JP2008162839A - 石英ガラスルツボの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】モールド内面に充填した石英粉成形体を真空引きしながらアーク溶融するルツボの製造方法において、石英粉成形体のリム端から石英粉の溶融を開始し、その後にアーク電極を下げまたはモールドを上げて、リム端から下側部分を加熱し溶融することを特徴とする石英ガラスルツボの製造方法であり、好ましくは、アーク溶融開始からアーク総時間の10%以内の時間内にルツボ内表面をシールし、またシール厚が3mm以下である石英ガラスルツボの製造方法。
【選択図】図1
Description
(1)モールド内面に充填した石英粉成形体を真空引きしながらアーク溶融するルツボの製造方法において、石英粉成形体のリム端から石英粉の溶融を開始し、その後にアーク電極を下げまたはモールドを上げて、リム端から下側部分を加熱し溶融することを特徴とする石英ガラスルツボの製造方法。
(2)石英粉成形体のリム端から石英粉の溶融を開始し、その後、ルツボ壁部から湾曲部および底部の順に加熱し、ルツボの内面をシールする上記(1)に記載する石英カラスルツボの製造方法。
(3)アーク溶融開始からアーク総時間の10%以内の時間内にルツボ内表面(リム端から側壁部、湾曲部、および底部)をシールする上記(1)または上記(2)に記載する石英ガラスルツボの製造方法。
(4)ルツボ内表面がシールされるまでに溶融した石英ガラス層厚(シール厚)が3mm以下である請求項1〜請求項3の何れかに記載する石英ガラスルツボの製造方法。
本発明の製造方法は、モールド内面に充填した石英粉成形体を真空引きしながらアーク溶融するルツボの製造方法において、石英粉成形体のリム端から石英粉の溶融を開始し、その後にアーク電極を下げまたはモールドを上げて、リム端から下側部分を加熱し溶融することを特徴とする石英ガラスルツボの製造方法である。
回転モールド法によって真空引きしながら石英粉成形体を加熱溶融し、外径30インチの石英ルツボを製造する場合に、アーク総時間50分において、表1に示す条件下で加熱溶融を行った。製造した石英ガラスルツボの内部気泡を測定した。この気泡含有率の測定は、例えば、光源から供給される光を被検体である石英ルツボに照射し、これを光学カメラ等の画像取り込み光学系によって撮影・観察し、この画像情報に基づいて、二値化、包括四角形計算、輪郭抽出等の画像処理を施し、内表面近傍に存在する気泡を検出する方法を利用すると良い(特開平11-228283号参照)。この結果を加熱条件と共に表1に示した。
Claims (4)
- モールド内面に充填した石英粉成形体を真空引きしながらアーク溶融するルツボの製造方法において、石英粉成形体のリム端から石英粉の溶融を開始し、その後にアーク電極を下げまたはモールドを上げて、リム端から下側部分を加熱し溶融することを特徴とする石英ガラスルツボの製造方法。
- 石英粉成形体のリム端から石英粉の溶融を開始し、その後、ルツボ壁部から湾曲部および底部の順に加熱し、ルツボの内表面をシールする請求項1に記載する石英カラスルツボの製造方法。
- アーク溶融開始からアーク総時間の10%以内の時間内にルツボ内表面(リム端から側壁部、湾曲部、および底部)をシールする請求項1または請求項2に記載する石英ガラスルツボの製造方法。
- ルツボ内表面がシールされるまでに溶融した石英ガラス層厚(シール厚)が3mm以下である請求項1〜請求項3の何れかに記載する石英ガラスルツボの製造方法。
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