JP2008145918A - 多重露光技術におけるマスク製造誤差検証方法 - Google Patents
多重露光技術におけるマスク製造誤差検証方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】本発明は、複数のフォトマスクを用いて多重パターンニングを行う多重露光技術におけるマスク製造誤差検証方法であって、非描画領域にグローバル用の位置精度検出マークが設けられた複数のフォトマスク(1、2)と、描画領域にローカル用の位置精度検出マークが設けられた複数のフォトマスク(1、2)と、を用いて露光を行った露光像の、グローバル用の位置精度検出マークによる露光像の重なり具合とローカル用の位置精度検出マークによる露光像の重なり具合とを観測して、フォトマスクの精度及び半導体露光装置の重ね合わせ精度の検証を行う。
【選択図】 図2
Description
岡崎信次「リソグラフィー技術の将来展望」応用物理第75巻、第11号(2006年)p.p.1328−1333
(第1の課題)
多重パターニングの場合、前述のようにフォトマスクを2枚以上用いて、複数のプロセスを実施するため、マスク間の寸法誤差や重ね合わせ精度(オーバーレイ)誤差がウェーハ上の寸法に影響を与える。このため、ウェーハ上に転写した際にマスク寸法誤差の影響とオーバーレイの影響を観察することが必要になる。
(第2の課題)
ダブルパターニングの場合、前述のように第1マスク111を用いて露光・現像後、1回目のハードマスクプロセスを行い、第2マスク122を用いて露光・現像後、2回目のハードマスクプロセスを行う、というプロセスを経て初めて、マスク製造誤差の検証が可能となる。しかしながら、このようなハードマスクプロセスを行うための環境や、ハードマスクプロセス技術は現在のところまだ一般的ではないため、マスク製造誤差の検証のハードルとなっている。
露光された被露光基板3上の、グローバル用の位置精度検出マークのずれΔGは半導体露光装置にフォトマスクがセットされるときに生じるずれであり、これは半導体露光装置の重ね合わせ精度に関するずれを示している。一方、ローカル用の位置精度検出マークのずれΔLは、上記の半導体露光装置の重ね合わせ精度に係るずれにフォトマスク自体の精度ずれが加えられたずれである。
Claims (2)
- 複数のフォトマスクを用いて多重パターンニングを行う多重露光技術におけるマスク製造誤差検証方法において、
非描画領域にグローバル用の位置精度検出マークが設けられた複数のフォトマスクと、描画領域にローカル用の位置精度検出マークが設けられた複数のフォトマスクと、を用いて露光を行った露光像の、グローバル用の位置精度検出マークによる露光像の重なり具合とローカル用の位置精度検出マークによる露光像の重なり具合とを観測して、フォトマスクの精度及び半導体露光装置の重ね合わせ精度の検証を行うことを特徴とする多重露光技術におけるマスク製造誤差検証方法。 - 複数のフォトマスクを用いて多重パターンニングを行う多重露光技術におけるマスク製造誤差検証方法において、
描画領域にシミュレーション時位置合わせ用マークが設けられた複数のフォトマスクを用いて露光を行った露光像のシミュレーション時位置合わせ用マークを参照して、露光像を重ね合わせることで多重パターンニングにおけるマスク製造誤差の検証を行うことを特徴とする多重露光技術におけるマスク製造誤差検証方法。
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