JP2008161948A - バレル研磨方法および球体の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】本発明の研磨方法は、特に平均粒径が1mm未満の酸化ジルコニウム質粉砕用媒体において、従来の問題点を解決し、生産性が良く、表面平滑性に優れる研磨方法を提供することにある。
【解決手段】研磨槽内に、研磨対象物、研磨材、研磨補助材、および溶媒を添加し、該研磨対象物、該研磨材、および該研磨補助材を相対的に移動させることにより研磨対象物を研磨する研磨方法であって、該研磨対象物が球体であり、かつ該研磨補助材の重量が研磨対象物の重量よりも大きいことを特徴とする球体のバレル研磨方法。
【選択図】 なし
【解決手段】研磨槽内に、研磨対象物、研磨材、研磨補助材、および溶媒を添加し、該研磨対象物、該研磨材、および該研磨補助材を相対的に移動させることにより研磨対象物を研磨する研磨方法であって、該研磨対象物が球体であり、かつ該研磨補助材の重量が研磨対象物の重量よりも大きいことを特徴とする球体のバレル研磨方法。
【選択図】 なし
Description
本発明は、研磨対象物の大きさが平均粒径0.03mm以上1mm未満であり、表面平滑性に優れた球体の研磨方法に関する。
原料等を粉砕、分散処理する装置として、例えば回転式ボールミルや媒体撹拌型ミルがよく知られている。該装置の処理室に、処理物と例えば主成分がセラミックスでその形状が球体からなる媒体(以下、粉砕用媒体という)を添加した状態で、該装置駆動部(例えば回転ディスク等)が粉砕用媒体に運動エネルギを与え、その結果処理物に剪断、衝撃、摩擦、圧縮などが作用することにより処理物を粉砕、分散する。かかる粉砕用媒体は様々な原料の微細化やインクあるいは塗料製造における分散工程等に広く使用されており、一般に、玉石またはセラミックスボールまたはセラミックスビーズ、あるいは粉砕ボールまたは粉砕ビーズとも呼ばれ、電子材料を始めとする先端材料の粉砕や分散の工程では、優れた耐摩耗性、高分散性、機械的特性ならびに耐薬品性や絶縁特性から主成分が酸化ジルコニウムからなる粉砕用媒体が好んで使用されている。特に近年においては、処理物の高付加価値化の要求から、超微細分散処理がますます要求される傾向にあり、これらの要望に対応すべく、粉砕用媒体の平均粒径も従来の1mm以上から1mm未満の小径サイズが好んで使用される。特に、処理物の凝集を極力抑えてサブミクロンやナノオーダーサイズに分散させる場合では、平均粒径が0.05mm以下の粉砕用媒体も用いられるようになりつつある。一方、粉砕用媒体の平均粒径が小さくなるほど、相対的に媒体同士や処理物等との衝突回数が増加するため、粉砕用媒体の磨耗量も増大する傾向がある。摩耗した粉砕用媒体の微粒子は処理物へ混入し、処理物の品質を低下させる要因となりうるため、できるだけ摩耗量は少ない方が望ましい。特に使用直後の粉砕用媒体の磨耗を抑えるため、該媒体は通常、その表面が研磨されているが、平均粒径が1mm未満の粉砕用媒体は、平均粒径1mm以上の粉砕用媒体と比べてその表面は粗く摩耗しやすい。
このような粉砕用媒体を研磨する方法として、従来よりバレル研磨法が知られている。従来のバレル研磨法は、研磨加工する研磨対象物、研磨材あるいは研磨石と水を研磨槽に添加し、研磨槽を回転することにより前記研磨対象物の研磨加工を行う。しかし、平均粒径が1mm未満の研磨対象物である粉砕用媒体を従来のバレル研磨法を用いて研磨すると研磨効率が悪いため、平均粒径が1mm以上の粉砕用媒体と同様に良好な表面性状を得ることは困難である。前記の表面平滑性の悪い粉砕用媒体を粉砕機や分散機に供すると、運転開始直後から粉砕用媒体の初期摩耗が発生し、コンタミネーションの増加をもたらすので好ましくない。また、早期の磨耗により粉砕用媒体自体のライフタイムも短くなるので、結果的に粉砕、分散処理物のコストアップとなりやはり好ましくない。
形状が球状であるセラミックス製焼結体を研磨するバレル研磨方法として、例えば特許文献1に記載の方法が知られている。特許文献1は、エッジを有しない球状合成樹脂体と、遊離砥粒との混合物及び水の存在下で無機硬質体をバレル研磨処理することを特徴とする無機硬質体のバレル研磨方法である。この研磨方法では、比較的平坦な表面や凹部は研磨できるものの、酸化ジルコニウムからなるセラミックス製研磨対象物を研磨しようとすると、球状合成樹脂体の比重が酸化ジルコニウムからなるセラミックス製研磨対象物よりも軽く水中で浮き上がってしまうため、研磨速度が著しく遅くなり易いという問題がある。
また、球状合成樹脂体の硬度がセラミックス製研磨対象物よりも低いため、球状合成樹脂体の摩耗が早く平均粒径が小さくなるため、生産上安定した研磨処理が困難である。また、特許文献2には、溶液媒質に少なくとも球状ガラスビーズ及びこの球状ガラスビーズの平均粒径よりも小さい平均粒径の粒状研摩材を混在させてなる流動体を研摩対象物に接触させつつこれらを相対的に移動させることにより研摩対象物を研摩することを特徴とする研摩方法が開示されている。この研磨方法を用いて酸化ジルコニウムからなるセラミックス製研磨対象物を研磨しようとすると、球状ガラスビーズの比重が酸化ジルコニウムからなるセラミックス製研磨対象物よりも軽く水中で浮き上がってしまうため、やはり研磨速度が著しく遅くなり易いという問題がある。さらに球状ガラスビーズの強度は、酸化ジルコニウムからなるセラミックス製研磨対象物の強度よりも低いため、使用中に球状ガラスビーズの割れが発生すると言う問題もある。
特開平1−177965号公報
特開平7−52023号公報
また、球状合成樹脂体の硬度がセラミックス製研磨対象物よりも低いため、球状合成樹脂体の摩耗が早く平均粒径が小さくなるため、生産上安定した研磨処理が困難である。また、特許文献2には、溶液媒質に少なくとも球状ガラスビーズ及びこの球状ガラスビーズの平均粒径よりも小さい平均粒径の粒状研摩材を混在させてなる流動体を研摩対象物に接触させつつこれらを相対的に移動させることにより研摩対象物を研摩することを特徴とする研摩方法が開示されている。この研磨方法を用いて酸化ジルコニウムからなるセラミックス製研磨対象物を研磨しようとすると、球状ガラスビーズの比重が酸化ジルコニウムからなるセラミックス製研磨対象物よりも軽く水中で浮き上がってしまうため、やはり研磨速度が著しく遅くなり易いという問題がある。さらに球状ガラスビーズの強度は、酸化ジルコニウムからなるセラミックス製研磨対象物の強度よりも低いため、使用中に球状ガラスビーズの割れが発生すると言う問題もある。
本発明の目的は、特に平均粒径が1mm未満の例えば球体の酸化ジルコニウム質粉砕用媒体において、上述した従来の問題点を解決し、生産効率が良く、優れた表面平滑性が得られるバレル研磨方法を提供することにある。
本発明者は、従来技術の問題点に鑑みて鋭意研究を重ねた結果、例えば酸化ジルコニウム等のセラミックス焼結体から構成される球状粉砕用媒体として優れた表面平滑を得ることのできる研磨方法を見いだし、本発明を完成するに至った。すなわち、本発明は、研磨槽内に研磨対象物、研磨材、研磨補助材、および溶媒を添加し、該研磨対象物、該研磨材、および該研磨補助材を相対的に移動させることにより研磨対象物を研磨する研磨方法であって、該研磨対象物が球体であり、かつ該研磨補助材の重量が研磨対象物の重量よりも大きいことを特徴とする球体のバレル研磨方法である。
本発明のバレル研磨方法を用いると、従来のバレル研磨法よりも非常に生産効率の良い研磨加工が可能となる。さらに本発明で得られた研磨対象物には未研磨部分がほとんどなく、表面平滑性に優れる。そのため、特に初期摩耗が低減されるので、耐摩耗性を必要とする粉砕機用媒体の研磨加工および粉砕機用媒体として好適に使用できる。
本発明は、研磨対象物、研磨材、研磨補助材、および溶媒を添加し、該研磨対象物、該研磨材、および該研磨補助材を相対的に移動させることにより研磨対象物を研磨する研磨方法であって、該研磨対象物が球体であり、かつ該研磨補助材の重量が研磨対象物の重量よりも大きいことを特徴とする球体のバレル研磨方法である。
ここで、研磨槽とはバレル研磨装置において研磨加工処理を行う密閉された容器のことであり、研磨対象物とは、焼結後、その表面が研磨されていないセラミックスからなる焼結体であり、研磨補助材とは本バレル研磨方法において、研磨対象物の研磨を促進させる効果があるセラミックスからなる焼結体ダミーボールのことである。なお、本研磨方法における研磨補助材としてのダミーボールの表面は、焼結面であっても研磨された面のいずれでもよい。また、研磨対象物および研磨補助材が球体であるとは、それぞれ任意に抜き取って測定した100個のフェレ径比(垂直フェレ径/水平フェレ径)が0.85〜1.15の範囲であることをいう。かかるフェレ径比は実体顕微鏡で研磨対象物および研磨補助材をそれぞれ撮影し、画像処理法により求めた。本発明の球体のバレル研磨方法は、例えば粉砕または分散用途に供されるいわゆる粉砕用媒体の研磨加工に好適に利用できる。なお、本発明における研磨対象物の研磨加工は、遠心式バレル機を使用したが、回転式バレル機、振動式バレル機等、公知の研磨加工装置を用いることができ何ら限定されない。
本発明において、前記研磨補助材の重量は、前記研磨対象物の重量よりも大きくなければならない。前記研磨補助材の重量が前記研磨対象物の重量よりも小さいかまたは同じである場合、本発明における研磨補助材の研磨促進の効果が小さくなり、研磨対象物の表面は良好な滑面状態とならない。
また、前記研磨補助材の重量が前記研磨対象物の重量よりも大きすぎると、研磨中に研磨対象物が破砕する可能性が高くなり好ましくない。本発明の球体のバレル研磨方法は、研磨対象物の平均粒径が0.03mm以上1mm未満の球体である酸化ジルコニウム質焼結体の研磨加工に著しく効果がある。平均粒径が0.03mm以上0.1mm未満の研磨対象物の研磨においては、添加する研磨補助材の平均粒径は1.5〜2mmであることが好ましい。さらに、平均粒径が0.1mm以上0.35mm未満、および平均粒径が0.35mm以上1mm未満の研磨対象物の研磨においては、添加する研磨補助材の平均粒径は2〜4mmであることが好ましい。本発明の特徴である研磨補助材を研磨対象物と一緒に研磨槽に添加することにより、平均粒径0.03mm以上1mm未満の研磨対象物においても、良好な表面状態の得られる研磨加工が可能となった。その理由は、研磨補助材が加工時間の経過とともに添加した研磨材を微細化し、研磨材と研磨補助材との接触回数を増大させることによる研磨効果と、研磨補助材の重量が研磨対象物の重量よりも大きいので、研磨対象物と研磨補助材との衝突力や剪断力を結果的に増大させるため、研磨力が向上すると考えられる。
本発明の球体のバレル研磨方法において、研磨槽内に添加した研磨対象物と研磨補助材の重量の比は、研磨対象物の平均粒径が0.03mm以上0.1mm未満、および研磨対象物の平均粒径が0.1mm以上0.35mm未満の場合では1:3〜1:5であることが好ましく、研磨対象物の平均粒径が0.35mm以上1mm未満の場合では、1:0.5〜1:2であることが好ましい。かかる研磨対象物の平均粒径が0.03mm以上0.1mm未満、および研磨対象物の平均粒径が0.1mm以上0.35mm未満の場合、研磨対象物と研磨補助材の添加重量比が1:3未満では研磨補助材による研磨材の微細化が促進されないため研磨対象物が十分研磨されず、平滑な表面が得られない。一方、研磨対象物と研磨補助材の添加重量比が1:5を超えると、研磨対象物は平滑な表面となるが、破砕が生じてしまうので好ましくない。かかる研磨対象物の平均粒径が0.35mm以上1mm未満の場合、研磨対象物と研磨補助材の添加重量比が1:0.5未満では研磨補助材による研磨材の微細化が促進されないため研磨対象物が十分研磨されず、平滑な表面が得られない。一方、研磨対象物と研磨補助材の添加重量比が1:2を超えると、研磨対象物は平滑な表面となるが、破砕が生じてしまうので好ましくない。
本発明の球体のバレル研磨方法において、研磨対象物が酸化ジルコニウム質焼結体を研磨する場合、異物混入の防止の観点から、研磨補助材の材質を前記研磨対象物と同じ材質とすることが好ましい。本発明の球体のバレル研磨方法における研磨材としては遊離砥粒であって、高硬度で研磨能力の優れる酸化アルミニウム質研磨材や炭化珪素質研磨材が好ましい。本発明の球体のバレル研磨方法は湿式研磨であり、添加する溶媒としては、水またはアルコールが好ましい。
本発明の球体のバレル研磨方法における研磨対象物および研磨補助材は、通常原料となる酸化ジルコニウム粉末を所望の大きさの球体に成形した後、所定の温度と時間で焼成して焼結体を得ることができるが、特に限定されるものではない。かかる原料粉末の酸化ジルコニウム粉末は、公知の方法により製造できる。例えば、加水分解法、中和共沈法、熱分解法、水熱合成法、アルコキシド法などの化学合成法や酸化物混合法などで得た原料混合物を熱処理、粉砕、乾燥、造粒処理して得られる。本発明の球体のバレル研磨方法における研磨対象物または研磨補助材の製造方法としては、転動造粒成形法、噴霧造粒成形法、圧縮成形法、鋳込み成形法、射出成形法、押し出し成形法等の公知の成形法により球状成形物とし、必要により熱処理で成形物中のバインダや水分を除去した後、所定の温度と時間で焼成することにより得ることができる。
以下、本発明による実施例を比較例とともに挙げ、本発明をより具体的に説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。
使用した研磨装置は遠心バレル式であって、前記研磨装置に付帯する研磨槽は、容量が5,000cm3でその断面は八角形であり、内面にゴムが施されており、運転中の回転数を190回転/分とした。溶媒は水1,000cm3とし、洗浄作用のある液体コンパウンド(ナガセ研磨機材株式会社製、製品名ナストンK−30)を50cm3混ぜた湿式状態で研磨を行った。さらに前記溶液に研磨材100cm3を添加した。前記研磨材としては、酸化アルミニウム質研磨材(株式会社フジミインコーポレーテッド製、製品名WA)または炭化珪素質研磨材(株式会社フジミインコーポレーテッド製、製品名C)とし、粒度は#180〜#1000の範囲から適宜選択した。研磨加工時間は6〜12時間となるように設定し、前記研磨材の材質と粒度を適宜変えながら粗研磨、光沢研磨を行い、最後に仕上げ研磨を行った。仕上げ研磨が終了した後、研磨槽の内容物を取り出し、流水で洗浄後、約80℃の大気中にて脱水および乾燥を行った。乾燥後、所定の目開きの篩いを使い、研磨対象物と研磨補助材を分離した。研磨加工後の研磨対象物は、その表面をAuで真空蒸着した後、走査型電子顕微鏡(エリオニクス製、型式ESA−2000)で中心線平均粗さRa(μm)を測定し、表面の平滑性を評価した。前記中心線平均粗さは、観察倍率10,000倍でカットオフ値を0とし、任意に抜き取った研磨対象物10個の試料を測定した。さらに前記研磨対象物10個の平均値を求め、研磨対象物の表面平滑性を比較した。
かかる研磨対象物および研磨補助材の製造には、安定化剤として酸化イットリウムと添加剤として酸化アルミニウムが配合された比表面積8.5m2/g、平均粒子径0.4μmである酸化ジルコニウム質粉末を用いた。かかる酸化ジルコニウム質粉末の比表面積は、ファインセラミックス粉体の気体吸着BET法による比表面積の測定方法(JIS R 1626(1996))に準拠し、BET1点法で測定した値をいう。
さらに、前記酸化ジルコニウム質粉末の平均二次粒子径は、次のようにして求める。すなわち、300mlのビーカに電気伝導度が5μS/cmの純水210gと酸化ジルコニウム質粉末90gとを入れ、良く撹拌した後、超音波発生器に10分間かけて30重量%のスラリーを調製する。その後、レーザー回折散乱式の粒度分布測定器で平均二次粒子径を測定する。なお、平均二次粒子径とは、累積分布が50%に相当するメジアン径である。酸化ジルコニウム質粉末の球体化は、研磨対象物は噴霧造粒法または転動造粒法で、また研磨補助材の球状化は転動造粒法で成形した。さらに前記成形体を1400℃、2時間で焼成した。焼成後のかさ密度は6.03〜6.05g/cm3であった。かかるかさ密度は固体比重測定方法(JIS Z 8807(1976))に準拠した装置で測定した。かかる球体の平均粒径は、任意に抜き取った研磨対象物100個について実体顕微鏡で撮影し、画像処理法により円相当径を求めて平均値を算出し、それを平均粒径とした。
また、焼結体の酸化イットリウムおよび酸化アルミニウムの含有量は、それぞれ5.0重量%および0.35重量%であった。かかる焼結体の酸化イットリウムおよび酸化アルミニウムの含有量は次のようにして求めた。すなわち、前記球状焼結体をHIP(熱間等方圧焼結)処理したイットリア部分安定化ジルコニア質焼結体からなる円柱型治具で挟み、万能試験機で一定速度の荷重をかけて破壊し、その破壊片0.3gを白金るつぼに入れ、硫酸水素カリウムで融解する。これを希硝酸で溶解して定容し、ICP発光分光分析法を用いてイットリウム、アルミニウムを定量し、さらにそれぞれを酸化イットリウム、酸化アルミニウムに換算してその含有量を求めた。
実施例1〜4
研磨槽に所定量の研磨対象物、研磨補助材、酸化アルミニウム質研磨材(WA#800、WA#1000)、コンパウンドおよび水を添加し、表面粗さRaが0.080(μm)で平均粒径が0.033mmの研磨対象物を合計12時間研磨した。研磨後の研磨対象物の表面粗さRaは、0.016〜0.024(μm)で極めて良好な表面であった。
研磨槽に所定量の研磨対象物、研磨補助材、酸化アルミニウム質研磨材(WA#800、WA#1000)、コンパウンドおよび水を添加し、表面粗さRaが0.080(μm)で平均粒径が0.033mmの研磨対象物を合計12時間研磨した。研磨後の研磨対象物の表面粗さRaは、0.016〜0.024(μm)で極めて良好な表面であった。
比較例1〜5
実施例1〜4の研磨加工条件のうち、研磨補助材の平均粒径、または研磨対象物と研磨補助材の重量比を変えて研磨し、実施例1〜4の結果と比較した。比較例3および5の研磨後の研磨対象物の表面粗さRaは実施例と同等であったが、研磨対象物に割れが生じた。その他の比較例での研磨対象物の表面粗さRaは、0.058〜0.071(μm)であった。
実施例1〜4の研磨加工条件のうち、研磨補助材の平均粒径、または研磨対象物と研磨補助材の重量比を変えて研磨し、実施例1〜4の結果と比較した。比較例3および5の研磨後の研磨対象物の表面粗さRaは実施例と同等であったが、研磨対象物に割れが生じた。その他の比較例での研磨対象物の表面粗さRaは、0.058〜0.071(μm)であった。
実施例5〜8
研磨槽に所定量の研磨対象物、研磨補助材、炭化珪素質研磨材(C#400、C#600)、コンパウンドおよび水を添加し、表面粗さRaが0.085(μm)で平均粒径が0.049mmの研磨対象物を合計12時間研磨した。研磨後の研磨対象物の表面粗さRaは、0.018〜0.022(μm)で極めて良好な表面性状であった。
研磨槽に所定量の研磨対象物、研磨補助材、炭化珪素質研磨材(C#400、C#600)、コンパウンドおよび水を添加し、表面粗さRaが0.085(μm)で平均粒径が0.049mmの研磨対象物を合計12時間研磨した。研磨後の研磨対象物の表面粗さRaは、0.018〜0.022(μm)で極めて良好な表面性状であった。
比較例6〜10
実施例5〜8の研磨加工条件のうち、研磨補助材の平均粒径、または研磨対象物と研磨補助材の重量比を変えて研磨し、実施例5〜8の結果と比較した。比較例8および10の研磨後の研磨対象物の表面粗さRaは実施例と同等であったが、研磨対象物に割れが生じた。その他の比較例での研磨対象物の表面粗さRaは、0.063〜0.066(μm)であった。
実施例5〜8の研磨加工条件のうち、研磨補助材の平均粒径、または研磨対象物と研磨補助材の重量比を変えて研磨し、実施例5〜8の結果と比較した。比較例8および10の研磨後の研磨対象物の表面粗さRaは実施例と同等であったが、研磨対象物に割れが生じた。その他の比較例での研磨対象物の表面粗さRaは、0.063〜0.066(μm)であった。
実施例9〜12
研磨槽に所定量の研磨対象物、研磨補助材、炭化珪素質研磨材(C#180、C#400)、コンパウンドおよび水を添加し、表面粗さRaが0.084(μm)で平均粒径が0.10mmの研磨対象物を合計10時間研磨した。研磨後の研磨対象物の表面粗さRaは、0.018〜0.022(μm)で極めて良好な表面性状であった。
研磨槽に所定量の研磨対象物、研磨補助材、炭化珪素質研磨材(C#180、C#400)、コンパウンドおよび水を添加し、表面粗さRaが0.084(μm)で平均粒径が0.10mmの研磨対象物を合計10時間研磨した。研磨後の研磨対象物の表面粗さRaは、0.018〜0.022(μm)で極めて良好な表面性状であった。
比較例11〜15
実施例9〜12の研磨加工条件のうち、研磨補助材の平均粒径、または研磨対象物と研磨補助材の重量比を変えて研磨し、実施例9〜12の結果と比較した。比較例14および15の研磨後の研磨対象物の表面粗さRaは実施例と同等であったが、研磨対象物に割れが生じた。その他の比較例での研磨対象物の表面粗さRaは、0.055〜0.069(μm)であった。
実施例9〜12の研磨加工条件のうち、研磨補助材の平均粒径、または研磨対象物と研磨補助材の重量比を変えて研磨し、実施例9〜12の結果と比較した。比較例14および15の研磨後の研磨対象物の表面粗さRaは実施例と同等であったが、研磨対象物に割れが生じた。その他の比較例での研磨対象物の表面粗さRaは、0.055〜0.069(μm)であった。
実施例13〜16
研磨槽に所定量の研磨対象物、研磨補助材、酸化アルミニウム質研磨材(WA#220、WA#400)、コンパウンドおよび水を添加し、表面粗さRaが0.091(μm)で平均粒径が0.20mmの研磨対象物を合計6時間研磨した。研磨後の研磨対象物の表面粗さRaは、0.019〜0.023(μm)で極めて良好な表面性状であった。
研磨槽に所定量の研磨対象物、研磨補助材、酸化アルミニウム質研磨材(WA#220、WA#400)、コンパウンドおよび水を添加し、表面粗さRaが0.091(μm)で平均粒径が0.20mmの研磨対象物を合計6時間研磨した。研磨後の研磨対象物の表面粗さRaは、0.019〜0.023(μm)で極めて良好な表面性状であった。
比較例16〜20
実施例9〜12の研磨加工条件のうち、研磨補助材の平均粒径、または研磨対象物と研磨補助材の重量比を変えて研磨し、実施例9〜12の結果と比較した。比較例18および20の研磨後の研磨対象物の表面粗さRaは実施例と同等であったが、研磨対象物に割れが生じた。その他の比較例での研磨対象物の表面粗さRaは、0.061〜0.075(μm)であった。
実施例9〜12の研磨加工条件のうち、研磨補助材の平均粒径、または研磨対象物と研磨補助材の重量比を変えて研磨し、実施例9〜12の結果と比較した。比較例18および20の研磨後の研磨対象物の表面粗さRaは実施例と同等であったが、研磨対象物に割れが生じた。その他の比較例での研磨対象物の表面粗さRaは、0.061〜0.075(μm)であった。
実施例17〜20
研磨槽に所定量の研磨対象物、研磨補助材、酸化アルミニウム質研磨材(WA#220、WA#400)、コンパウンドおよび水を添加し、表面粗さRaが0.083(μm)で平均粒径が0.30mmの研磨対象物を合計6時間研磨した。研磨後の研磨対象物の表面粗さRaは、0.019〜0.026(μm)で極めて良好な表面性状であった。
研磨槽に所定量の研磨対象物、研磨補助材、酸化アルミニウム質研磨材(WA#220、WA#400)、コンパウンドおよび水を添加し、表面粗さRaが0.083(μm)で平均粒径が0.30mmの研磨対象物を合計6時間研磨した。研磨後の研磨対象物の表面粗さRaは、0.019〜0.026(μm)で極めて良好な表面性状であった。
比較例21〜25
実施例17〜20の研磨加工条件のうち、研磨補助材の平均粒径、または研磨対象物と研磨補助材の重量比を変えて研磨し、実施例17〜20の結果と比較した。比較例23および25の研磨後の研磨対象物の表面粗さRaは実施例と同等であったが、研磨対象物に割れが生じた。その他の比較例での研磨対象物の表面粗さRaは、0.056〜0.063(μm)であった。
実施例17〜20の研磨加工条件のうち、研磨補助材の平均粒径、または研磨対象物と研磨補助材の重量比を変えて研磨し、実施例17〜20の結果と比較した。比較例23および25の研磨後の研磨対象物の表面粗さRaは実施例と同等であったが、研磨対象物に割れが生じた。その他の比較例での研磨対象物の表面粗さRaは、0.056〜0.063(μm)であった。
実施例21〜24
研磨槽に所定量の研磨対象物、研磨補助材、酸化アルミニウム質研磨材(WA#220、WA#400)、コンパウンドおよび水を添加し、表面粗さRaが0.088(μm)で平均粒径が0.41mmの研磨対象物を合計6時間研磨した。研磨後の研磨対象物の表面粗さRaは、0.019〜0.026(μm)で極めて良好な表面性状であった。
研磨槽に所定量の研磨対象物、研磨補助材、酸化アルミニウム質研磨材(WA#220、WA#400)、コンパウンドおよび水を添加し、表面粗さRaが0.088(μm)で平均粒径が0.41mmの研磨対象物を合計6時間研磨した。研磨後の研磨対象物の表面粗さRaは、0.019〜0.026(μm)で極めて良好な表面性状であった。
比較例26〜30
実施例21〜24の研磨加工条件のうち、研磨補助材の平均粒径、または研磨対象物と研磨補助材の重量比を変えて研磨し、実施例21〜24の結果と比較した。比較例23および25の研磨後の研磨対象物の表面粗さRaは実施例と同等であったが、研磨対象物に割れが生じた。その他の比較例での研磨対象物の表面粗さRaは、0.058〜0.066(μm)であった。
実施例21〜24の研磨加工条件のうち、研磨補助材の平均粒径、または研磨対象物と研磨補助材の重量比を変えて研磨し、実施例21〜24の結果と比較した。比較例23および25の研磨後の研磨対象物の表面粗さRaは実施例と同等であったが、研磨対象物に割れが生じた。その他の比較例での研磨対象物の表面粗さRaは、0.058〜0.066(μm)であった。
実施例25〜28
研磨槽に所定量の研磨対象物、研磨補助材、酸化アルミニウム質研磨材(WA#220、WA#400)、コンパウンドおよび水を添加し、表面粗さRaが0.093(μm)で平均粒径が0.65mmの研磨対象物を合計6時間研磨した。研磨後の研磨対象物の表面粗さRaは、0.022〜0.026(μm)で極めて良好な表面性状であった。
研磨槽に所定量の研磨対象物、研磨補助材、酸化アルミニウム質研磨材(WA#220、WA#400)、コンパウンドおよび水を添加し、表面粗さRaが0.093(μm)で平均粒径が0.65mmの研磨対象物を合計6時間研磨した。研磨後の研磨対象物の表面粗さRaは、0.022〜0.026(μm)で極めて良好な表面性状であった。
比較例31〜35
実施例25〜28の研磨加工条件のうち、研磨補助材の平均粒径、または研磨対象物と研磨補助材の重量比を変えて研磨し、実施例25〜28の結果と比較した。比較例32および35の研磨後の研磨対象物の表面粗さRaは実施例と同等であったが、研磨対象物に割れが生じた。その他の比較例での研磨対象物の表面粗さRaは、0.065〜0.071(μm)であった。
実施例25〜28の研磨加工条件のうち、研磨補助材の平均粒径、または研磨対象物と研磨補助材の重量比を変えて研磨し、実施例25〜28の結果と比較した。比較例32および35の研磨後の研磨対象物の表面粗さRaは実施例と同等であったが、研磨対象物に割れが生じた。その他の比較例での研磨対象物の表面粗さRaは、0.065〜0.071(μm)であった。
実施例29〜32
研磨槽に所定量の研磨対象物、研磨補助材、酸化アルミニウム質研磨材(WA#220、WA#400)、コンパウンドおよび水を添加し、表面粗さRaが0.090(μm)で平均粒径が0.82mmの研磨対象物を合計6時間研磨した。研磨後の研磨対象物の表面粗さRaは、0.020〜0.026(μm)で極めて良好な表面性状をであった。
研磨槽に所定量の研磨対象物、研磨補助材、酸化アルミニウム質研磨材(WA#220、WA#400)、コンパウンドおよび水を添加し、表面粗さRaが0.090(μm)で平均粒径が0.82mmの研磨対象物を合計6時間研磨した。研磨後の研磨対象物の表面粗さRaは、0.020〜0.026(μm)で極めて良好な表面性状をであった。
比較例36〜40
実施例29〜32の研磨加工条件のうち、研磨補助材の平均粒径、または研磨対象物と研磨補助材の重量比を変えて研磨し、実施例29〜32の結果と比較した。比較例37および40の研磨後の研磨対象物の表面粗さRaは実施例と同等であったが、研磨対象物に割れが生じた。その他の比較例での研磨対象物の表面粗さRaは、0.062〜0.073(μm)であった。
実施例29〜32の研磨加工条件のうち、研磨補助材の平均粒径、または研磨対象物と研磨補助材の重量比を変えて研磨し、実施例29〜32の結果と比較した。比較例37および40の研磨後の研磨対象物の表面粗さRaは実施例と同等であったが、研磨対象物に割れが生じた。その他の比較例での研磨対象物の表面粗さRaは、0.062〜0.073(μm)であった。
Claims (11)
- 研磨槽内に、研磨対象物、研磨材、研磨補助材、および溶媒を添加し、該研磨対象物、該研磨材、および該研磨補助材を相対的に移動させることにより研磨対象物を研磨する研磨方法であって、該研磨対象物が球体であり、かつ該研磨補助材の重量が研磨対象物の重量よりも大きいことを特徴とする球体のバレル研磨方法。
- 研磨対象物の平均粒径が0.03mm以上0.1mm未満であり、かつ研磨対象物と研磨補助材との平均粒径の比が1:30〜1:70であることを特徴とする請求項1に記載の球体のバレル研磨方法。
- 研磨対象物の平均粒径が0.1mm以上0.35mm未満であり、かつ研磨対象物と研磨補助材との平均粒径の比が1:7〜1:40であることを特徴とする請求項1に記載の球体のバレル研磨方法。
- 研磨対象物の平均粒径が0.35mm以上1mm未満であり、かつ研磨対象物と研磨補助材との平均粒径の比が1:3〜1:10であることを特徴とする請求項1に記載の球体のバレル研磨方法。
- 研磨槽内に添加した研磨対象物の重量と研磨補助材の重量の比が、1:3〜1:5であることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の球体のバレル研磨方法。
- 研磨槽内に添加した研磨対象物の重量と研磨補助材の重量の比が、1:0.5〜1:2であることを特徴とする請求項1または4に記載の球体のバレル研磨方法。
- 研磨対象物と研磨補助材が同一組成のセラミックス焼結体からなることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の球体のバレル研磨方法。
- 研磨対象物と研磨補助材が酸化ジルコニウム質焼結体であることを特徴とする請求項1〜7のいずれかに記載の球体のバレル研磨方法。
- 研磨材が酸化アルミニウム質研磨材または炭化珪素質研磨材であることを特徴とする請求項1〜8のいずれかに記載の球体のバレル研磨方法。
- 溶媒として水、アルコールのいずれかを用いることを特徴とする請求項1〜9のいずれかに記載の球体のバレル研磨方法。
- 請求項1〜10のいずれかに記載の研磨方法を用いることを特徴とする研磨対象物の表層が少なくともセラミックス焼結体からなる球体の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006351123A JP2008161948A (ja) | 2006-12-27 | 2006-12-27 | バレル研磨方法および球体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2006351123A JP2008161948A (ja) | 2006-12-27 | 2006-12-27 | バレル研磨方法および球体の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2008161948A true JP2008161948A (ja) | 2008-07-17 |
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ID=39692101
Family Applications (1)
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JP2006351123A Pending JP2008161948A (ja) | 2006-12-27 | 2006-12-27 | バレル研磨方法および球体の製造方法 |
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-
2006
- 2006-12-27 JP JP2006351123A patent/JP2008161948A/ja active Pending
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