JP2008150247A - 圧電セラミックスの製造方法と圧電セラミックス、並びに圧電素子 - Google Patents
圧電セラミックスの製造方法と圧電セラミックス、並びに圧電素子 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008150247A JP2008150247A JP2006340409A JP2006340409A JP2008150247A JP 2008150247 A JP2008150247 A JP 2008150247A JP 2006340409 A JP2006340409 A JP 2006340409A JP 2006340409 A JP2006340409 A JP 2006340409A JP 2008150247 A JP2008150247 A JP 2008150247A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric
- sintering
- sintered body
- piezoelectric ceramic
- sintering temperature
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
Abstract
【解決手段】圧電体の性質を持つ50nm〜200nmのチタン酸バリウム粉末を所定形状に固めて、電気的な抵抗加熱等により2段階の焼結温度で焼成する。平均粒径1μm〜2μmで最大粒径5μm以下に抑制され、かつチタン酸バリウムの理論密度6.01g/cm3の98%以上の密度の焼結体を形成する。焼結体を、室温乃至80℃で1kv/mmの電圧で30分間程度分極処理する。2段焼結法は、大気中、もしくは酸素雰囲気中で、電気的な抵抗加熱により、第1焼結温度の1230℃〜1340℃に昇温した後、第2焼結温度の1150℃〜1200℃に下げて一定時間維持して焼結する。
【選択図】図1
Description
Claims (13)
- 圧電体の性質を持つ50nm〜200nmのチタン酸バリウム粉末を所定形状に固めて、2段階の焼結温度による2段焼結法で焼成し、平均粒径1μm〜2μmで最大粒径5μm以下に抑制され、かつ理論密度の98%以上の緻密な焼結体を焼成し、この焼結体を分極処理することを特徴とする圧電セラミックスの製造方法。
- 前記チタン酸バリウム粉末は、その作製法が、水熱合成法、共沈殿法、部分共沈法(heterogeneous precipitation method)、アルコキシド法、蓚酸塩法、クエン酸塩法、ゾル・ゲル法及び固相反応法のいずれかから選択され、前記粉末を電気的な抵抗加熱による前記2段焼結法で焼結して成る請求項1記載の圧電セラミックスの製造方法。
- 前記2段焼結法は、大気中、もしくは酸素雰囲気中で、電気的な抵抗加熱により、第1焼結温度の1230℃〜1340℃に昇温した後、第2焼結温度の1150℃〜1200℃に下げて一定時間維持して焼結した請求項1記載の圧電セラミックスの製造方法。
- 前記第1焼結温度までの昇温速度は1分間に7℃〜15℃であり、第1焼結温度での保持時間は0.5分〜2分間である請求項3記載の圧電セラミックスの製造方法。
- 前記第1焼結温度から1分間20℃〜40℃の速度で第2焼結温まで下げて、前記第2焼結温度での保持時間は2時間から15時間である請求項3又は4記載の圧電セラミックスの製造方法。
- 圧電体の性質を持つ50nm〜200nmのチタン酸バリウム粉末を所定形状に固めて、2段階の焼結温度により形成した焼結体であって、その微細結晶構造の平均粒径が1μm〜2μmで最大粒径5μm以下であり理論密度の98%以上の焼結体を、分極処理して成ることを特徴とする圧電セラミックス。
- 前記焼結体は、比誘電率が4800以上であることを特徴とする請求項6記載の圧電セラミックス。
- 前記焼結体は、電気機械結合係数kpが0.39以上であることを特徴とする請求項6記載の圧電セラミックス。
- 前記焼結体は、圧電|d31|定数が180pC/N以上であることを特徴とする請求項6記載の圧電セラミックス。
- 前記焼結体は、圧電d33定数が420pC/N以上であることを特徴とする請求項6記載の圧電セラミックス。
- 前記焼結体は、誘電損失が0.03以下であることを特徴とする請求項6記載の圧電セラミックス。
- 前記チタン酸バリウム粉末の焼結体から成る圧電セラミックスを用い、単板若しくは積層型、矩形、円盤形、ドーム形、またはリング形に形成されたことを特徴とする請求項6から請求項11のいずれか記載の圧電素子。
- 前記チタン酸バリウム粉末の焼結体から成る圧電セラミックスを用いて、振動検出素子、振動子またはブザーとして用いられる請求項6から請求項12のいずれか記載の圧電素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006340409A JP5114730B2 (ja) | 2006-12-18 | 2006-12-18 | 圧電セラミックスの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006340409A JP5114730B2 (ja) | 2006-12-18 | 2006-12-18 | 圧電セラミックスの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008150247A true JP2008150247A (ja) | 2008-07-03 |
JP5114730B2 JP5114730B2 (ja) | 2013-01-09 |
Family
ID=39652841
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006340409A Expired - Fee Related JP5114730B2 (ja) | 2006-12-18 | 2006-12-18 | 圧電セラミックスの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5114730B2 (ja) |
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010042969A (ja) * | 2008-08-18 | 2010-02-25 | Toyama Prefecture | 圧電セラミックスの製造方法と圧電セラミックス、並びに圧電素子 |
EP2328193A2 (en) | 2009-11-30 | 2011-06-01 | Canon Kabushiki Kaisha | Piezoelectric ceramic, method for making the same, piezoelectric element, liquid discharge head, and ultrasonic motor |
US8075996B2 (en) | 2008-06-30 | 2011-12-13 | Hitachi Metals, Ltd. | Ceramic sintered compact and piezoelectric element |
WO2012070667A1 (en) | 2010-11-26 | 2012-05-31 | Canon Kabushiki Kaisha | Piezoelectric ceramic, method for making the same, piezoelectric element, liquid discharge head, ultrasonic motor, and dust cleaner |
WO2012086738A2 (en) | 2010-12-22 | 2012-06-28 | Canon Kabushiki Kaisha | Piezoelectric ceramics, manufacturing method therefor, piezoelectric element, liquid discharge head, ultrasonic motor, and dust removal device |
WO2012091147A1 (en) | 2010-12-28 | 2012-07-05 | Canon Kabushiki Kaisha | Piezoelectric material, piezoelectric element, liquid discharge head, ultrasonic motor, and dust removing device |
WO2012093646A1 (en) | 2011-01-07 | 2012-07-12 | Canon Kabushiki Kaisha | Piezoelectric element, liquid discharge head, ultrasonic motor, and dust removing device |
JP2013067553A (ja) * | 2011-09-06 | 2013-04-18 | Canon Inc | 圧電セラミックス、圧電セラミックスの製造方法、圧電素子、液体吐出ヘッド、液体吐出装置、超音波モータ、光学機器、振動装置、塵埃除去装置、撮像装置、および電子機器 |
WO2014098244A1 (en) | 2012-12-21 | 2014-06-26 | Canon Kabushiki Kaisha | Vibration wave driving device, image pickup device, optical apparatus, liquid discharge device, and electronic apparatus |
EP2933996A1 (en) | 2014-04-18 | 2015-10-21 | Canon Kabushiki Kaisha | Dust removal apparatus and image pickup apparatus |
CN114956846A (zh) * | 2022-06-21 | 2022-08-30 | 郑州大学 | 一种SiC晶须增韧氧化铝陶瓷刀具材料的制备方法 |
CN116354731A (zh) * | 2023-03-30 | 2023-06-30 | 基迈克材料科技(苏州)有限公司 | 细晶亚微米结构陶瓷两步烧结法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05139744A (ja) * | 1991-11-21 | 1993-06-08 | Titan Kogyo Kk | 易焼結性チタン酸バリウム微細粒子粉末およびその製法 |
JPH10203867A (ja) * | 1996-11-22 | 1998-08-04 | Hokko Chem Ind Co Ltd | チタン酸バリウム焼結体及びその製造方法 |
JP2001089230A (ja) * | 1999-09-20 | 2001-04-03 | Hokko Chem Ind Co Ltd | チタン酸バリウム系焼結体製造用粉末組成物および焼結体 |
JP2006315927A (ja) * | 2005-05-16 | 2006-11-24 | Fuji Ceramics:Kk | 誘電、圧電体の性質を持つナノサイズのチタン酸バリウム粉末を焼結した圧電セラミックス、その製造方法及びそれを用いた圧電振動子 |
-
2006
- 2006-12-18 JP JP2006340409A patent/JP5114730B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05139744A (ja) * | 1991-11-21 | 1993-06-08 | Titan Kogyo Kk | 易焼結性チタン酸バリウム微細粒子粉末およびその製法 |
JPH10203867A (ja) * | 1996-11-22 | 1998-08-04 | Hokko Chem Ind Co Ltd | チタン酸バリウム焼結体及びその製造方法 |
JP2001089230A (ja) * | 1999-09-20 | 2001-04-03 | Hokko Chem Ind Co Ltd | チタン酸バリウム系焼結体製造用粉末組成物および焼結体 |
JP2006315927A (ja) * | 2005-05-16 | 2006-11-24 | Fuji Ceramics:Kk | 誘電、圧電体の性質を持つナノサイズのチタン酸バリウム粉末を焼結した圧電セラミックス、その製造方法及びそれを用いた圧電振動子 |
Cited By (31)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8075996B2 (en) | 2008-06-30 | 2011-12-13 | Hitachi Metals, Ltd. | Ceramic sintered compact and piezoelectric element |
JP2010042969A (ja) * | 2008-08-18 | 2010-02-25 | Toyama Prefecture | 圧電セラミックスの製造方法と圧電セラミックス、並びに圧電素子 |
EP2328193A2 (en) | 2009-11-30 | 2011-06-01 | Canon Kabushiki Kaisha | Piezoelectric ceramic, method for making the same, piezoelectric element, liquid discharge head, and ultrasonic motor |
US20110128327A1 (en) * | 2009-11-30 | 2011-06-02 | Canon Kabushiki Kaisha | Piezoelectric ceramic, method for making the same, piezoelectric element, liquid discharge head, and ultrasonic motor |
JP2011132121A (ja) * | 2009-11-30 | 2011-07-07 | Canon Inc | 圧電セラミックス、その製造方法、圧電素子、液体吐出ヘッドおよび超音波モータ |
US9130168B2 (en) * | 2009-11-30 | 2015-09-08 | Canon Kabushiki Kaisha | Piezoelectric ceramic, method for making the same, piezoelectric element, liquid discharge head, and ultrasonic motor |
US8846556B2 (en) | 2009-11-30 | 2014-09-30 | Canon Kabushiki Kaisha | Piezoelectric ceramic, method for making the same, piezoelectric element, liquid discharge head, and ultrasonic motor |
US20130214639A1 (en) * | 2009-11-30 | 2013-08-22 | Canon Kabushiki Kaisha | Piezoelectric ceramic, method for making the same, piezoelectric element, liquid discharge head, and ultrasonic motor |
KR20130086070A (ko) | 2010-11-26 | 2013-07-30 | 캐논 가부시끼가이샤 | 압전 세라믹, 압전 세라믹의 제조 방법, 압전 소자, 액체 토출 헤드, 초음파 모터 및 먼지 클리너 |
WO2012070667A1 (en) | 2010-11-26 | 2012-05-31 | Canon Kabushiki Kaisha | Piezoelectric ceramic, method for making the same, piezoelectric element, liquid discharge head, ultrasonic motor, and dust cleaner |
US9614140B2 (en) | 2010-11-26 | 2017-04-04 | Canon Kabushiki Kaisha | Piezoelectric ceramic, method for making same, piezoelectric element, liquid discharge head, ultrasonic motor, and dust cleaner |
JP2012126636A (ja) * | 2010-11-26 | 2012-07-05 | Canon Inc | 圧電セラミックス、圧電セラミックスの製造方法、圧電素子、液体吐出ヘッド、超音波モータ及び塵埃除去装置 |
US9231188B2 (en) | 2010-12-22 | 2016-01-05 | Canon Kabushiki Kaisha | Piezoelectric ceramics, manufacturing method therefor, piezoelectric element, liquid discharge head, ultrasonic motor, and dust removal device |
WO2012086738A2 (en) | 2010-12-22 | 2012-06-28 | Canon Kabushiki Kaisha | Piezoelectric ceramics, manufacturing method therefor, piezoelectric element, liquid discharge head, ultrasonic motor, and dust removal device |
US9842985B2 (en) | 2010-12-22 | 2017-12-12 | Canon Kabushiki Kaisha | Manufacturing method for piezoelectric ceramics |
WO2012091147A1 (en) | 2010-12-28 | 2012-07-05 | Canon Kabushiki Kaisha | Piezoelectric material, piezoelectric element, liquid discharge head, ultrasonic motor, and dust removing device |
US9306149B2 (en) | 2010-12-28 | 2016-04-05 | Canon Kabushiki Kaisha | Piezoelectric material, piezoelectric element, liquid discharge head, ultrasonic motor, and dust removing device |
WO2012093646A1 (en) | 2011-01-07 | 2012-07-12 | Canon Kabushiki Kaisha | Piezoelectric element, liquid discharge head, ultrasonic motor, and dust removing device |
US9825213B2 (en) | 2011-01-07 | 2017-11-21 | Canon Kabushiki Kaisha | Piezoelectric element, liquid discharge head, ultrasonic motor, and dust removing device |
JP2012156493A (ja) * | 2011-01-07 | 2012-08-16 | Canon Inc | 圧電素子、液体吐出ヘッド、超音波モータおよび塵埃除去装置 |
CN103283051A (zh) * | 2011-01-07 | 2013-09-04 | 佳能株式会社 | 压电元件、液体排出头、超声马达和灰尘去除装置 |
JP2013067553A (ja) * | 2011-09-06 | 2013-04-18 | Canon Inc | 圧電セラミックス、圧電セラミックスの製造方法、圧電素子、液体吐出ヘッド、液体吐出装置、超音波モータ、光学機器、振動装置、塵埃除去装置、撮像装置、および電子機器 |
US9082976B2 (en) | 2011-09-06 | 2015-07-14 | Canon Kabushiki Kaisha | Piezoelectric ceramics, manufacturing method for piezoelectric ceramics, piezoelectric element, liquid discharge head, liquid discharge apparatus, ultrasonic motor, optical apparatus, vibration generator, dust removing device, imaging apparatus, and electronic apparatus |
US9431595B2 (en) | 2012-12-21 | 2016-08-30 | Canon Kabushiki Kaisha | Vibration wave driving device, image pickup device, optical apparatus, liquid discharge device, and electronic apparatus |
WO2014098244A1 (en) | 2012-12-21 | 2014-06-26 | Canon Kabushiki Kaisha | Vibration wave driving device, image pickup device, optical apparatus, liquid discharge device, and electronic apparatus |
CN104871328A (zh) * | 2012-12-21 | 2015-08-26 | 佳能株式会社 | 振动波驱动设备、图像拾取设备、光学装置、液体排出设备和电子装置 |
US9413928B2 (en) | 2014-04-18 | 2016-08-09 | Canon Kabushiki Kaisha | Dust removal apparatus and image pickup apparatus |
EP2933996A1 (en) | 2014-04-18 | 2015-10-21 | Canon Kabushiki Kaisha | Dust removal apparatus and image pickup apparatus |
CN114956846A (zh) * | 2022-06-21 | 2022-08-30 | 郑州大学 | 一种SiC晶须增韧氧化铝陶瓷刀具材料的制备方法 |
CN114956846B (zh) * | 2022-06-21 | 2023-10-27 | 郑州大学 | 一种SiC晶须增韧氧化铝陶瓷刀具材料的制备方法 |
CN116354731A (zh) * | 2023-03-30 | 2023-06-30 | 基迈克材料科技(苏州)有限公司 | 细晶亚微米结构陶瓷两步烧结法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5114730B2 (ja) | 2013-01-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5114730B2 (ja) | 圧電セラミックスの製造方法 | |
KR101754292B1 (ko) | 압전 및 강유전 특성이 향상된 BiFeO3-BaTiO3 세라믹스의 제조방법 및 이를 이용하여 제조된 무연 압전 세라믹스 | |
JP2007031219A (ja) | チタン酸ビスマスナトリウム−ジルコニウムチタン酸バリウム系無鉛圧電セラミック及びその製造方法 | |
JP5929640B2 (ja) | 圧電磁器および圧電素子 | |
JP2009227535A (ja) | 圧電性磁器組成物 | |
Lorenz et al. | Electromechanical properties of robocasted barium titanate ceramics | |
JP4912616B2 (ja) | 誘電、圧電体の性質を持つナノサイズのチタン酸バリウム粉末を焼結した圧電セラミックス、その製造方法及びそれを用いた圧電振動子 | |
JP4938340B2 (ja) | 誘電、圧電体の性質を持つナノサイズのチタン酸バリウム粉末を焼結した圧電セラミックス及びその製造方法 | |
JP2007084408A (ja) | 圧電セラミックス | |
KR20130086093A (ko) | 무연 압전 세라믹스 조성물 | |
KR100896966B1 (ko) | 압전 재료 및 그 제조 방법 | |
JP2010042969A (ja) | 圧電セラミックスの製造方法と圧電セラミックス、並びに圧電素子 | |
KR100801477B1 (ko) | 무연 세라믹스 및 그의 제조방법 | |
Yimnirun et al. | Effect of sintering temperature on densification and dielectric properties of Pb (Zr 0.44 Ti 0.56) O 3 ceramics | |
JP2003261379A (ja) | 多結晶圧電材料及びその製造方法 | |
KR101006958B1 (ko) | 유기물을 함유하는 센서용 압전 후막 및 이의 제조방법 | |
JP2006265055A (ja) | 圧電セラミックスの製造方法 | |
KR101029027B1 (ko) | Bnbt6 압전세라믹스 및 그의 제조방법 | |
KR101768585B1 (ko) | 비납계 압전체 제조방법 및 그 제조방법으로 제조된 압전체 | |
KR20100026660A (ko) | 압전 재료 및 그 제조 방법 | |
KR100890006B1 (ko) | 유기물 및 나노 미세기공을 함유하는 pzt계 압전 후막및 이의 제조 방법 | |
JP2010076958A (ja) | 圧電セラミックス、及びその製造方法 | |
JP2004307320A (ja) | 圧電磁器組成物およびその製造方法 | |
KR101454341B1 (ko) | Pzt계 압전 세라믹 및 그 제조 방법 | |
KR20100135536A (ko) | 압전 재료 및 그 제조 방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090925 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110826 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110831 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111031 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120703 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120802 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120821 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120924 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151026 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |