JP2009077595A5 - - Google Patents

Claims (11)

1. 可動板と、該可動板を支持する１対の軸部材とを備えた振動部と、
   前記振動部を支持する支持部と、
   前記振動部に設けられ、前記可動板の挙動を検出するためのピエゾ抵抗素子と、
   前記支持部に設けられた電極と、
   一部が前記振動部および前記支持部に接合され、残部が前記各軸部材に対し離間するように形成された樹脂層と、
   前記樹脂層上に成膜され、前記ピエゾ抵抗素子と前記電極とを電気的に接続する配線と、
   前記可動板を前記各軸部材の捩れ変形を伴って回動させる駆動手段とを有し、
   前記配線は、その少なくとも一部が前記各軸部材に対し離間するように配設されていることを特徴とするアクチュエータ。
2. 前記樹脂層は、その前記配線側の面を前記振動部側とするように設けられ、前記配線は、導電性を有するバンプを介して前記ピエゾ抵抗素子に接合されている請求項１に記載のアクチュエータ。
3. 前記ピエゾ抵抗素子は、前記１対の軸部材のうちの少なくとも一方の軸部材上に設けられ、前記配線は、当該少なくとも一方の軸部材に沿って設けられている請求項１または２に記載のアクチュエータ。
4. 前記ピエゾ抵抗素子は、前記軸部材上に設けられたピエゾ抵抗領域と、該ピエゾ抵抗領域に互いに離間して設けられた少なくとも１対の端子とを有する請求項３に記載のアクチュエータ。
5. 前記少なくとも１対の端子は、前記軸部材の軸線方向に互いに離間して並設された１対の第１の端子と、前記軸部材の軸線に直交する方向に互いに離間して並設された１対の第２の端子とを含む請求項４に記載のアクチュエータ。
6. 前記ピエゾ抵抗素子は、前記各軸部材に設けられており、前記配線は、前記１対の軸部材に対する影響が互いに等しくなるように設けられている請求項３ないし５のいずれかに記載のアクチュエータ。
7. 前記ピエゾ抵抗素子は、前記軸部材の前記支持部側の端部に設けられている請求項３ないし６のいずれかに記載のアクチュエータ。
8. 前記可動板および前記各軸部材は、シリコンで一体的に形成されている請求項１ないし７のいずれかに記載のアクチュエータ。
9. 前記配線は、金属で構成されている請求項１ないし８のいずれかに記載のアクチュエータ。
10. 光反射部が設けられた可動板と、該可動板を支持する１対の軸部材とを備えた振動部と、
    前記振動部を支持する支持部と、
    前記振動部に設けられ、前記可動板の挙動を検出するためのピエゾ抵抗素子と、
    前記支持部に設けられた電極と、
    一部が前記振動部および前記支持部に接合され、残部が前記各軸部材に対し離間するように形成された樹脂層と、
    前記樹脂層上に成膜され、前記ピエゾ抵抗素子と前記電極とを電気的に接続する配線と、
    前記可動板を前記各軸部材の捩れ変形を伴って回動させる駆動手段とを有し、
    前記光反射部で反射した光を走査するように構成され、
    前記配線は、その少なくとも一部が前記各軸部材に対し離間するように配設されていることを特徴とする光スキャナ。
11. 光反射部が設けられた可動板と、該可動板を支持する１対の軸部材とを備えた振動部と、
    前記振動部を支持する支持部と、
    前記振動部に設けられ、前記可動板の挙動を検出するためのピエゾ抵抗素子と、
    前記支持部に設けられた電極と、
    一部が前記振動部および前記支持部に接合され、残部が前記各軸部材に対し離間するように形成された樹脂層と、
    前記樹脂層上に成膜され、前記ピエゾ抵抗素子と前記電極とを電気的に接続する配線と、
    前記可動板を前記各軸部材の捩れ変形を伴って回動させる駆動手段とを有し、
    前記光反射部で反射した光を走査して、画像を形成するように構成され、
    前記配線は、その少なくとも一部が前記各軸部材に対し離間するように配設されていることを特徴とする画像形成装置。