JP2008147206A - 露光装置及びデバイス製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は、基板上の複数のショット領域を露光する露光装置であって、基板上のショット領域内のアライメントマークの位置を計測する計測器と、制御部とを備える。制御部は、基板上の複数のショット領域から、複数のサンプルショットセットを生成し、複数のサンプルショットセットのそれぞれに関し、複数の計測条件のそれぞれで計測器にアライメントマークの位置を計測させる。制御部は、また、計測の結果に基づいて、複数の計測条件及び複数のサンプルショットセットの組み合わせのそれぞれに関して、ショット配列を算出する。制御部は、さらに、複数の計測条件のそれぞれに関し、複数のサンプルショットセットに関してそれぞれ算出されたショット配列のばらつきを算出する。そして、制御部は、かつ複数の計測条件に関してそれぞれ算出されたばらつきに基づいて、アライメントマークの位置を計測する計測条件を決定する。
【選択図】図1
Description
図1に示す露光装置は、上述した図12に示す露光装置と制御部10を除き同一の構成をとり得る。図1における照明条件切り替え部4は、例えば図5に示すように、波長やNAや瞳形状等の照明条件を選択可能である。また、検出条件切り替え部12は、例えば図6に示すように、複数の計測アルゴリズム、処理ウィンド等の検出条件を選択可能である。照明条件及び検出条件はアライメントマークの計測条件を構成する。
第1実施形態において基板W上の各ショット領域Siには1種類のマークしかなかった。第2実施形態においては各ショット領域Siに図3の(a)〜(c)に示されるようなピッチや線幅が異なる複数種類のマークが設けられている。第2実施形態における基板上のショット配列形状算出に最適な計測条件とマークの決定方法について説明する。図9は第2実施形態に係る計測条件決定のフローを説明する図である。
第1,2実施形態では、半導体製造用露光装置の構成はアライメント光軸がレチクルと投影光学系を通る構成となっていた。アライメント光軸がレチクルRを通らないスルーザレンズ(TTL)アライメント光学系を搭載した露光装置において本発明の技術を適用した形態を第3実施形態として示す。例えば図10に示されるように、レチクルRを介さないでステージ上のマークWMを撮像することも可能である。最適計測条件決定手順については、第1、2実施形態と同様である。
アライメント光軸がレチクルと投影光学系を通らないオフアクシスアライメント光学系を搭載した露光装置において本発明の技術を適用した形態を第4実施形態として示す。例えば図11として示されるように、レチクルRや投影光学系1を介さないでステージ上のマークWMを直接撮像することも可能である。最適計測条件決定手順については、第1、2実施形態と同様である。
[デバイス製造方法の実施形態]
次に、図13及び図14を参照して、上述の露光装置を利用したデバイス製造方法の実施例を説明する。
2:マーク撮像用光学系
3:照明部
4:照明条件切り替え部
5,6:結像光学系
7:ビームスプリッタ
8:撮像部
9:A/D変換器
10,10':制御部
12,12':検出条件切り替え部
13,13':算出部
14,14':生成部
15:決定部
16:ステージ
17:ステージ駆動部
18:ステージ検出部
W:基板
WM〜WM3:マーク
R:レチクル
Claims (4)
- 基板上の複数のショット領域を露光する露光装置であって、
該基板上のショット領域内のアライメントマークの位置を計測する計測器と、
該基板上の複数のショット領域から、複数のサンプルショットセットを生成し、該複数のサンプルショットセットのそれぞれに関し、複数の計測条件のそれぞれで前記計測器に該アライメントマークの位置を計測させ、前記計測の結果に基づいて、該複数の計測条件及び該複数のサンプルショットセットの組み合わせのそれぞれに関して、ショット配列を算出し、該複数の計測条件のそれぞれに関し、該複数のサンプルショットセットに関してそれぞれ算出された該ショット配列のばらつきを算出し、かつ該複数の計測条件に関してそれぞれ算出された該ばらつきに基づいて、該アライメントマークの位置を計測する計測条件を決定する制御部と、
を備えることを特徴とする露光装置。 - 該複数の計測条件は、前記計測器に含まれる光学系の条件、前記計測器により用いられるアルゴリズム、及び該アライメントマークの形状の少なくとも一つが互いに異なることを特徴とする請求項1に記載される露光装置。
- 該基板のロットにおける先頭の基板を用いて該計測条件を決定することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載される露光装置。
- 請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載される露光装置を用いて基板を露光する工程と、
該露光された基板を現像する工程とを備えることを特徴とするデバイス製造方法。
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