JP2008147472A5 - - Google Patents
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Claims (4)
- 上パッケージのはんだボールと下パッケージのパッドとを直接接続させて形成される半導体装置において、
前記パッドの一部がフィデューシャルマークを兼用し、
前記フィデューシャルマークを兼用するパッドと、その他のパッドとは、形状が相違し、かつ面積が実質的に等しく形成されること
を特徴とする半導体装置。 - 前記フィデューシャルマークを兼用するパッドが、前記下パッケージにおける対角位置に二箇所設けられること
を特徴とする請求項1記載の半導体装置。 - 前記フィデューシャルマークを兼用するパッドが、前記下パッケージにおいて三角形を構成する位置に三箇所設けられること
を特徴とする請求項1記載の半導体装置。 - キャリアに収納された下パッケージの位置を、下パッケージに設けられたフィデューシャルマークを兼用するパッドによって認識し、
前記認識位置に基づいて、上パッケージのはんだボールと、下パッケージのパッドとの位置合わせを行い、それらを直接接続させて、半導体装置を形成すること
を特徴とする半導体装置の製造方法。
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