JP2012163828A - 光偏向用mems素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】反射ミラー1と、反射ミラー1に一端が接続されたメインアーム2a〜2dと、メインアーム2a〜2dの他端に自由端である一端が接続されたサブアーム3a〜3dと、 サブアーム3a〜3dの他端を固定する固定部4a,4bとを備え、サブアーム3a〜3dの曲げ方向の振動によりメインアーム2a〜2dを捩れ方向に振動させ、中心軸L1の軸回りに反射ミラー1を振動させて光偏向を行うときの共振周波数に対して、サブアーム3a〜3dの曲げ方向の振動によりメインアーム2a〜2dが曲げ方向に振動するときの共振周波数が離れるように、サブアーム3a〜3dのばね係数をそれぞれ変化させる。
【選択図】図1
Description
f=(1/2π)×(k/m)0.5 …(1)
ここで、kはばね係数であり、mは振動系の質量である。
k=3EI/l3 …(2)
ここで、Eはヤング率、Iは断面2次モーメント、lは梁の長さである。断面2次モーメントIは、以下の式(3)で表すことができる。
I=bh3/12 …(3)
ここで、bが梁の幅、hが梁の高さである。
上記のように、本発明は実施の形態によって記載したが、この開示の一部をなす論述及び図面はこの発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施の形態、実施例及び運用技術が明らかとなろう。
2a〜2d…第1〜第4のメインアーム
3a〜3d…第1〜第4のサブアーム
4a,4b…第1及び第2の固定部
5a,5b…圧電膜
6a〜6d…根元部
7a〜7d…貫通穴
8a〜8d…部材
Claims (4)
- 光を反射する反射面を有する反射ミラーと、
前記反射ミラーに一端がそれぞれ接続され、一方向に互いに平行に延伸する第1及び第2のメインアームと、
前記第1及び第2のメインアームと前記反射ミラーを挟んで対称に、前記反射ミラーに一端がそれぞれ接続され、前記一方向に互いに平行に延伸する第3及び第4のメインアームと、
前記第1及び第2のメインアームの他端に自由端である一端がそれぞれ接続され、前記第1及び第2のメインアーム間の中心軸から離れるように、前記一方向と直交する方向にそれぞれ延伸し、前記反射面に対して垂直方向を曲げ方向として振動可能な第1及び第2のサブアームと、
前記第1及び第2のサブアームと前記反射ミラーを挟んで対称に、前記第3及び第4のメインアームの他端に自由端である一端がそれぞれ接続され、前記中心軸から離れるように、前記直交する方向にそれぞれ延伸し、前記曲げ方向に振動可能な第3及び第4のサブアームと、
前記第1及び第2のサブアームの他端を固定する第1の固定部と、
前記第3及び第4のサブアームの他端を固定する第2の固定部
とを備え、
前記第1〜第4のサブアームの前記曲げ方向の振動により前記第1〜第4のメインアームを捩れ方向に振動させ、前記中心軸の軸回りに前記反射ミラーを振動させて光偏向を行うときの共振周波数に対して、前記第1〜第4のサブアームの前記曲げ方向の振動により前記第1〜第4のメインアームが前記曲げ方向に振動するときの共振周波数が離れるように、前記第1〜第4のサブアームのばね係数をそれぞれ変化させることを特徴とする光偏向用MEMS素子。 - 前記第1〜第4のサブアームのそれぞれの一部の厚さを他の部分の厚さより薄くすることを特徴とする請求項1に記載の光偏向用MEMS素子。
- 前記第1〜第4のサブアームに開口部又は座ぐりが設けられていることを特徴とする請求項1に記載の光偏向用MEMS素子。
- 前記第1〜第4のサブアームの一部の部材が、他の部分と弾性率が異なることを特徴とする請求項1に記載の光偏向用MEMS素子。
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