JP2008166609A - 半導体発光素子 - Google Patents
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Abstract
【課題】半導体発光素子の光の取り出し効率を向上させる。
【解決手段】基板110と、基板の上方に設けられた発光層124と、発光層124を分断する窓部150と、発光層124の下方に設けられ、発光層124からの光を窓部150に導く反射部130aとを有する半導体発光素子である。
【選択図】図1
【解決手段】基板110と、基板の上方に設けられた発光層124と、発光層124を分断する窓部150と、発光層124の下方に設けられ、発光層124からの光を窓部150に導く反射部130aとを有する半導体発光素子である。
【選択図】図1
Description
本発明は、半導体発光素子に関する。
一般に、LEDは、発光層の上面および下面から光を取り出すことができる。しかしながら、リードフレームなどの実装部材にダイマウントする限り、発光層の一方の側はダイマウント側となるため、このダイマウント側に出た光の取り出しには制約がある。特に、チップサイズが大型化した場合、高効率な取り出しは困難となる。
かかるLEDにおいて光取り出し効率を高める方法はこれまでにも種々提案されている。例えば、特許文献1のような発光層と基板の間に発光層を複数に区画するごとく凹状の反射層を設ける構造としたものも提案されている。しかしながら、これらの技術も、発光層から基板側、すなわち発光素子のダイマウント側に出た光は、再び発光層を通らなければならず、再吸収による量子効率低下の懸念がある。
米国特許第7,109,527号明細書
発光層で発生した光の取り出し効率を従来に比べ向上させることができる。
本発明の一態様によれば、基板と、前記基板の上方に設けられた発光層と、前記発光層を分断する窓部と、前記窓部の下方に設けられ、前記発光層からの光を前記窓部に導く反射部と、を有することを特徴とする半導体発光素子が提供される。
本発明の他の態様によれば、発光層と、前記発光層の下方に設けられ、前記発光層からの光に対して透過性を有する半導体層と、前記発光層を分断する窓部と、前記窓部の下方であって、前記光透過性半導体層に設けられ、前記窓部の方向に凸である凸部と、を有することを特徴とする半導体発光素子が提供される。
発光層で発生した光の取り出し効率を従来に比べ向上させることができる。
以下、本発明に係る実施の形態について説明する。なお、説明は図面に基づいて行うが、それらの図面は単に図解のために提供されるものであって、本発明はそれらの図面により何ら限定されるものではない。
(第1の実施の形態)
図1(a)は、本実施の形態に係る半導体発光素子の要部構成を示す断面図であり、図1(b)はその一部を拡大して示す断面図である。なお、以下の図面において、矢印は特に断らない限り発光層から発光した光の軌跡を示している。
図1(a)は、本実施の形態に係る半導体発光素子の要部構成を示す断面図であり、図1(b)はその一部を拡大して示す断面図である。なお、以下の図面において、矢印は特に断らない限り発光層から発光した光の軌跡を示している。
図1(a)および図1(b)に示すように、本実施の形態に係る半導体発光素子は、基板110の一面側に半導体積層部120を有している。基板110には、例えば、シリコン基板や、ステンレス鋼(SUS)基板などのメタル基板が使用される。本実施形態では、約1000μm×約1000μm×約100μmからなるシリコン基板が使用されている。
基板110上には、反射部130を形成するための層として、光透過性を有する半導体層140が積層され、その上に半導体積層部120が設けられている。光透過性半導体層140は、例えば、GaP系材料などからなる透明基板により形成される。
半導体積層部120は、基板110側から順にN型半導体層122およびP型半導体層126を備え、N型半導体層122とP型半導体層126の接合部分は発光層(活性層)124をなしている。N型半導体層122およびP型半導体層126の材料としては、例えば、InGaAlP系材料が使用される。
半導体積層部120は、窓部150によって分断されており、これにより、半導体積層部120は、複数の互いに独立した発光ユニット120aに分割されることになる。そして、光透過性半導体層140には、窓部150の下方に、窓部150の方向に凸である凸部からなる反射部130が設けられ、これによって、発光層124から基板110側に放出された光が、図1(b)に示すように、発光層124に対し垂直もしくは垂直に近い角度で窓部150から放出されるようになっている。
この結果、基板110上には、発光ユニット120aと、窓部150aと、発光ユニット120aの発光層124から基板110側に放出された光を窓部150aに導く反射部130aとを含む発光ユニットセル160が複数、配列された構造となる。
なお、窓部150は光透過性半導体層140の表面が露出するように設けられているが、少なくとも発光層124が分断されていればよい。
また、反射部130を構成する凸部の高さは、その頂部が光透過性半導体層140の発光層124側表面にほぼ達する高さとされていることが好ましい。これにより、各発光ユニット120aから基板110側に放出された光は、隣接する発光ユニットセル160内に入射することがなくなり、窓部150からの光取り出し効率をより高めることができる。
本実施形態では、反射部130は、光透過性半導体層140の基板110側の面の窓部150に対応する位置に、窓部150の方向に凸であり、基板110から離れるにつれて断面の幅が小さくなるとともに、その頂部が対応する窓部150の中央に位置するような凸部を形成し、これらの表面にAu、Ag、Pdなどから選択される金属の層を設けることにより形成されている。なお、凸部の頂部は必ずしも尖っている必要はなく、平坦部を有していてもよい。また、凸部の立ち上がり端は、発光ユニット120a下まで延出していてもよく、あるいは、窓部150a下に位置していてもよい。
そして、このように反射部130が形成された光透過性半導体層140と基板110は、金属接着剤190により接着されている。なお、金属接着剤190は、光透過性半導体層140と基板110の界面全体に存在することになるが、図面では、発光ユニット120a下方の光透過性半導体層140と基板110との界面における金属接着剤190は図示を省略した。
光取り出し効率を向上させる観点からは、反射部130に続く、発光ユニット120a下方の光透過性半導体層140の基板110側表面にも、反射部130と同様のAu、Ag、Pdなどから選択される金属の層を設けることが好ましい。
また、各発光ユニットセル160において、窓部150aの面積の割合を大きくすればするほど光取り出し効率は大きくなるが、発光層124からの発光量が低下するため、これらの面積比は光取り出し効率と発光量を考慮して設定することが望ましい。一般には、発光層124の面積が窓部150aより大きく設定される。
なお、図示を省略したが、本実施形態の半導体発光素子においては、発光層124に電圧を印加するため、各発光ユニットセル160の上面に透明電極が設けられ、基板110の下面または上面に形成される電極との間で電圧が印加される。本発明においては、反射部130に基板側の電極を形成することも可能である。透明電極には、光透過性に優れるITO(インジウムスズ酸化物)、ZnO(酸化亜鉛)などが使用される。
図2(a)は、本実施の形態に係る半導体発光素子の上面図であり、また、図2(b)は、それを構成する発光ユニットセル160を示す斜視図である。
図2(a)および図2(b)に示すように、上面形状が矩形状(図面の例は、正方形状)の発光ユニットセル160が基板110上に隙間なく配置された構造となっている。なお、発光ユニットセル160の上面形状は、矩形状に限らず、図2(c)に示すような多角形状(図面の例は、六角形状)や、図2(e)に示すような円形状などであってもよい。すなわち、図2(c)は、本実施形態の一変形例に係る半導体発光素子の上面図であり、図2(d)は、その例における発光ユニットセル160を示す斜視図である。また、図2(e)は、本実施形態の他の変形例に係る半導体発光素子の上面図であり、図2(f)は、その例における発光ユニットセル160を示す斜視図である。光取り出し効率の観点からは、発光ユニットセル160は、隙間なく配置可能な矩形状または六角形状が好ましい。
このように構成される半導体発光素子においては、図示しない透明電極と基板110の上面または下面に設けられた電極に電圧を印加すると、発光層124から光が放出される。この光には、半導体発光素子の表面側へ放出される光と、半導体発光素子のダイマウント面側に出る光がある。半導体発光素子の表面側に出た光は、ある入射角以上で、半導体発光素子の外部に取り出され、それ以外は半導体発光素子と外部との界面で反射され、発光層124で再吸収されるか、ダイマウント面側に反射される。発光層124から半導体発光素子のダイマウント面側に放出された光は、発光層124から光透過性半導体層140に取り出される光と、光透過性半導体層140との界面で反射され、発光層124で再吸収される光がある。発光層124から光透過性半導体層140へ取り出された光は、反射部130で反射され、半導体発光素子の表面側に反射される。反射された光は、発光層124に再突入する光と、窓部150から半導体発光素子外部へ出てくる光、窓部150と外部との界面で反射される光がある。本実施形態においては、窓部150から半導体発光素子外部へ取り出された光は、発光層124へ再突入することなく外部に取り出せる。そして、一度ダイマウント面側に出た光は、反射部130によって窓部150に導かれる。したがって、ダイマウント面側に出た光の発光層124による再吸収が低減され、高い効率で光を取り出すことができる。
なお、図3(a)は、本実施形態の半導体発光素子において、窓部150を備えていない以外は同様に構成された半導体発光素子であり、図3(b)はその一部を拡大して示す断面図である。このような半導体発光素子においては、発光層124から基板110側に出た光、すなわち、ダイマウント面側に出た光は全て発光層124を通るため、本実施形態のものに比べ、光の取り出し効率は低くなる。
このように本実施形態の半導体発光素子においては、発光層124の下面から一度放出された光が窓部150より取り出されるため、発光層124による再吸収が抑制され、これにより、光取り出し効率が向上させることできる。
上記構成の半導体発光素子は、例えば、次のように製造することができる。
まず、図4(a)に示すように、GaAs基板などの成長基板170上に、発光層124をN型半導体層122とP型半導体層126で挟んだInGaAlP系材料などからなる半導体積層部120をエピタキシャル成長させる。
次に、図4(b)に示すように、半導体積層部120上に、GaP基板などの透明基板を接着させ、光透過性半導体層140を形成する。透明基板に代えて、半導体積層部120上にGaPなどの透明な半導体層をエピタキシャル成長させるようにしてもよい。
次に、図4(c)に示すように、光透過性半導体層140上面の所定の位置にダイシング技術やエッチング技術などにより凸部142を形成した後、図6(d)に示すように、凸部142を形成した光透過性半導体層140の表面に、蒸着やスパッタなどの周知の薄膜形成技術によりAu、Ag、Pdなどから選択される金属からなる反射膜136を形成する。
続いて、図4(e)に示すように、シリコン基板などの基板110上に、反射膜136側を基板110に向けて積層し、AuSn系接着剤のような金属接着剤190によって接着する。
次に、図4(f)に示すように、半導体積層部120を形成するために使用した成長基板170を除去した後、その除去面に、図6(g)に示すように、ITOなどからなる透明電極180を蒸着などにより形成する。
次に、図4(h)に示すように、半導体積層部120と透明電極180とを、半導体積層部120の発光ユニット120aとして残す部分とそれを覆う透明電極180の部分を除いてエッチングにより除去する。
その後、図4(i)に示すように、これらの表面に、発光ユニット120a上の透明電極180を除いて、例えばシリコン酸化(SiO2)膜などの絶縁膜182を蒸着などにより形成し、さらに、図4(j)に示すように、表面全体を覆うように、透明電極180を蒸着などにより形成する。これにより、図1に示すような本実施形態に係る半導体発光素子が製造される。
(第2の実施の形態)
図5(a)は、第2の実施の形態に係る半導体発光素子の要部構成を示す断面図であり、図5(b)はその一部を拡大して示す断面図である。また、図6は、本実施の形態に係る半導体発光素子の製造方法の一例を説明するための断面図である。なお、以降の実施の形態においては、重複する説明を避けるため、第1の実施の形態と共通する点については説明を省略し、相違点を中心に説明する。
図5(a)は、第2の実施の形態に係る半導体発光素子の要部構成を示す断面図であり、図5(b)はその一部を拡大して示す断面図である。また、図6は、本実施の形態に係る半導体発光素子の製造方法の一例を説明するための断面図である。なお、以降の実施の形態においては、重複する説明を避けるため、第1の実施の形態と共通する点については説明を省略し、相違点を中心に説明する。
図5(a)および図5(b)に示すように、第2の実施の形態に係る半導体発光素子においては、各発光ユニット120aの上面にテクスチャー層128が形成されている。したがって、その製造にあたっては、半導体積層部120を形成するために使用した成長基板170を除去する工程(図6(f))の後、半導体積層部120の表面にテクスチャー層128を形成し(図6(g))、その後、テクスチャー層128を覆うように透明電極180を形成している(図6(h))。テクスチャー層128は、例えば、エピタキシャル成長とエッチングを組み合わせた技術によって形成することができる。なお、製造方法において、図6(e)までの工程および図6(i)以降の工程は、それぞれ前述した図4(a)〜図4(e)の工程および図4(h)〜図4(j)の工程と同様であり、説明を省略する。
第2の実施の形態においても、第1の実施の形態と同様の効果を得ることができる。加えて、発光ユニット120aの上面にテクスチャー層128が形成されているため、発光層124の上面から放出された光の取り出し効率が向上し、しかも、窓部150から発光層124の下面方向に出た光を取り出すことができるため、テクスチャー層128を設けたことによる光散乱ロスを低減させることができる。
(第3の実施の形態)
図7(a)は、第3の実施の形態に係る半導体発光素子の要部構成を示す断面図であり、図7(b)はその一部を拡大して示す断面図である。また、図8は、本実施の形態に係る半導体発光素子の製造方法の一例を説明するための断面図である。
図7(a)は、第3の実施の形態に係る半導体発光素子の要部構成を示す断面図であり、図7(b)はその一部を拡大して示す断面図である。また、図8は、本実施の形態に係る半導体発光素子の製造方法の一例を説明するための断面図である。
図7(a)および図7(b)に示すように、第3の実施の形態に係る半導体発光素子においては、各発光ユニット120a下方に、基板110から離れるにつれて断面の幅が小さくなる凸部132が設けられている。つまり、発光ユニット120aの真下に凸部132が設けられている。このような半導体発光素子は、光透過性半導体層140に凸部142を形成する際に、同時に、または、その前もしくは後に、凸部132を形成するようにすればよい(図8(d))。なお、製造方法において、図8(c)までの工程および図8(e)以降の工程は、それぞれ前述した図4(a)〜図4(c)の工程および図4(d)〜図4(j)の工程と同様であり、説明を省略する。
第3の実施の形態においても、第1の実施の形態と同様の効果を得ることができる。加えて、各発光ユニット120a下方に凸部132が形成されているため、発光層124から下面方向に出た光をより効率よく窓部150に導くことができ、光取り出し効率をより向上させることができる。
なお、図面の例では、凸部132は1つ設けられているが、複数設けるようにしてもよい。1つ設ける場合には、凸部132の頂部が各発光ユニット120aの真ん中に位置するように設けることが好ましい。また、凸部132の高さは、反射部130を構成する凸部142の高さと同じであってもよく、それより低くてもよく、逆に高くてもよい。隣接する発光ユニットセル160への光の漏れを防止するの観点からは、反射部130を構成する凸部142の高さより低いことが好ましい。さらに、凸部132と反射部130を構成する凸部142とは連続して設けられていてもよく、また、非連続的に設けられていてもよいが、窓部150へ効率よく光を導出するという観点からは、連続した曲面からなることが好ましい。
なお、第3の実施の形態においても、図9に示すように、第2の実施の形態の場合と同様、各発光ユニット120aの上面にテクスチャー層128を形成するようにしてもよい。この場合、さらに、第2の実施の形態と同様の効果を得ることができる。
(第4の実施の形態)
図10(a)は、第4の実施の形態に係る半導体発光素子の要部構成を示す断面図であり、図10(b)はその一部を拡大して示す断面図である。また、図11は、本実施の形態に係る半導体発光素子の製造方法の一例を説明するための断面図である。
図10(a)は、第4の実施の形態に係る半導体発光素子の要部構成を示す断面図であり、図10(b)はその一部を拡大して示す断面図である。また、図11は、本実施の形態に係る半導体発光素子の製造方法の一例を説明するための断面図である。
図10(a)および図10(b)に示すように、第4の実施の形態に係る半導体発光素子においては、各発光ユニット120aの真下にテクスチャー層134が設けられている。このような半導体発光素子は、光透過性半導体層140に凸部142を形成する工程(図11(c))の後、テクスチャー層134を形成し(図11(d))、その後、反射膜136を形成するようにすればよい(図11(e))。テクスチャー層134の形成は、凸部142を形成する工程の前に行ってもよい。なお、製造方法において、図11(b)までの工程および図11(f)以降の工程は、それぞれ前述した図4(a)〜図4(b)の工程および図4(e)〜図4(j)の工程と同様であり、説明を省略する。
第4の実施の形態においても、第1の実施の形態と同様の効果を得ることができる。加えて、各発光ユニット120a真下にテクスチャー層134が形成されているため、発光層124から下面方向に出た光を乱反射させ、窓部150に導くことができる。これにより光取り出し効率をより向上させることができる。
なお、第4の実施の形態においても、図12に示すように、第2の実施の形態の場合と同様、各発光ユニット120aの上面にテクスチャー層128を形成するようにしてもよい。この場合、さらに、第2の実施の形態と同様の効果を得ることができる。
(第5の実施の形態)
図13(a)は、第5の実施の形態に係る半導体発光素子の要部構成を示す断面図であり、図13(b)はその一部を拡大して示す断面図である。また、図13(c)はその上面図であり、図13(d)はそれを構成する発光ユニットセル160を示す斜視図である。
図13(a)は、第5の実施の形態に係る半導体発光素子の要部構成を示す断面図であり、図13(b)はその一部を拡大して示す断面図である。また、図13(c)はその上面図であり、図13(d)はそれを構成する発光ユニットセル160を示す斜視図である。
図13(a)乃至図13(d)に示すように、第5の実施の形態に係る半導体発光素子においては、発光ユニット120aは、ストライプ状の上面形状を有している。そして、透過性半導体層140には、窓部150の方向に凸である凸部からなる反射部130が連続的に設けられており、発光ユニット120aの一側端が反射部130を構成する凸部の頂部上に位置し、他側端が反射部130構成する凸部の立ち上がり端に位置している。
第5の実施の形態においては、第1の実施の形態に比べて、光取り出し効果はやや低下するものの、発光層124の面積率の低下を抑制することができる。
なお、図示は省略したが、第5の実施の形態においても、第2の実施の形態の場合と同様、各発光ユニット120aの上面にテクスチャー層128を形成するようにしてもよい。この場合、さらに、第2の実施の形態と同様の効果を得ることができる。
また、図14(a)および図14(b)は、第5の実施の形態の変形例を示したもので、これらの図に示すように、この例では、窓部150の下方に、窓部150の方向に凸である凸部からなる反射部130が設けられるとともに、ストライプ状の発光ユニット120aの下方に、基板110から離れるにつれて断面の幅が小さくなる凸部132が設けられている。
このように構成される半導体発光素子においては、図13に示した半導体発光素子に比べ、形状の自由度と理論効率の面で劣るものの、簡単な製造プロセスで効果が得られるという利点を有する。
なお、本発明は、以上説明した実施の形態の記載内容に限定されるものではなく、構造や材質、各部材の配置などは、本発明の要旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能であることはいうまでもない。
110…基板、124…発光層、130、130a…反射部、132…凸部、140…光透過性半導体層、150、150a…窓部、160…発光ユニットセル、180…透明電極。
Claims (5)
- 基板と、
前記基板の上方に設けられた発光層と、
前記発光層を分断する窓部と、
前記窓部の下方に設けられ、前記発光層からの光を前記窓部に導く反射部と、
を有することを特徴とする半導体発光素子。 - 発光層と、
前記発光層の下方に設けられ、前記発光層からの光に対して透過性を有する半導体層と、
前記発光層を分断する窓部と、
前記窓部の下方であって、前記光透過性半導体層に設けられ、前記窓部の方向に凸である凸部と、
を有することを特徴とする半導体発光素子。 - 前記凸部は、その頂部が前記光透過性半導体層の前記発光層側表面にほぼ達する高さとされていることを特徴とする請求項2記載の半導体発光素子。
- 前記発光層の下方であって、前記光透過性半導体層に設けられ、前記窓部下方に設けられた凸部と同方向に凸である凸部をさらに有することを特徴とする請求項2または3記載の半導体発光素子。
- 前記発光層の下方に設けられた凸部の高さが、前記窓部の下方に設けられた凸部より低いことを特徴とする請求項2乃至4のいずれか1項記載の半導体発光素子。
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