JP2008164487A - 半導体製造システム用分析装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】異なる2種類の液体を選択的に収容する試料セル1と、前記各液体での吸収が略等しく屈折度合いが異なる所定波長の光を、前記試料セル1に照射する光照射部23aと、前記各液体を前記試料セル1にそれぞれ収容した状態で、前記光照射部23aの照射により前記試料セル1を透過してくる光を検出する光検出器23と、前記光検出器23で検出した前記各状態での検出光量に関する値である検出光量関連値を比較し、その比較結果に基づいて、前記試料セル1の汚れや傷などの異常の有無を判定可能に出力する判定部23eと、を具備するようにした。
【選択図】図1
Description
吸光度Abs(λ)=log10(I0(λ)/Is(λ))・・・(1)
ここで、I0(λ)は入射光量、Ir(λ)はリファレンス光量を示す。
吸光度Abs(λ)=log10(Ir(λ)/Is(λ))−log10(a)・・・(3)
ここで、I0(λ)は入射光量、Ir(λ)はリファレンス光路Rを通過してくるリファレンス光のリファレンス光量、Is(λ)は測定光量、aは装置定数を示す。
吸光度Abs2(λ)=log10(Ir(λ)/Is2(λ))−log10(a)・・・(5)
ここで、I0(λ)は入射光量、Ir(λ)はリファレンス光路Rを通過してくるリファレンス光のリファレンス光量、Is1(λ)は第1の液体p1を測定したときの測定光量、Is2(λ)は第2の液体p2を測定したときの測定光量、aは装置定数を示す。
1・・・・・試料セル
23a・・・光照射部
22・・・・光検出器
23d・・・算出部
23e・・・判定部
24c・・・可動ミラー
25c・・・可動ミラー
M1a・・・可動ミラー
M1b・・・可動ミラー
M2a・・・固定ミラー
M2b・・・固定ミラー
R・・・・・リファレンス光路
Claims (5)
- 半導体製造装置に用いられる分析装置であって、
異なる2種類の液体を選択的に収容する試料セルと、
前記各液体での吸収が略等しく屈折度合いが異なる所定波長の光を、前記試料セルに照射する光照射部と、
前記各液体を前記試料セルにそれぞれ収容した状態で、前記光照射部の照射により前記試料セルを透過してくる光を検出する光検出器と、
前記光検出器で検出した前記各状態での検出光量に関する値である検出光量関連値を比較し、その比較結果に基づいて、前記試料セルの汚れや傷などの異常の有無を判定可能に出力する判定部と、を具備している半導体製造システム用分析装置。 - 前記検出光量関連値が、各液体をそれぞれ収容した状態での試料セル全体の吸光度であり、
前記判定部は、前記吸光度の差分が、所定範囲内にあるか否かを判定可能に出力する請求項1記載の半導体製造システム用分析装置。 - 前記各液体のいずれか一方または両方に、半導体製造装置用の原料液体または洗浄液体を用いている請求項1又は2記載の半導体製造システム用分析装置。
- 前記試料セルと、前記光照射部及び前記光検出器との間を、光ファイバによりそれぞれ接続している請求項1乃至3いずれか記載の半導体製造システム用分析装置。
- 前記光照射部と前記光検出器との間に設けた複数のミラーにより、前記光照射部が照射する光を、前記試料セルを通過させずに、前記光検出器で直接受光できるリファレンス光路が形成されるようにしている請求項1乃至4いずれか記載の半導体製造システム用分析装置。
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