイス。
7. 前記各駆動部材に連結された前記１対の変形部材に対応する前記１対の圧電素子は、一方の前記圧電素子が前記可動板の一方の面側に設けられ、他方の前記圧電素子が前記可動板の他方の面側に設けられている請求項２ないし５のいずれかに記載の光学デバイス。
8. 前記変形部材は、これに対応する前記駆動部材に対し前記可動板とは反対側に設けられている請求項２ないし７のいずれかに記載の光学デバイス。
9. 前記変形部材は、これに対応する前記駆動部材に対し前記可動板側に設けられている請求項２ないし７のいずれかに記載の光学デバイス。
10. 前記４つの圧電素子は、前記各圧電素子に印加されたオフセット電圧による前記可動板の厚さ方向での変位を防止するように設けられている請求項２ないし９のいずれかに記載の光学デバイス。
11. 光反射性を有する光反射部を備えた可動板を含む可動部と、
    前記可動部を支持する弾性変形可能な４つの変形部材と、
    前記各変形部材上に接合され、前記各変形部材を前記可動板の厚さ方向に曲げ変形させることにより前記可動板を回動させる４つの圧電素子とを有し、
    前記可動板の回動により、前記光反射部で反射した光を走査するものであり、
    前記４つの圧電素子のうち、２つの圧電素子が前記可動板の一方の面側に設けられ、他の２つの圧電素子が前記可動板の他方の面側に設けられていることを特徴とする光スキャナ。
12. 光反射性を有する光反射部を備えた可動板を含む可動部と、
    前記可動部を支持する弾性変形可能な４つの変形部材と、
    前記各変形部材上に接合され、前記各変形部材を前記可動板の厚さ方向に曲げ変形させることにより前記可動板を回動させる４つの圧電素子とを有し、
    前記可動板の回動により、前記光反射部で反射した光を走査して、対象物上に画像を形成するものであり、
    前記４つの圧電素子のうち、２つの圧電素子が前記可動板の一方の面側に設けられ、他の２つの圧電素子が前記可動板の他方の面側に設けられていることを特徴とする画像形成装置。
13. 光を反射する平面を備える光反射部材と、
    前記光反射部材を支持する第１および第２の軸部材と、
    前記第１の軸部材に設けられる第１の駆動部と、
    前記第２の軸部材に設けられる第２の駆動部と、
    前記第１の駆動部に設けられる第１および第２の弾性部と、
    前記第２の駆動部に設けられる第３および第４の弾性部と、
    前記第１、第２、第３および第４の弾性部のそれぞれに１つずつ設けられる４つの圧電素子と、を有し、
    前記４つの圧電素子のうちの２つの圧電素子が前記平面の一方の面側に設けられ、前記４つの圧電素子のうちの他の２つの圧電素子が前記平面の他方の面側に設けられていることを特徴とする光学デバイス。
14. 光を反射する平面を備える光反射部材と、
    前記光反射部材を支持する第１および第２の軸部材と、
    前記第１の軸部材に設けられる第１の駆動部と、
    前記第２の軸部材に設けられる第２の駆動部と、
    前記第１の駆動部に設けられる第１および第２の弾性部と、
    前記第２の駆動部に設けられる第３および第４の弾性部と、
    前記第１、第２、第３および第４の弾性部のそれぞれに１つずつ設けられる４つの圧電素子と、を有し、
    前記４つの圧電素子のうちの２つの圧電素子が前記平面の一方の面側に設けられ、前記４つの圧電素子のうちの他の２つの圧電素子が前記平面の他方の面側に設けられ、
    前記光反射部材で反射した光を走査することを特徴とする光スキャナ。
15. 光を反射する平面を備える光反射部材と、
    前記光反射部材を支持する第１および第２の軸部材と、
    前記第１の軸部材に設けられる第１の駆動部と、
    前記第２の軸部材に設けられる第２の駆動部と、
    前記第１の駆動部に設けられる第１および第２の弾性部と、
    前記第２の駆動部に設けられる第３および第４の弾性部と、
    前記第１、第２、第３および第４の弾性部のそれぞれに１つずつ設けられる４つの圧電素子と、を有し、
    前記４つの圧電素子のうちの２つの圧電素子が前記平面の一方の面側に設けられ、前記４つの圧電素子のうちの他の２つの圧電素子が前記平面の他方の面側に設けられ、
    前記光反射部材で反射した光を走査し、対象物に画像を形成することを特徴とする画像形成装置。