JP2008164618A - プローブカード - Google Patents

Abstract

【課題】多様な集積回路チップに対応可能な、ウェーハテスト用のプローブカードを提供する。
【解決手段】プローブカード３０１は、中央にホールが形成された平板を有するメインカード３１１と、ホールを通じてメインカード３１１に垂直に装着された補助カード４０１及び４０２と、補助カード４０１及び４０２に付着された複数個のプローブニードルと、を備える。プローブカード３０１は、メインカード３１１に補助カード４０１及び４０２を装着又は脱着することができる。これにより、集積回路チップの種類によって補助カード４０１及び４０２のみを交換してプローブカード３０１を使用することができる。補助カード４０１及び４０２は、構造が簡単で製作コストが低く、製作期間も短い。したがって、プローブカード３０１の製作コストが大幅に節減され、製作期間も大幅に短縮される。
【選択図】図３

Description

本発明は、半導体テスト装置に用いられるプローブカードに関し、特にウェーハに形成された複数個の集積回路装置をテストするウェーハテスト用のプローブカードに関する。

集積回路装置は、薄いウェーハを製造する工程、前記ウェーハに複数個の集積回路チップを製造する工程、前記集積回路チップの不良の如何を判別するウェーハ検査（Ｅｌｅｃｔｒｉｃａｌ Ｄｉｅ Ｓｏｒｔ：ＥＤＳ）工程、前記集積回路チップをパッケージングして半導体パッケージを製造する工程、前記半導体パッケージをテストする工程を経て完成される。

上述のＥＤＳ工程は、ウェーハ上に形成された集積回路チップに電気信号を印加して前記集積回路チップの性能をテストし、良好なチップと不良なチップとを判別して、不良なチップにはインクで表示する。以後の半導体パッケージを製造する工程で良好なチップのみを選んでパッケージングすることによって、半導体パッケージの製造コストが節減され、かつ製造時間が短縮される。

ＥＤＳ工程を行うためには、ウェーハに形成された複数個の集積回路チップに電気信号を供給し、前記集積回路チップから伝送される電気信号を受けて前記集積回路チップの電気的性能を判別するテスト装置、及び前記テスト装置と前記集積回路チップとに接続され、前記テスト装置と前記集積回路チップとの相互間に電気信号を伝達するプローブカードが備えられねばならない。

図１は、従来のプローブカードの概略的な平面図であり、図２は、図１に示したプローブカードの側面図である。図１及び図２に示すように、従来のプローブカード１０１は、回路基板１２１及び複数個のプローブニードル１３１を備える。
回路基板１２１は、テスト装置に電気的に接続される複数個の接続部１２５を備える。複数個の接続部１２５は、回路基板１２１に配列された複数本の配線（図示せず）を通じて複数個のプローブニードル１３１に電気的に接続される。

複数個のプローブニードル１３１は、回路基板１２１に設置された支持台１４１に付着される。複数個のプローブニードル１３１は、電気線１５１を通じて回路基板１２１に接続される。ウェーハテスト時に、複数個のプローブニードル１３１は、ウェーハ上に形成された複数個の集積回路チップにそれぞれ形成された複数個のパッドに接触する。

かかる従来のプローブカード１０１は、前記集積回路チップの種類によって多様に備えられる。すなわち、前記集積回路チップに形成された複数個のパッドの配列状態及び数は、前記集積回路チップの種類によって多様に構成される。前記パッドの多様な配列及び数に合わせて、複数個のプローブニードル１３１の配列及び数も多様に構成される。このように、複数個のプローブニードル１３１の配列及び数が多様化するにつれて、プローブカード１０１も多様に備えられる。

前記のように、集積回路チップの種類が多様化するにつれて、プローブカード１０１も多様に備えられ、これにより、プローブカード１３１の製作コストが高くなる。また、プローブニードル１３１の数が多い場合、プローブカード１０１の製作期間が長くなり、これによってテスト期間が長くなって生産性が低下する。

本発明の目的は、従来の問題点を解決するためのものであって、製作コストが大幅に節減され、製作期間が大幅に短縮されるプローブカードを提供することにある。

前記目的を達成するために、本発明は、中央にホールが形成された平板を有するメインカードと、前記ホールを通じて前記メインカードに垂直に装着された補助カードと、前記補助カードに付着された複数個のプローブニードルと、を備えるプローブカードを提供する。
望ましくは、前記補助カードは、前記メインカードに装着及び脱着可能に構成される。

望ましくは、また、前記メインカード上に設置され、前記補助カードと結合されて前記補助カードを前記メインカードに固定させる基板装着部を備える。
望ましくは、また、前記メインカードには、前記補助カードが複数個装着される。
望ましくは、また、前記プローブカードは、ウェーハに形成された集積回路チップのテストに利用される。

望ましくは、また、前記メインカードは、複数本の電気線を備え、前記補助カードは、前記複数本の電気線と前記複数個のプローブニードルとを電気的に接続させるための複数個の接続部を備える。
望ましくは、また、前記補助カードは、前記複数個の接続部を前記複数個のプローブニードルに接続させる複数本の配線を備える。

望ましくは、また、前記複数個の接続部は、それぞれ接続及び脱着可能なコネクタで構成される。
望ましくは、また、前記複数個のプローブニードルは、一直線に形成される。
望ましくは、また、前記補助カードは、前記複数個のニードルと前記補助カードとの間に備えられ、前記複数個のニードルを上に支持して前記複数個のニードルを前記補助カードに対して傾斜した状態に維持させる複数個のニードル受け台を備える。

前記目的を達成するために、本発明は、また、中央にホールが形成された平板を有するメインカードと、前記ホールを通じて前記メインカードに垂直に装着された補助カードと、前記補助カードに付着された複数個のプローブニードルと、前記メインカードの上部に設置され、前記補助カードを前後に移動させる調整部と、を備えるプローブカードを提供する。

望ましくは、前記メインカードは、前記調整部上に設置され、前記補助カードが装着される基板装着部を備える。
望ましくは、また、前記メインカードは、前記調整部の下部に設置され、前記調整部を前記メインカードに固定させる受け台を備える。
望ましくは、また、前記補助カードと前記調整部とは、それぞれ複数個備えられる。

前記目的を達成するために、本発明は、中央にホールが形成された平板を有するメインカードと、前記ホールを通じて前記メインカードに垂直に装着された補助カードと、前記補助カードに付着された複数個のプローブニードルと、前記メインカードの上部に設置され、前記補助カードをＸ軸に移動させるＸ軸調整部と、前記Ｘ軸調整部の下部に設置され、前記Ｘ軸調整部をＹ軸に移動させるＹ軸調整部と、を備えるプローブカードを提供する。

望ましくは、前記メインカードは、前記Ｘ軸調整部上に設置され、前記補助カードが装着される基板装着部を備える。
望ましくは、また、前記メインカードは、前記Ｙ軸調整部の下部に設置され、前記Ｙ軸調整部を前記メインカードに固定させる受け台を備える。
望ましくは、また、前記補助カード、前記Ｘ軸調整部及び前記Ｙ軸調整部は、それぞれ複数個備えられる。

前記目的を達成するために、本発明は、中央にホールが形成された平板を有するメインカードと、前記ホールを通じて前記メインカードに垂直に装着された補助カードと、前記補助カードに付着された複数個のプローブニードルと、前記補助カードに付着され、電源電圧が印加されるプローブニードルと、前記電源電圧が印加されるプローブニードルに電気的に接続され、前記電源電圧が印加されるプローブニードルに過電圧または過電流が印加されることを遮断する電源制限部と、を備えるプローブカードを提供する。
望ましくは、前記電源制限部は、キャパシタである。

（発明の効果）
本発明によれば、メインカードに補助カードが装着及び脱着される。すなわち、集積回路チップの種類によって補助カードのみを交換して使用できる。補助カードは、構造が簡単で製作コストが低く、製作期間も短い。したがって、プローブカードの製作コストが節減され、製作期間の短縮により生産性が向上する。
また、メインカードには、補助カードをＸ軸及びＹ軸に調整する調整部が備えられることによって、集積回路チップをテストする時に整列エラーが発生しない。

本発明の動作上の利点及び本発明の実施によって達成される目的を十分に理解するためには、本発明の例示的な実施形態を説明する添付図面及び添付図面に記載された内容を参照せねばならない。
以下、添付した図面を参照して本発明の望ましい実施形態を詳細に説明する。各図面に記載された同じ参照符号は同じ部材を示す。

図３は、本発明によるプローブカードの斜視図である。図３に示すように、プローブカード３０１は、符号３１１から符号３５１と複数個の補助カード４０１及び４０２とを備える。
符号３１１から符号３５１は、メインカード３１１、受け台３５１、複数個の基板装着部３２１，３２２、複数個のＹ軸調整部３３１，３３２及び複数個のＸ軸調整部３４１，３４２を備える。複数個の基板装着部３２１，３２２、複数個のＹ軸調整部３３１，３３２及び複数個のＸ軸調整部３４１，３４２は、それぞれ互いに同じ構成を有するので、それらについては、説明の便宜上、図３の右側に示した基板装着部３２１、Ｙ軸調整部３３１及びＸ軸調整部３４１で説明する。

メインカード３１１は、硬性の基板で構成される。メインカード３１１上には、テスト装置（図示せず）に電気的に接続される複数個の接続部、及び前記複数個の接続部を補助カード４０１に電気的に接続させる複数本の配線（図示せず）が形成される。前記複数個の接続部は、図１に示す複数個の接続部１２５と同様である。前記複数個の接続部及び前記複数本の配線の数は、図７に示すテストされる集積回路チップ７０１に備えられるパッド７１１の数に比例する。メインカード３１１の中央には、図４に示すように四角形のホール４０５が形成される。ホール４０５を通じて、補助カード４０１が基板装着部３２１に装着される。

受け台３５１は、メインカード３１１上に装着される。メインカード３１１には、前記複数本の配線が形成されているので、Ｙ軸調整部３３１がメインカード３１１上に直接設置される場合に、前記複数本の配線が損傷を受けうる。このように、複数本の配線の損傷を防止するために、受け台３５１が設置される。また、受け台３５１は、硬性の材質で構成され、上部が平らである。したがって、受け台３５１上にＸ軸調整部３４１が設置されることによって、Ｘ軸調整部３４１は動かないようにしっかり固定される。受け台３５１上にＸ軸調整部３４１、Ｙ軸調整部３３１及び基板装着部３２１が順次に積層される。

基板装着部３２１は、Ｙ軸調整部３３１上に設置される。基板装着部３２１は、Ｙ軸調整部３３１上に設置された状態で動かないように、ねじのような締結手段によりＹ軸調整部３３１に固定される。基板装着部３２１に補助カード４０１が装着される。基板装着部３２１に装着された補助カード４０１は、動かないように図４に示す締結手段４４１によりしっかり固定される。締結手段４４１により、補助カード４０１は、基板装着部３２１に装着及び脱着が容易に行われる。

Ｙ軸調整部３３１は、Ｘ軸調整部３４１上に設置される。Ｙ軸調整部３３１は、ねじのような締結手段によりＸ軸調整部３４１に固定される。Ｙ軸調整部３３１は、第１スライス３３４、第１レバー３３５及び第１ハンドル３３６を備える。第１レバー３３５は、円筒形に長く構成され、その一部は、ねじ状になる。ねじ状になった部分は、第１スライス３３４の内部に挿入される。したがって、第１レバー３３５が左右に回転すれば、第１スライス３３４がＹ軸に往復移動する。

第１レバー３３５の一端に第１ハンドル３３６が接続される。ユーザーは、第１ハンドル３３６を使用して第１レバー３３５を容易に回転させることができる。第１スライス３３４は、第２スライス３４４上に装着され、第２スライス３４４を軸としてＹ軸に往復移動する。第１スライス３３４がＹ軸に移動すれば、基板装着部３２１も共にＹ軸に移動する。第１スライス３３４の移動距離は、図４に示すホール４０５の長さと補助カード４０１のサイズとを考慮して設定される。

第１スライス３３４上には、第１ストッパー３２５が設置される。第１スライス３３４を移動させる時には、第１ストッパー３２５を持ち上げて開けておき、第１スライス３３４を特定の位置に固定させる時は、第１ストッパー３２５を押さえてロックする。
Ｘ軸調整部３４１は、受け台３５１上に設置される。Ｘ軸調整部３４１は、二本のレール３４３、第２スライス３４４、第２レバー３４７、複数個の支持レバー３４８、第２ハンドル３４６及び第２ハンドル固定部３４５を備える。

複数本のレール３４３は、第２スライス３４４の両端に設置される。第２スライス３４４は、複数本のレール３４３上に設置される。したがって、第２スライス３４４は、複数本のレール３４３に沿ってＸ軸に往復移動できる。第２スライス３４４の内部に第２レバー３４７が挿入される。第２レバー３４７の一部がねじ状になる。したがって、第２レバー３４７が回転すれば、第２スライス３４４が複数本のレール３４３に沿ってＸ軸に往復移動する。第２レバー３４７の一端は、第２ハンドル固定部３４５に形成されたホールを通じて第２ハンドル３４６に接続される。したがって、第２レバー３４７が水平に維持されることによって、第２スライス３４４の往復移動時に偏差が発生しない。ユーザーは、第２ハンドル３４６を使用して第２レバー３４７を容易に回転させることができる。

第２スライス３４４は、第１スライス３３４に比べて大きいため、往復移動時に若干の偏差が発生しうる。これを防止するために、複数個の支持レバー３４８が備えられる。複数個の支持レバー３４８は、第２スライス３４４に固定され、その一端は、第２ハンドル固定部３４５の両側に形成されたホールを貫通する。このとき、複数個の支持レバー３４８の外面と第２ハンドル固定部３４５のホールとの間に間隙をなくす。したがって、第２スライス３４４の往復移動時に偏差の発生を二重に防止する。

第２スライス３４４上には、第２ストッパー３４９が設置される。第２スライス３４４を移動させる時には、第２ストッパー３４９を持ち上げて開けておき、第２スライス３４４を特定の位置に固定させる時は、第２ストッパー３４９を押さえてロックする。
前記のように、符号３１１から符号３５１は、Ｘ軸調整部３４１とＹ軸調整部３３１とを備えることによって、基板装着部３２１に装着される補助カード４０１をＸ軸及びＹ軸に移動させる。

図４に示す補助カード４０１には、複数個のニードル４２１（後に示す図５も参照のこと）が設置され、ウェーハに形成された集積回路チップをテストするために、複数個のニードル４２１を前記集積回路チップ上に形成された複数個のパッド上に接触させる。前記複数個のパッドは非常に小さいため、複数個のニードル４２１を前記複数個のパッド上に正確に接触させる作業は非常に困難である。したがって、本発明のＸ軸調整部３４１とＹ軸調整部３３１とを利用して複数個のニードル４２１の位置を細密に調整することによって、複数個のニードル４２１を前記複数個のパッド上に正確に接触させる。

図４は、図３のプローブカード３０１のＡ−Ａ′面の断面図である。図４に示すように、複数個の補助カード４０１，４０２は、ホール４０５を通じて符号３１１から符号３５１に垂直に装着される。図４に示すように、ホール４０５を中心に左右対称的に構成されているので、説明の便宜上、図４の右側に示した部分についてのみ説明する。

基板装着部３２１には、支持台３２３が設置される。補助カード４０１が基板装着部３２１に装着されるとき、支持台３２３が補助カード４０１に形成されたホールを貫通した後で、突出した支持台３２３を締結手段４４１に締結することによって、補助カード４０１が基板装着部３２１に装着される。このとき、支持台３２３には、ストッパー４４５が設置されることによって、補助カード４０１は、ストッパー４４５と締結手段４４１との間に固定される。

図５は、図３に示した補助カードの正面図である。図５に示すように、補助カードは、回路基板４１１、複数個のプローブニードル４２１及び複数個のニードル受け台４７１を備える。
回路基板４１１は、強化ファイバガラスまたはプラスチックのような絶縁物質で製造される。回路基板４１１は、単層で構成されてもよく、複層で構成されてもよい。回路基板４１１に付着されるプローブニードル４２１の数が少ない場合、回路基板４１１に形成される配線（図示せず）の構成が単純になり、このとき、回路基板４１１は、単層で構成される。回路基板４１１に付着されるプローブニードル４２１の数が多い場合、回路基板４１１に形成される配線の構成が複雑になり、このとき、回路基板４１１は、複層で構成される。回路基板４１１が複層で構成される場合、前記配線のうち一部または全部が外部に露出されないように回路基板４１１の内部に配置される。

複数個のプローブニードル４２１は、回路基板４１１の一端、すなわち回路基板４１１が符号３１１から符号３５１に垂直に装着される場合に回路基板４１１の下部に付着される。プローブニードル４２１は、抵抗値が非常に小さく、かつ硬性を有する材質、例えばタングステンで製造される。プローブニードル４２１は、曲がった部分なしに一字形に構成される。

複数個のニードル受け台４７１は、複数個のニードル４２１が回路基板４１１に付着された状態で、複数個のニードル４２１が一方向に固定されるように支持する。複数個のニードル４２１は、接着部材４５１により複数個のニードル受け台４７１に接着される。したがって、複数個のプローブニードル４２１は、一方向に固定される。

図６は、図５に示した補助カードの側面図である。図６に示すように、プローブニードル４２１は、回路基板４１１と平行せずに回路基板４１１に対して“ゼロ”度より大きい角度で傾斜している。また、プローブニードル４２１は、回路基板４１１に形成された配線４６１を通じて接続部４３１に接続される。接続部４３１は、図４に示すように、電気線４３５と接続される。したがって、プローブニードル４２１は、配線４６１と接続部４３１とを通じて符号３１１から符号３５１に電気的に接続される。接続部４３１は、ソケットで構成され、電気線４３５の端部には、コネクタ４３３が接続されることによって、接続部４３１と電気線４３５とは、互いに接続及び脱着が容易になる。回路基板４１１が複層で構成される場合、配線４６１は、回路基板４１１の内部に配置される。

一列に配列された複数個のプローブニードル４２１は、図７に示したように、一面に複数個のパッド７１１が一列に配列された集積回路チップ７０１をテストする場合に適している。
図８は、図６に示した複数個のプローブニードル４２１のうち、電源電圧を伝達するプローブニードル４２１′を説明するために示した補助カードの側面図である。図８に示すように、回路基板４１１には、配線４６１，８２１が形成され、配線８２１に電源制限部８１１が接続される。したがって、電源電圧を伝達するプローブニードル４２１′は、配線８２１、配線４６１及び電源制限部８１１を通じて接続部４３１に電気的に接続される。電源制限部８１１は、電源電圧を伝達するプローブニードル４２１′に過度な電源電圧または電源電流が印加されることを防止する。電源制限部８１１は、キャパシタまたは抵抗などで構成される。

このように、電源制限部８１１を、電源電圧を伝達するプローブニードル４２１′に近接したところに接続することによって、電源電圧が印加されるプローブニードル４２１′には、過度な電源電圧または電源電流が印加されない。したがって、電源電圧を伝達するプローブニードル４２１′の寿命が長くなる。

図９は、図６に示した補助カードの他の実施形態を示す図面である。図９に示すように、補助カード９０１は、上下３列に配列された複数個のプローブニードル９２１から９２３、上下３列に配列された複数個のニードル受け台９４１から９４３、上下３列に配列された複数個の接着部材９５１から９５３、上下３列に配列された複数個の接続部９３１から９３３、及び上下３列に配列された複数本の配線９６１から９６３を備える。

このように、補助カード９０１は、上下複数列に配列された複数個のプローブニードル９２１から９２３を備えることによって、図１０に示したように、一面に複数個のパッド１０１１が３列に配列された構造を有する集積回路チップ１００１を一度にテストできる。したがって、テストコストを節減し、かつ時間が短縮される。

すなわち、従来のプローブカード１０１を利用して図１０に示した集積回路チップ１００１をテストするためには、三回にわたってテストせねばならない。しかし、図９に示した補助カード９０１を利用する場合、図１０に示した集積回路チップ１００１を一度にテストできる。

本発明は、図面に示した実施形態を参考にして説明したが、これは、例示的なものに過ぎず、当業者であれば、これから多様な変形及び均等な他の実施形態が可能であるという点を理解できるであろう。したがって、本発明の真の技術的保護範囲は、特許請求の範囲の技術的思想により決まらねばならない。

（産業上の利用可能性）
本発明は、半導体テスト関連の技術分野に適用可能である。

従来のプローブカードの概略的な平面図である。 図１に示したプローブカードの側面図である。 本発明によるプローブカードの斜視図である。 図３のプローブカードのＡ−Ａ′面の断面図である。 図３に示した補助カードの正面図である。 図５に示した補助カードの側面図である。 本発明による複数個のパッドが一面に１列に配列された集積回路チップを示す図面である。 図６に示した複数個のプローブニードルのうち、電源電圧を伝達するプローブニードルを説明するために示した補助カードの側面図である。 図６に示した補助カードの他の実施形態を示す図面である。 本発明による複数個のパッドが一面に複数列に配列された集積回路チップを示す図面である。

符号の説明

３０１：プローブカード、３１１：回路基板、３２１，３２２：基板装着部、３２５：第１ストッパー、３３１，３３２：Ｙ軸調整部、３３４：第１スライス、３３５：第１レバー、３３６：第１ハンドル、３４１，３４２：Ｘ軸調整部、３４３：レール、３４４：第２スライス、３４５：第２ハンドル固定部、３４６：第２ハンドル、３４７：第２レバー、３４８：支持レバー、３４９：第２ストッパー、３５１：受け台、４０１，４０２：補助カード

Claims (20)

1. 中央にホールが形成された平板を有するメインカードと、
   前記ホールを通じて前記メインカードに垂直に装着された補助カードと、
   前記補助カードに付着された複数個のプローブニードルと、を備えることを特徴とするプローブカード。
2. 前記補助カードは、前記メインカードに装着及び脱着可能に構成されたことを特徴とする請求項１に記載のプローブカード。
3. 前記メインカード上に設置され、前記補助カードと結合されて前記補助カードを前記メインカードに固定させる基板装着部を備えることを特徴とする請求項１に記載のプローブカード。
4. 前記メインカードには、前記補助カードが複数個装着されたことを特徴とする請求項１に記載のプローブカード。
5. 前記プローブカードは、ウェーハに形成された集積回路チップのテストに利用されることを特徴とする請求項１に記載のプローブカード。
6. 前記メインカードは、複数本の電気線を備え、前記補助カードは、前記複数本の電気線と前記複数個のプローブニードルとを電気的に接続させるための複数個の接続部を備えることを特徴とする請求項１に記載のプローブカード。
7. 前記補助カードは、前記複数個の接続部を前記複数個のプローブニードルに接続させる複数本の配線をさらに備えることを特徴とする請求項６に記載のプローブカード。
8. 前記複数個の接続部は、それぞれ接続及び脱着可能なコネクタで構成されたことを特徴とする請求項６に記載のプローブカード。
9. 前記複数個のプローブニードルは、一直線に形成されたことを特徴とする請求項１に記載のプローブカード。
10. 前記補助カードは、
    前記複数個のプローブニードルと前記補助カードとの間に備えられ、前記複数個のプローブニードルを上に支持して前記複数個のプローブニードルを前記補助カードに対して傾斜した状態に維持させる複数個のニードル受け台を備えることを特徴とする請求項１に記載のプローブカード。
11. 中央にホールが形成された平板を有するメインカードと、
    前記ホールを通じて前記メインカードに垂直に装着された補助カードと、
    前記補助カードに付着された複数個のプローブニードルと、
    前記メインカードの上部に設置され、前記補助カードを前後に移動させる調整部と、を備えることを特徴とするプローブカード。
12. 前記メインカードは、
    前記調整部上に設置され、前記補助カードが装着される基板装着部を備えることを特徴とする請求項１１に記載のプローブカード。
13. 前記メインカードは、
    前記調整部の下部に設置され、前記調整部を前記メインカードに固定させる受け台を備えることを特徴とする請求項１１に記載のプローブカード。
14. 前記補助カードと前記調整部とは、それぞれ複数個備えられることを特徴とする請求項１１に記載のプローブカード。
15. 中央にホールが形成された平板を有するメインカードと、
    前記ホールを通じて前記メインカードに垂直に装着された補助カードと、
    前記補助カードに付着された複数個のプローブニードルと、
    前記メインカードの上部に設置され、前記補助カードをＸ軸に移動させるＸ軸調整部と、
    前記Ｘ軸調整部の下部に設置され、前記Ｘ軸調整部をＹ軸に移動させるＹ軸調整部と、を備えることを特徴とするプローブカード。
16. 前記メインカードは、
    前記Ｘ軸調整部上に設置され、前記補助カードが装着される基板装着部を備えることを特徴とする請求項１５に記載のプローブカード。
17. 前記メインカードは、
    前記Ｙ軸調整部の下部に設置され、前記Ｙ軸調整部を前記メインカードに固定させる受け台を備えることを特徴とする請求項１５に記載のプローブカード。
18. 前記補助カード、前記Ｘ軸調整部及び前記Ｙ軸調整部は、それぞれ複数個備えられることを特徴とする請求項１５に記載のプローブカード。
19. 中央にホールが形成された平板を有するメインカードと、
    前記ホールを通じて前記メインカードに垂直に装着された補助カードと、
    前記補助カードに付着された複数個のプローブニードルと、
    前記補助カードに付着され、電源電圧が印加されるプローブニードルと、
    前記電源電圧が印加されるプローブニードルに電気的に接続され、前記電源電圧が印加されるプローブニードルに過電圧または過電流が印加されることを遮断する電源制限部と、を備えることを特徴とするプローブカード。
20. 前記電源制限部は、キャパシタであることを特徴とする請求項１９に記載のプローブカード。

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