JP2017207631A - 光偏向器 - Google Patents
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Abstract
Description
光を反射するミラー部と、
前記ミラー部を支持する可動支持体と、
前記可動支持体を支持する固定支持体と、
前記可動支持体を第1軸線の回りに往復回動させる第1アクチュエータと、
前記第1軸線に対する直交方向を駆動振動方向にして前記可動支持体に該直交方向の外側から結合する振動式ジャイロセンサとを備えることを特徴とする。
Claims (7)
- 光を反射するミラー部と、
前記ミラー部を支持する可動支持体と、
前記可動支持体を支持する固定支持体と、
前記可動支持体を第1軸線の回りに往復回動させる第1アクチュエータと、
前記第1軸線に対する直交方向を駆動振動方向にして前記可動支持体に結合する振動式ジャイロセンサとを備えることを特徴とする光偏向器。 - 請求項1記載の光偏向器において、
前記振動式ジャイロセンサは、1対のアームの対峙方向を前記駆動振動方向に一致させた音叉型ジャイロセンサであることを特徴とする光偏向器。 - 請求項2記載の光偏向器において、
前記第1アクチュエータは圧電アクチュエータであり、
前記音叉型ジャイロセンサは圧電式であることを特徴とする光偏向器。 - 請求項3記載の光偏向器において、
前記第1アクチュエータ及び前記音叉型ジャイロセンサは、圧電層と該圧電層の下側に配設された下側電極層とを有し、
前記固定支持体から前記第1アクチュエータ及び前記可動支持体を経由して前記音叉型ジャイロセンサに連続的に延びる導電層が形成され、
前記導電層は前記第1アクチュエータ及び前記音叉型ジャイロセンサの位置において前記第1アクチュエータ及び前記音叉型ジャイロセンサの前記下側電極層を構成することを特徴とする光偏向器。 - 請求項1〜4のいずれか1項に記載の光偏向器において、
前記振動式ジャイロセンサを、前記第1軸線から前記直交方向の一方及び他方に離してそれぞれ1以上備えることを特徴とする光偏向器。 - 請求項1〜5のいずれか1項に記載の光偏向器において、
前記第1アクチュエータは、前記ミラー部を、前記第1軸線の回りに非共振周波数で往復回動させることを特徴とする光偏向器。 - 請求項6記載の光偏向器において、
前記可動支持体に支持された前記ミラー部を、該ミラー部の中心において前記第1軸線と直交する第2軸線の回りに、前記非共振周波数より高い前記ミラー部の共振周波数で往復回動させる第2アクチュエータを備えることを特徴とする光偏向器。
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