JP2008058752A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008058752A5 JP2008058752A5 JP2006237261A JP2006237261A JP2008058752A5 JP 2008058752 A5 JP2008058752 A5 JP 2008058752A5 JP 2006237261 A JP2006237261 A JP 2006237261A JP 2006237261 A JP2006237261 A JP 2006237261A JP 2008058752 A5 JP2008058752 A5 JP 2008058752A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- movable element
- light
- mover
- torsion
- deflecting device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims 7
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims 2
Claims (8)
- 光を偏向走査する光偏向装置であって、
支持部と、振動部と、振動部を駆動する駆動手段と、を有し、
前記振動部は、単一のねじり軸を中心にねじり振動する第1可動子と第2可動子を有すると共に、前記第1可動子と前記支持部を連結する第1ねじりバネと、前記第1可動子と前記第2可動子を連結する第2ねじりバネを有し、前記第1ねじりバネと前記第2ねじりバネは一直線上に配置されており、
前記第1可動子は、前記第2可動子を取り囲む様に配置され、且つ前記ねじり軸を中心にねじり振動するときに前記第2可動子に入射する光の少なくとも一部を遮らない様に形状決めされていることを特徴とする光偏向装置。 - 前記第1可動子は、当該第1可動子を挟んで対向した複数の前記第1ねじりバネで前記支持部に支持され、
前記第2可動子は、当該第2可動子を挟んで対向した複数の前記第2ねじりバネで前記第1可動子に支持されることを特徴とする請求項1に記載の光偏向装置。 - 前記第1可動子は、前記ねじり軸と平行に伸びる部分を少なくとも1つ持つ多角枠形状であり、前記多角枠形状の当該第1可動子の前記ねじり軸と平行に伸びる部分の一部を除去して形成されていることを特徴とする請求項1または2に記載の光偏向装置。
- 前記第1可動子は、前記ねじり軸と平行に伸びる部分を持つ多角枠形状であり、前記多角枠形状の当該第1可動子の前記ねじり軸と平行に伸びる少なくとも1つの部分を全体的に除去して形成されていることを特徴とする請求項1または2に記載の光偏向装置。
- 前記ねじり軸を通り、静止時の前記第2可動子に垂直な平面を基準として、前記第1可動子の両側の慣性モーメントが等しくなる様に構成されていることを特徴とする請求項1乃至4の何れか1つに記載の光偏向装置。
- 前記ねじり軸を通り、静止時の前記第2可動子に垂直な平面を基準として、前記第1可動子の両側の慣性モーメントが等しくなる様にする為の重りが当該第1可動子に付加されていることを特徴とする請求項1乃至5の何れか1つに記載の光偏向装置。
- 前記振動部は、前記ねじり軸回りに、基準周波数となる1次の固有振動モードと、基準周波数の2倍の周波数となる2次の固有振動モードを有しており、
前記駆動手段は、基本周波数と、基本周波数の2倍の周波数で前記振動部を駆動することを特徴とする請求項1乃至6の何れか1つに記載の光偏向装置。 - 光源と、請求項1乃至7の何れか1つに記載の光偏向装置と、感光体とを有し、
前記光源は、光の少なくとも一部が前記第1可動子により遮られない方向から前記第2可動子の反射面に当該光が入射する様に、配置され、
前記光源からの光を前記光偏向装置により偏向し、該光の少なくとも一部を前記感光体上に入射することを特徴とする画像形成装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006237261A JP2008058752A (ja) | 2006-09-01 | 2006-09-01 | 光偏向装置、及びこれを用いた画像形成装置 |
US11/844,738 US7548362B2 (en) | 2006-09-01 | 2007-08-24 | Optical deflecting device and image forming apparatus using the same |
CN2007101483362A CN101135775B (zh) | 2006-09-01 | 2007-08-31 | 光学偏转装置和使用该光学偏转装置的图像形成设备 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006237261A JP2008058752A (ja) | 2006-09-01 | 2006-09-01 | 光偏向装置、及びこれを用いた画像形成装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008058752A JP2008058752A (ja) | 2008-03-13 |
JP2008058752A5 true JP2008058752A5 (ja) | 2009-10-15 |
Family
ID=39151093
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006237261A Withdrawn JP2008058752A (ja) | 2006-09-01 | 2006-09-01 | 光偏向装置、及びこれを用いた画像形成装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7548362B2 (ja) |
JP (1) | JP2008058752A (ja) |
CN (1) | CN101135775B (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009134243A (ja) * | 2007-10-30 | 2009-06-18 | Canon Inc | 揺動体装置の製造方法、該製造方法により製造された揺動体装置によって構成される光偏向器及び光学機器 |
WO2013121774A1 (ja) * | 2012-02-17 | 2013-08-22 | 日本電気株式会社 | 光走査素子および画像表示装置 |
DE102013206396A1 (de) | 2013-04-11 | 2014-10-16 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. (FHG) | Mikroaktuatoranordnung zur Ablenkung elektromagnetischer Strahlung |
DE102014211338A1 (de) * | 2014-06-13 | 2015-12-17 | Robert Bosch Gmbh | Mikrospiegelanordnung und projektionseinrichtung |
US9310609B2 (en) | 2014-07-25 | 2016-04-12 | Hand Held Products, Inc. | Axially reinforced flexible scan element |
JP6970134B2 (ja) * | 2019-03-19 | 2021-11-24 | 株式会社東芝 | 半導体装置 |
JP2021051218A (ja) * | 2019-09-25 | 2021-04-01 | 日本電産株式会社 | アクチュエータおよび光走査装置 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4859846A (en) | 1988-07-21 | 1989-08-22 | Burrer Gordon J | Dual-mode resonant scanning system |
JP3003429B2 (ja) * | 1992-10-08 | 2000-01-31 | 富士電機株式会社 | ねじり振動子および光偏向子 |
JP4027359B2 (ja) | 2003-12-25 | 2007-12-26 | キヤノン株式会社 | マイクロ揺動体、光偏向器、画像形成装置 |
JP2005292381A (ja) * | 2004-03-31 | 2005-10-20 | Canon Inc | 光偏向器 |
-
2006
- 2006-09-01 JP JP2006237261A patent/JP2008058752A/ja not_active Withdrawn
-
2007
- 2007-08-24 US US11/844,738 patent/US7548362B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2007-08-31 CN CN2007101483362A patent/CN101135775B/zh not_active Expired - Fee Related
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2006243251A5 (ja) | ||
JP4574396B2 (ja) | 光偏向器 | |
JP2008058752A5 (ja) | ||
KR100743315B1 (ko) | 마이크로 미러 디바이스 및 이를 이용한 마이크로 미러디바이스 어레이 | |
US9766450B2 (en) | Light deflector, two-dimensional image display apparatus, optical scanner, and image forming apparatus | |
JP2005208578A5 (ja) | ||
JP2012133242A (ja) | 光走査装置 | |
JP5967145B2 (ja) | 光走査装置 | |
JP6614276B2 (ja) | 圧電光偏向器、光走査装置、画像形成装置及び画像投影装置 | |
JP2007322505A (ja) | 光偏向器、及びそれを用いた光学機器 | |
JP2007155984A5 (ja) | ||
JP2011232589A (ja) | 光走査装置 | |
JP6311314B2 (ja) | 光偏向装置、光走査装置、画像表示装置及び画像形成装置 | |
CN110275287B (zh) | 光扫描装置 | |
JP2009031642A5 (ja) | ||
JP2017016018A (ja) | 光偏向器、光走査装置、画像形成装置、画像投影装置、ヘッドアップディスプレイ装置、およびレーダ装置 | |
JP2009122293A (ja) | 揺動体装置、光偏向器、及びそれを用いた光学機器 | |
JP2009198702A (ja) | 揺動構造体、及び揺動構造体を用いた揺動体装置 | |
JP2009031642A (ja) | 揺動体装置、光偏向器およびそれを用いた画像形成装置 | |
JP2009031643A5 (ja) | ||
JP6648443B2 (ja) | 光偏向器、2次元画像表示装置、光走査装置及び画像形成装置 | |
JP2012163828A (ja) | 光偏向用mems素子 | |
JP4910668B2 (ja) | 光学デバイス、光スキャナ、および画像形成装置 | |
JP6003529B2 (ja) | 圧電光偏向器、光走査装置、画像形成装置及び画像投影装置 | |
JP2005326745A (ja) | 光偏向装置およびその制御方法 |