JP2008159967A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【目的】Al−Si膜をスパッタ成膜する場合に、Siノジュールが形成されない半導体装置の製造方法を提供することである。
【解決手段】シリコンウェハ1上に形成した酸化膜2に50nm〜100nmの厚さでTi膜3を形成し、シリコンウェハ1の温度を420℃〜480℃にして、Ti膜3上に1wt%のSiを含有したAl−Si膜4を3μm〜7μmの厚さでスパッタ成膜することで、Al−Si膜4中の余剰SiがTi膜3と反応してTiSi2膜5となり、Al−Si膜4中にSiノジュールが形成されるのを防止できる。
【選択図】 図1
【解決手段】シリコンウェハ1上に形成した酸化膜2に50nm〜100nmの厚さでTi膜3を形成し、シリコンウェハ1の温度を420℃〜480℃にして、Ti膜3上に1wt%のSiを含有したAl−Si膜4を3μm〜7μmの厚さでスパッタ成膜することで、Al−Si膜4中の余剰SiがTi膜3と反応してTiSi2膜5となり、Al−Si膜4中にSiノジュールが形成されるのを防止できる。
【選択図】 図1
Description
この発明は、シリコンウェハ上にTi膜を形成し、その上にAl−Si膜を形成した半導体装置の製造方法に係わり、特にAl−Si膜内にSiノジュール(シリコンの小塊)が形成されるのを防止できる半導体装置の製造方法に関する。
パワー半導体装置の配線などの電極膜を形成する工程で、アルミ合金膜をスパッタ成膜していた。アルミ合金の成分は、Si(シリコン)を1.0wt%含有させたAl(アルミニウム)−Siである。このアルミ合金膜であるAl−Si膜の下地として、酸化膜(SiO2等)や窒化膜(SiN等)がシリコンウェハ上に形成されている。
図3に示すように、シリコンウェハ21の温度を300℃程度にして、酸化膜22(もしくは窒化膜)の上に1wt%のSiが含有されたAl−Si膜23を数μmの厚さでスパッタ成膜すると、酸化膜22(もしくは窒化膜)の界面に余剰SiによるSiの小塊(以下Si)ノジュール(ともいう)24が形成される。これは酸化膜22(もしくは窒化膜)にスパッタの初期に被着したSiが核となり、その後のスパッタで形成されたAl−Si膜23中のSiの一部(余剰Si)が酸化膜22(もしくは窒化膜)の界面に移動してその核に達してSiの小塊に成長することで形成されると考えられる。
図3に示すように、シリコンウェハ21の温度を300℃程度にして、酸化膜22(もしくは窒化膜)の上に1wt%のSiが含有されたAl−Si膜23を数μmの厚さでスパッタ成膜すると、酸化膜22(もしくは窒化膜)の界面に余剰SiによるSiの小塊(以下Si)ノジュール(ともいう)24が形成される。これは酸化膜22(もしくは窒化膜)にスパッタの初期に被着したSiが核となり、その後のスパッタで形成されたAl−Si膜23中のSiの一部(余剰Si)が酸化膜22(もしくは窒化膜)の界面に移動してその核に達してSiの小塊に成長することで形成されると考えられる。
特許文献1によれば、シリコン基板上にシリサイド層を形成し、このシリサイド層上にAl−Si膜を形成し、このAl−Si膜上にTi層もしくはチタン化合物層を形成することで、Siノジュールの発生が抑制されて、シリコン基板とAl−Si膜におけるヒロックの発生およびエレクトロマイグレーションを防止できることが開示されている。
また、特許文献2では、Ti膜上にTiON膜を形成し、このTiON膜上にAl−Si膜を形成し、このAl−Si膜上にTi膜を形成し、熱処理することで、Siノジュールの発生を抑制できることが開示されている。
特開昭64−64255号公報
特開平8−274099号公報
また、特許文献2では、Ti膜上にTiON膜を形成し、このTiON膜上にAl−Si膜を形成し、このAl−Si膜上にTi膜を形成し、熱処理することで、Siノジュールの発生を抑制できることが開示されている。
このSiノジュール24が形成されると次のような不具合を生じる。
・ Siノジュール24の導電率はAl−Siの導電率より低いため、Al−Si膜23を微細加工した配線では電気抵抗が増大する。
・ Siノジュール24の硬度はAl−Si膜23の硬度より高いため、半導体装置の組み立て工程であるワイヤボンディングのときには、下地膜である酸化膜22(もしくは窒化膜)さらにはシリコンウェハ21にクラックを発生させる。
・ Siノジュール24のエッチングレートはAl−Si膜23のエッチングレートより小さいため、Al−Si膜23のパターニング形成時においてエッチング処理を行うと、Siノジュール24aが残渣として残りAl−Si膜23で形成された配線間の電気的な絶縁が確保できなくなる(図4)。
・ Siノジュール24の導電率はAl−Siの導電率より低いため、Al−Si膜23を微細加工した配線では電気抵抗が増大する。
・ Siノジュール24の硬度はAl−Si膜23の硬度より高いため、半導体装置の組み立て工程であるワイヤボンディングのときには、下地膜である酸化膜22(もしくは窒化膜)さらにはシリコンウェハ21にクラックを発生させる。
・ Siノジュール24のエッチングレートはAl−Si膜23のエッチングレートより小さいため、Al−Si膜23のパターニング形成時においてエッチング処理を行うと、Siノジュール24aが残渣として残りAl−Si膜23で形成された配線間の電気的な絶縁が確保できなくなる(図4)。
また、前記の特許文献1、2では、いずれもSiノジュールの発生を抑制するTi膜がAl−Si膜の表面側に成膜されており、Al−Si膜が露出した場合については言及されていない。さらに、特許文献2ではSiノジュールの発生を抑制するための熱処理工程を別個に設けており製造コストが増大する。
この発明の目的は、前記の課題を解決して、Al−Si膜が露出した場合において、Siノジュールが形成されない半導体装置の製造方法を提供することである。
この発明の目的は、前記の課題を解決して、Al−Si膜が露出した場合において、Siノジュールが形成されない半導体装置の製造方法を提供することである。
前記の目的を達成するために、シリコンウェハ上にTi膜を50nm〜100nmの厚さで形成する工程と、前記シリコンウェハの温度を420℃〜480℃とし前記Ti膜上にAl−Si膜を3μm〜7μmの厚さでスパッタ成膜する工程とを含む半導体装置の製造方法とする。
また、前記Al−Si膜が1wt%のSiを含むアルミ合金膜であるとよい。
また、前記Al−Si膜が1wt%のSiを含むアルミ合金膜であるとよい。
また、前記Ti膜を形成する前にTiN膜をバリアメタルとして形成する工程を含む製造方法とするとよい。
また、前記Ti膜と前記Al−Si膜の成膜が、真空搬送連続スパッタ法で形成されるとよい。
また、前記Ti膜と前記Al−Si膜の成膜が、真空搬送連続スパッタ法で形成されるとよい。
この発明によれば、シリコンウェハ上に形成した酸化膜2(もしくは窒化膜)上に50nm〜100nmの厚さでTi膜を形成し、シリコンウェハの温度を420℃〜480℃にして、Ti膜上に1wt%のSiを含有したAl−Si膜を3μm〜7μmの厚さでスパッタ成膜することで、Al−Si膜中の余剰SiがTi膜と反応してTiSi2膜となり、Al−Si膜中にSiノジュールが形成されるのを防止できる。尚、このAl−Si膜の表面は露出しているが、Siノジュールの形成は防止されている。
前記のシリコンウェハとTi膜の間にバリアメタルであるTiN膜を挟んで形成すると、Siノジュールの形成が防止され、さらにシリコンウェハにAl−Si膜のAlが到達してAlスパイクが形成されるのを防止できる。
実施の形態を以下の実施例で説明する。
図1は、この発明の第1実施例の半導体装置の製造方法を示し、同図(a)および同図(c)は工程順に示した要部製造工程断面図である。
シリコンウェハ1上に酸化膜2(もしくは窒化膜)を形成する(同図(a))。
つぎに、酸化膜2(もしくは窒化膜)上に、Ti膜3を50nmの厚さにスパッタ成膜する(同図(b))。
シリコンウェハ1上に酸化膜2(もしくは窒化膜)を形成する(同図(a))。
つぎに、酸化膜2(もしくは窒化膜)上に、Ti膜3を50nmの厚さにスパッタ成膜する(同図(b))。
つぎに、連続してAl(アルミニウム)−Si(シリコン)膜4を5μmの厚さにスパッタ成膜する。スパッタ成膜時間は5分程度である。このときシリコンウェハ1は450℃に加熱している。続いてAl−Si膜をパターンエッチングする(同図(c))。このTi膜3とAl−Si膜4を真空搬送連続スパッタ法で成膜してもよい。これはシリコンウェハ1を真空搬送してTi膜3の成膜した後、大気圧雰囲気に戻すことなく連続してAi−Si膜4の成膜をスパッタで行う方法のことである。
シリコンウェハ1は450℃に加熱されているため、Al−Siターゲットから飛来したスパッタ粒子は、シリコンウェハ1表面へ付着した直後から堆積したAl−Si膜4中を流動しはじめる。Al−Si膜4中を流動する際、Alと合金化されず余剰となったSiは、下地のTi膜3と合金化する。その結果Ti膜3とAl−Si膜4との界面にはTiSi2膜5が形成されてSiノジュールは形成されない。
シリコンウェハ1の温度とTi膜3の膜厚について実験したところ、スパッタ成膜時のシリコンウェハ1の温度を420〜480℃として処理した場合で、Ti膜3が50〜100nmの厚さにした場合において、Siノジュールの形成は抑制された。シリコンウェハ1の温度が420℃未満の場合はSiがTi膜3に十分溶け込まずSiノジュールが形成される。480℃を超えるとAl−Si中のAl原子がTi膜3を突き抜けてAlスパイクを発生させる。また、Ti膜3が50nm未満ではTi量がSi量に比べて不足してSiノジュールを発生させたり、Al−Si中のAl原子がTi膜3を突き抜けてAlスパイクを発生させる。また、Ti膜3の厚さは100nmあればSiノジュールの発生を防止するのに十分であるので、これ以上厚くする必要はないことが判明した。逆にTi膜3が厚すぎるとパターン形成に時間が掛かるので100nm以下が実用的であることが判った。シリコンウェハ1の温度とTi膜3の厚さについての上記範囲は、1wt%Siを含有したAl−Si膜4の膜厚が5μm程度の場合である。しかし、実験の結果、このAl−Si膜4の膜厚は3μm〜7μm程度までは上記範囲が適用できることが判った。Al−Si膜4の膜厚が7μmを超えるとAl−Si膜4の上部に含有されているSiがTi膜3まで達することができずSiノジュールを発生させる。また、Al−Si膜3の膜厚が3μm未満ではボンディングパッドとして使用した場合にはワイヤをボンディングするときの応力で下地の酸化膜2(もしくは窒化膜)やシリコンウェハ1にダメージ(クラックなど)が発生してしまう。
本発明をまとめると、1.0wt%のSiを含有したAl−Si膜4を3〜7μmの厚さでスパッタ成膜する場合、シリコンウェハ1の温度を420〜480℃に加熱しながらスパッタすると、その下層にTi膜3を50〜100nmの厚さで形成しておけば、Ti膜3とAl−Si中の余剰Siが反応し、TiSi2膜5が形成されSiノジュールの発生を防止することができる。つまり前記した特許文献1、2のようにAl−Si膜4の表面をTi膜などのキャップ層で被覆しなくてもSiノジュールの発生を防止できる。また、特許文献2のように個別の熱処理工程がないので製造コストを小さくすることができる。
図2は、この発明の第2実施例の半導体装置の製造方法を示す要部製造断面図である。
図1との違いは、Ti膜3の下地にバリアメタルであるTiN膜6を形成した場合であり、シリコンウェハ1上にTiN膜6を形成し、その後でこのTiN膜6上にTi膜3を形成した点である。この場合にも図1と同様にSiノジュールの発生を防止できる。
また、バリア効果が小さいTi膜3の下地にバリア効果が大きいTiN膜6を形成することで、Al−Si膜4のAlがシリコンウェハ1に達してAlスパイクの発生を確実に防止することができる。
図1との違いは、Ti膜3の下地にバリアメタルであるTiN膜6を形成した場合であり、シリコンウェハ1上にTiN膜6を形成し、その後でこのTiN膜6上にTi膜3を形成した点である。この場合にも図1と同様にSiノジュールの発生を防止できる。
また、バリア効果が小さいTi膜3の下地にバリア効果が大きいTiN膜6を形成することで、Al−Si膜4のAlがシリコンウェハ1に達してAlスパイクの発生を確実に防止することができる。
1 シリコンウェハ
2 酸化膜
3 Ti膜
4 Al−Si膜(1wt%のSiを含有)
5 TiSi2膜
2 酸化膜
3 Ti膜
4 Al−Si膜(1wt%のSiを含有)
5 TiSi2膜
Claims (4)
- シリコンウェハ上にTi膜を50nm〜100nmの厚さで形成する工程と、前記シリコンウェハの温度を420℃〜480℃とし前記Ti膜上にAl−Si膜を3μm〜7μmの厚さでスパッタ成膜する工程とを含む半導体装置の製造方法。
- 前記Al−Si膜が1wt%のSiを含むアルミ合金膜であることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記Ti膜を形成する前にTiN膜をバリアメタルとして形成する工程を含むことを特徴とする請求項1または2に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記Ti膜と前記Al−Si膜の成膜が、真空搬送連続スパッタ法で形成されることを特徴とする請求項1または2に記載の半導体装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2006348923A JP2008159967A (ja) | 2006-12-26 | 2006-12-26 | 半導体装置の製造方法 |
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US9437700B2 (en) | 2014-03-26 | 2016-09-06 | Kabushiki Kaisha Toyota Chuo Kenkyusho | Semiconductor device |
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2006
- 2006-12-26 JP JP2006348923A patent/JP2008159967A/ja active Pending
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