JP2010529681A5 - - Google Patents

Claims (12)

1. 集積回路のコンタクトパッドであって、
   前記コンタクトパッドの底部を含む平坦部と、
   前記平坦部から延在し、前記平坦部に実質的に垂直な複数の突起と、
   前記複数の突起および前記平坦部に取付けられたはんだボールとを備え、
   前記複数の突起のうち特定の１つは、少なくとも第１の平坦域と第２の平坦域とを有し、前記第１の平坦域は、前記第２の平坦域とは異なる高さにある、コンタクトパッド。
2. 前記複数の突起は、高さの範囲が前記コンタクトパッドの外側端部にある短い突起を含み前記コンタクトパッドの中心近くにあるより背の高い突起にわたる複数の突起を含む、請求項１に記載のコンタクトパッド。
3. 前記複数の突起は、高さの範囲が前記コンタクトパッドの外側端部にある背の高い突起を含み前記コンタクトパッドの中心近くにある短い突起にわたる複数の突起を含む、請求項１に記載のコンタクトパッド。
4. 集積回路のためのコンタクトパッドの形成方法であって、
   前記コンタクトパッドの底部を含む平坦部を形成するステップと、
   前記平坦部から延在し、前記平坦部に実質的に垂直な複数の突起を形成するステップと、
   前記複数の突起および前記平坦部にはんだボールを取付けるステップとを備え、
   前記複数の突起のうち特定の１つは、少なくとも第１の平坦域と第２の平坦域とを有し、前記第１の平坦域は、前記第２の平坦域とは異なる高さにある、方法。
5. 前記複数の突起を形成するステップは、少なくとも１つのメタル層を形成するステップまたはエッチングするステップを含む、請求項４に記載の方法。
6. 前記複数の突起を形成するステップは、前記コンタクトパッドの外側端部近くにある短い突起から前記コンタクトパッドの中心近くにある背の高い突起にわたる突起を形成するステップを含む、請求項４に記載の方法。
7. 前記複数の突起を形成するステップは、前記コンタクトパッドの外側端部近くにある背の高い突起から前記コンタクトパッドの中心近くにある短い突起にわたる突起を形成するステップを含む、請求項４に記載の方法。
8. 前記特定の突起にある平坦域の数は、前記特定の突起の高さによって変化する、請求項１に記載のコンタクトパッド。
9. 前記複数の突起の各々は、少なくとも前記第１の平坦域と前記第２の平坦域とを有し、前記複数の突起のうち前記特定の１つの高さは、前記複数の突起のうち別の１つの高さと異なり、前記複数の突起のうち前記特定の１つにある平坦域の数は、前記複数の突起のうち前記別の１つにある平坦域の数と異なる、請求項１に記載のコンタクトパッド。
10. 前記特定の突起にある平坦域の数は、前記特定の突起の高さによって変化する、請求項４に記載の方法。
11. 前記複数の突起は、第１の方向へ延在し、前記複数の突起のうち前記特定の１つの前記第１の平坦部および前記第２の平坦部は、前記第１の方向に垂直な第２の方向へほぼ直線状に延在する、請求項１に記載のコンタクトパッド。
12. 前記複数の突起は、第１の方向へ延在し、前記複数の突起のうち前記特定の１つの前記第１の平坦部および前記第２の平坦部は、前記第１の方向に垂直な第２の方向へほぼ直線状に延在する、請求項４に記載の方法。