JP2008145328A - スライダの検査方法および検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】スライダへの影響を抑えながら、スライダの外観検査を効率的におこなう。
【解決手段】スライダを、複数個の矩形状のスライダが長手方向に一列に配列されたローバーの状態で検査する方法は、ローバーＢの長手方向両側端面を除くスライダの４つの面を各々始点としてスライダの外側に延びる４つの法線ベクトルのうち、第１の面Ｍ１から延びる第１の法線ベクトルＶ１と、第１の面Ｍ１と隣接する第２の面Ｍ２から延びる第２の法線ベクトルＶ２とがともに鉛直方向上向きの成分を持つようにローバーＢを支持する支持ステップと、第１の検査手段１１によって、支持されたローバーのスライダの第１の面Ｍ１を光学的に検査するとともに、第２の検査手段１２によって第２の面Ｍ２を光学的に検査する検査ステップと、を有している。
【選択図】図３

Description

本発明はスライダの検査方法および検査装置に関し、特に、スライダをローバーの状態で光学的に検査する方法に関する。

スライダは、アルティックなどのセラミクスウエハに薄膜技術を用いて記録再生素子を形成し、そのウエハを、媒体対向面となるべき面が長手方向に一列に配列したローバーに切り出し、さらにローバーを個々のスライダに切り出すことによって形成される。ウエハ上に記録再生素子を形成する際には、ウエハの成膜面に各スライダの番号を付記しており、スライダおよびローバーはこの番号によって管理される。スライダはウエハからの切断後、ローバーの状態で、数回にわたり光学顕微鏡等による外観検査を受ける。スライダがヘッドジンバルアッセンブリ（ＨＧＡ）に組込まれた最終段階だけで検査をおこなうと、歩留まり損が大きく、原因究明も有効におこなうことができない。そこで、各工程での不良発生の割合を把握し、原因究明、改善につなげるために、ローバーの状態での検査が非常に重要である。

外観検査の対象は主に、媒体対向面またはラッピングによって媒体対向面となるべき面（以下、第１の面という。）へのごみの付着や欠落箇所のチェックであるが、スライダ番号は成膜面に付記されているため、第１の面を検査する際には成膜面も同時に検査する必要がある。また、ローバーの工程管理上、工程ごとにスライダ番号を確認する必要があり、実際に検査をおこなう機会は第１の面よりもむしろ成膜面の方が多い。スライダ番号の確認も顕微鏡によっておこなわれる。スライダの特定にはウエハ番号とスライダ番号の２つが必要となるが、ウエハ番号は成膜面の反対側の面（ウエハ裏面）に付記されることもあり、その場合は、第１の面を含めて計三面を顕微鏡で検査する必要がある。なお、本明細書では、スライダの検査とは第１の面等の点検検査、外観の状態検査だけでなく、スライダ番号やウエハ番号の確認をおこなうだけの作業も含む。

ところで、ローバーは非常に脆弱なため、通常は、ケース（トレイ）に入れて、保管および移動がおこなわれる。図７は従来用いられてきたトレイの一例を示す。トレイ１２１は枠体からなり、複数のローバーが同時に収納できるようになっている。トレイの対向する２辺には段差１２３が設けられ、ローバーＢは段差１２３に保持される。スライダ番号は上述のとおり頻繁にチェックされるため、ローバーＢは、スライダ番号が見やすいように、スライダ番号が付記された成膜面を上向きにして収納される。

第１の面の外観検査をおこなうときは、まずトレイに入れた状態でスライダ番号を光学顕微鏡でチェックする。ウエハ番号がウエハ裏面に付記されているときは、トレイをひっくり返してウエハ番号を確認する。次にトレイからローバーを１つずつ、ピンセットを使って取り出し、光学顕微鏡を備えた検査台に移動し、第１の面の検査をおこなう。しかし、この検査の質および効率は、作業者のスキル（位置決め、検査時間等）に大きく依存し、作業者によるばらつきが大きい。脆弱なローバーを取り扱うため、ローバーを取り出し、検査した後トレイに戻す作業は高度な熟練を要し、失敗してローバーを破損してしまったり、コンタミなどが付着することも多く、歩留まりの悪化や検査の長時間化の原因となっていた。第１の面に欠陥が見つかった場合、そのスライダを特定するため、そのままローバーを９０度傾けスライダ番号を再度チェックすることもあり、不良品が多いと検査時間がさらに長くなる。検査時間を短縮するためには作業者の数を増やさなければならない。

このような問題を解決するため、これまでもスライダの検査方法の合理化を図る努力がなされてきた。特許文献１には、スライダを複数方向から検査する方法が開示されている。具体的には、多数のスライダを回転する支持体の外周面に固定し、支持体を回転させながらスライダの向きを変え、固定カメラで外観検査をおこなう。スライダを固定する方法として、あらかじめスライダをテープに固定し、テープを支持体に巻きつけることも記載されている。

特許文献２には、鏡を使ってスライダの複数の面を同時に検査する方法が開示されている。具体的には、検査対象であるスライダの側方に４５度の角度の鏡を設置する。鏡を光学顕微鏡の視野内に設置すれば、光学顕微鏡の視野にはスライダとともに、鏡に映ったスライダ側方の様子が写し出され、スライダの正面だけでなく側方の様子を同時に検査することができる。
特開１９９３−２２３５３４号公報 特開２００２−０４８７１６号公報

特許文献１，２に記載の技術は、ローバーからスライダを切り出し、切り出されたスライダを改めて専用の支持具に装着する必要があり、作業効率の点で課題がある。支持具に装着する際に接着剤を用いる場合、接着剤がスライダに付着したままになる可能性もあり、スライダの信頼性に影響を及ぼす可能性もある。また、これらの方法ではスライダをローバーの状態で検査することはできない。

本発明は、スライダへの影響を抑えながら、スライダの外観検査を効率的におこなうことのできる検査方法および検査装置を提供することを目的とする。

本発明のスライダの検査方法は、スライダを、複数個の矩形状のスライダが長手方向に一列に配列されたローバーの状態で検査する方法である。本検査方法は、ローバーの長手方向両側端面を除くスライダの４つの面を各々始点としてスライダの外側に延びる４つの法線ベクトルのうち、第１の面から延びる第１の法線ベクトルと、第１の面と隣接する第２の面から延びる第２の法線ベクトルとがともに鉛直方向上向きの成分を持つようにローバーを支持する支持ステップと、第１の検査手段によって、支持されたローバーのスライダの第１の面を光学的に検査するとともに、第２の検査手段によって第２の面を光学的に検査する検査ステップと、を有している。

このように、ローバーは２つの面が同時に上方を向くような姿勢で支持され、当該２つの面は、各々の方向から別々の検査手段を用いて同時に検査できるため、効率的な検査が可能となる。２つの面を検査するためにローバーをピンセット等の物理的手段で取り扱う必要がなく、トレイに収納された状態でスライダの検査が可能であるため、スライダへの影響も最小限に抑えることができる。

検査ステップは、トレイに支持されたローバーの一つのスライダの第１および第２の面を検査したのち、トレイを長手方向に移動し、別のスライダの第１および第２の面を検査することを含んでいてもよい。

支持ステップは、複数のローバーを、各ローバーの長手方向軸が互いに平行移動の位置となるようにトレイで支持することを含み、検査ステップは、一つのローバーを検査した後、トレイを長手方向と直交する方向に移動し、別のローバーを検査することを含んでいてもよい。

検査ステップは、ローバーの一つのスライダの第１および第２の面を検査したのち、第１および第２の検査手段を長手方向に移動し、別のスライダの第１および第２の面を検査することを含んでいてもよい。

支持ステップは、複数のローバーを、各ローバーの長手方向軸が互いに平行移動の位置となるように支持することを含み、検査ステップは、一つのローバーを検査した後、第１および第２の検査手段を長手方向と直交する方向に移動し、別のローバーを検査することを含んでいてもよい。

第１の検査手段は第１の法線ベクトルの線上に設けられ、第２の検査手段は第２の法線ベクトルの線上に設けられていることが望ましい。

本発明のスライダの検査装置は、スライダを、複数個のスライダが長手方向に一列に配列されたローバーの状態で検査する装置である。スライダの検査装置は、ローバーの長手方向両側端面を除くスライダの４つの面を各々始点としてスライダの外側に延びる４つの法線ベクトルのうち、第１の面から延びる第１の法線ベクトルと、第１の面と隣接する第２の面から延びる第２の法線ベクトルとがともに鉛直方向上向きの成分を持つようにローバーを支持することができるトレイと、第１の法線ベクトルの線上に設けられた第１の検査手段と、第２の法線ベクトルの線上に設けられた第２の検査手段と、を有している。

本検査装置を用いることによって、上述のスライダの検査方法を好適に実施することができる。

以上説明したように、本発明によれば、スライダへの影響を抑えながら、スライダの外観検査を効率的におこなうことのできる検査方法および検査装置を提供することができる。

まず、本発明の実施形態の一つであるスライダ検査装置について、図面を参照して説明する。図１は、本発明に係るスライダ検査装置の全体構成図である。図２は、図１の２−２線に沿ったスライダ検査装置の断面図である。図３は、図２のＡ部の部分詳細図である。図４は、図１の４−４線からみたスライダ検査装置の上面図である。各図は、ローバーが収納された状態を示している。

図１を参照すると、トレイ１６は内側が開口とされた枠体からなり、枠体の対向する２辺には複数の段差１７が設けられている。枠体は、スライダの静電破壊防止のため、炭素含有プラスチックでできている。ローバーＢの収納スペースが確保されていれば、トレイ１６に底板（図示せず）が設けられていてもよい。段差１７は、図２に示すように、表面が水平方向に対して角度θで傾斜した当接面１８を有している。ローバーＢは、両側の端部Ｅ１，Ｅ２が当接面１８に当接することによってトレイ１６に支持される。当接面１８の角度θは、例えば３０度〜６０度の間から選択される。段差１７の深さは、カメラ１１，１２（後述）がトレイ１６に接触しないように、ローバーＢをトレイ１６に設置したときに、ローバーＢの上端部がトレイ１６から突き出すように設定されている。トレイ１６は、真空チャックでローバーＢを固定する機能を有していてもよい。

トレイ１６は複数個のローバーＢを互いに平行移動の位置関係で保持することができる。ローバーＢ間の間隔は、カメラ１１，１２が隣接するローバーＢに誤って接触しないように、適切に設定されている。

トレイ１６はローバーＢを保管する機能も有している。トレイ１６はスライダ製造工程の多くの期間は単独で用いられ、スライダの外観検査が必要となったときのみ、スライダ検査装置１に組込まれる。

トレイ１６は、図示しない移動手段によってローバーＢの長手方向ｘ、ローバーＢの配列方向ｙ、および鉛直方向ｚに動くことができる。

ローバーＢは複数個の矩形状のスライダＳが長手方向ｘに一列に配列されたバーである。したがって、各スライダＳは、隣接するスライダＳと接する２つの面を除く４つの面Ｍ１〜Ｍ４が外部から視認できる状態にある。ローバーＢは、その長手方向ｘの両側端面が段差１７に支持されており、スライダＳの４つの面Ｍ１〜Ｍ４は、外部から視認できる状態でトレイ１６の中空部に保持される。図３を参照すると、第１の面Ｍ１はスライダの媒体対向面、または媒体対向面となるべき面（ラッピングが行われる前の面）である。第２の面Ｍ２はウエハの成膜面である。第３の面Ｍ３は媒体対向面の裏面である。第４の面Ｍ４はウエハの成膜面の裏面である。

ここで、図３に示すように、この４つの面Ｍ１〜Ｍ４を各々始点としてスライダＳの外側に延びる４つの法線ベクトルＶ１〜Ｖ４を考える。第１の法線ベクトルＶ１は第１の面Ｍ１から延びるベクトルである。第２の法線ベクトルＶ２は第２の面Ｍ２から延びるベクトルである。第２の法線ベクトルＶ２は水平面に対して角度θで傾斜している。第３の法線ベクトルＶ３は第３の面Ｍ３から延びるベクトルである。第４の法線ベクトルＶ４は第４の面Ｍ４から延びるベクトルである。ローバーＢを図３の向きでトレイ１６に支持させると、第１の法線ベクトルＶ１および第２の法線ベクトルＶ２はともに鉛直方向上向きの成分を持つ。これによって、後述するように、ローバーＢをトレイ１６に収納した状態で、スライダＳの媒体対向面と成膜面とを同時に観察することができる。

第１の法線ベクトルＶ１の線上には第１のカメラ１１が設けられている。第１のカメラ１１はスライダＳの第１の面Ｍ１（媒体対向面）を撮影することができる。第１のカメラ１１は、一つのスライダＳの第１の面Ｍ１全体と素子（ポール）周辺とを、各々適切な倍率で検査できるように、２００倍と５００倍の２つの倍率を切り替えることができる。

第２の法線ベクトルＶ２の線上には第２のカメラ１２が設けられている。第２のカメラ１２はスライダＳの第２の面Ｍ２（成膜面）を撮影する。第２のカメラ１２は、一つのスライダＳの成膜面全体を検査できるように、２００倍の倍率で検査することができる。

第１のカメラ１１および第２のカメラ１２は、例えばＣＣＤ(Charge-Coupled Device)を搭載したデジタルカメラを用いることができるが、これに限定されず、顕微鏡その他の任意の光学的検査手段を用いることができる。第１のカメラ１１は必ずしも第１の法線ベクトルＶ１の線上に設けられている必要はなく、第１の面Ｍ１を適切に撮影できれば第１の法線ベクトルＶ１から多少ずれていてもよい。第２のカメラ１２についても同様である。倍率は上記のものに限定されず、可変倍率であってもよい。第１のカメラ１１および第２のカメラ１２は、図示しない移動手段によってローバーＢの長手方向ｘ、カメラの光軸方向ｙ’およびこれらと直交する方向ｚ’に移動することができる。カメラの光軸方向ｙ’への移動はカメラの焦点調整に用いることができる。なお、座標軸ｘ−ｙ’−ｚ’はカメラ１１，１２毎に異なり、カメラ１２の場合光軸方向ｙ’と方向ｙが角度θをなし、カメラ１１の場合光軸方向ｙ’と方向ｚが角度θをなしている。

各カメラ１１，１２は画像表示装置１５に接続されている。画像表示装置１５は、各カメラ１１，１２で撮像したデータを、一画面を分割するなどの手法によって同時に表示することができる。カメラ１１，１２および画像表示装置１５は、画像処理および画像表示用の計算機（図示せず）に接続されていてもよい。

次に、以上説明した検査装置を用いたスライダの検査方法について、図５に示すフローチャートを参照しながら説明する。

（ステップＳ１）まず、ウエハから切り出した複数個のローバーＢを、図３のように、第１の面Ｍ１および第２の面Ｍ２を上向きにしてトレイ１６に載置する。前述のように、ローバーＢは複数個のスライダＳが長手方向ｘに一列に配列されたスライダの集合体である。スライダは概ね直方体形状をなし、一方の面に、媒体対向面、またはラッピングによって媒体対向面が形成されるべき面である第１の面Ｍ１が形成されている。複数個のローバーＢは、各ローバーＢの長手方向軸（方向ｘに沿って延びるローバーＢの中心軸）が互いに平行移動の位置となるようにトレイ１６に支持される。

（ステップＳ２）この状態で、移動手段によってトレイ１６を上昇させる。トレイ１６は、第１のカメラ１１が第１の面Ｍ１を、第２のカメラ１２が第２の面Ｍ２を各々撮像できる位置で停止する。トレイ１６の停止後、第１のカメラ１１あるいは第２のカメラ１２の位置を光軸方向ｙ’に動かして焦点の調整をおこなってもよい。また、第１のカメラ１１あるいは第２のカメラ１２を方向ｘ，ｚ’に動かして撮像位置を微調整してもよい。

（ステップＳ３）第１，第２のカメラ１１，１２によって検査対象のスライダＳの第１の面Ｍ１，第２の面Ｍ２を光学的に検査する。第１のカメラ１１は、倍率を自動操作またはマニュアル操作によって切り替えて、第１の面Ｍ１の全体画像と、ポール付近の拡大画像を取得する。全体画像を観察することによって、第１の面Ｍ１のスクラッチやコンタミの有無を検査することができる。ポール付近はスライダの機能上特に重要な部位であり、また高倍率での検査が必要とされる部位である。倍率を切り替えて適切な範囲を撮像することによって、検査の精度を向上させることができる。第１のカメラ１１での撮像と同時に、第２のカメラ１２によって、第２の面Ｍ２の全体画像を取得する。第２の面Ｍ２はスライダ番号が付記された成膜面である。成膜面にはボンディングパッド（図示せず）も設けられており、洗浄後のコンタミやチッピングが問題となりやすいため、検査の必要性は大きい。この面には、ウエハ番号が付記されている場合もある。なお、同時に画像を取得、あるいは同時に検査するという意味は、厳密に同時刻ということではなく、多少の時間ずれを伴っていてもかまわないことはいうまでもない。

図６は、画像表示装置に表示された各カメラの撮影画像の概念図である。画像表示装置１５のディスプレイ画面は３分割され、各区画に、上述した第１の面Ｍ１の全体画像（右下）、ポール付近（図中Ａ部）の拡大画像（右上）、および第２の面Ｍ２の全体画像（左）が同時に表示される。チッピング等の欠陥部Ｃ１，Ｃ２は同時に表示され、スライダ番号Ｎ１も同時に表示されるので、欠陥の有無と、ローバーまたはスライダの特定が容易である。３つの画像を同時に表示する代わりに、一つ一つの画像をディスプレイ画面全体に順次表示してもよく、２つの画像のみを選択して同時に表示してもよい。

（ステップＳ４）一つのスライダＳの第１および第２の面Ｍ１，Ｍ２の検査が終了すると、トレイ１６を長手方向ｘに移動し、別のスライダＳの第１および第２の面Ｍ１，Ｍ２を検査する。検査方法はステップＳ３と同様である。

（ステップＳ５）一つのローバーＢの検査が終了すると、トレイ１６を方向ｙに移動し、別のローバーＢを検査する。具体的にはステップＳ３，Ｓ４を繰り返す。

（ステップＳ６）すべてのローバーＢの検査が終了すると、トレイ１６を初期位置まで下降させる。

以上説明した検査方法では、検査対象スライダの切替えを、主としてトレイ１６の移動によって行ったが、カメラ１１，１２の移動によっておこなうこともできる。すなわち、ローバーＢの一つのスライダＳの第１および第２の面Ｍ１，Ｍ２の検査が終了したら、第１および第２のカメラ１１，１２を長手方向ｘに移動し、別のスライダＳの第１および第２の面Ｍ１，Ｍ２を検査してもよい。同様に、検査対象ローバーの切替えも、カメラ１１，１２の移動によっておこなうことができる。すなわち、一つのローバーＢの検査が終了したら、第１および第２のカメラ１１，１２を方向ｙに移動し、別のローバーＢを検査してもよい。この場合、方向ｙへの移動は方向ｙ’への移動と、方向ｚ’への移動を組み合わせておこなうことができる。

上記の検査方法では、媒体対向面と成膜面を同時に観察する方法を述べたが、さらにそれ以外の面を同時に観察することもできる。例えば、第３の面Ｍ３は、ウエハ裏面側の面（成膜面の裏面）であるが、この面にはウエハ番号が付記されている場合がある。この場合、方法としては以下の２つがある。

第１の方法は、トレイを上下反対にする方法である。すなわち、トレイを図１に示す状態から天地逆にする。この場合、ローバーがトレイから落下しない方策を講じておくことが望ましい。具体的には、ローバーをトレイに設置後、ローバーの上から落下防止用のカバーをかけることが望ましい。あるいは前述の真空吸着など適宜の方法でローバーＢを段差１７にしっかりと固定してもよい。

第２の方法は、トレイの下側にもカメラを設ける方法である。具体的には、図３に破線で示したように、第３の面Ｍ３から延びる第３の法線ベクトルＶ３の線上に第３のカメラ１３を設け、第３のカメラ１３によって第３の面Ｍ３を検査する。これによって、３台のカメラを用いて、スライダＳの第１〜第３の面Ｍ１〜Ｍ３を同時に検査することが可能となる。さらに、第４の面Ｍ４から延びる第４の法線ベクトルＶ４の線上に第４のカメラ１４を設ければ、スライダＳの第４の面Ｍ４を検査することもできる。この結果、４台のカメラを用いて、第１〜第４の面Ｍ１〜Ｍ４を同時に検査することが可能となる。第３，第４のカメラ１３，１４は必ずしも第３，第４の法線ベクトルＶ３、Ｖ４の線上に設けられている必要はなく、第３，第４の面Ｍ３、Ｍ４を適切に撮影できれば第３，第４の法線ベクトルＶ３、Ｖ４から多少ずれていてもよい。これらの場合、画像表示装置１５には必要に応じて第３および第４の面Ｍ３，Ｍ４の画像情報も同時に表示できることはいうまでもない。なお、第２の方法を用いる場合、トレイ１６には底面が設けられていないことが必要である。

以上説明したように、本実施形態のスライダの検査装置および検査方法によれば、効率的かつ信頼性の高い方法で、スライダの多面をローバーの状態で同時に検査することが可能である。すなわち、ローバーはトレイに斜めに収納されるので、同時に２面を検査することができる。このため、ピンセット等の接触により媒体対向面に検査による損傷が生じるおそれが少ない。各面の検査結果を同時に画像表示装置に表示することができるため、不良スライダの特定が容易であり、作業効率も高まる。チッピングやコンタミの不良は、検査する各面で相関がある場合が多いが、各面の検査情報が同時に表示されるためも解析や原因究明も容易となる。作業効率が向上することから、光学顕微鏡を用いた検査装置を多数設置する必要性も減り、作業スペースの削減にも寄与する。

また、本実施形態では、スライダの媒体対向面がほぼ上方を向いた状態でローバーを保管することができる。スライダの媒体対向面を上方に向けた状態での工程は比較的多いため、このようなローバーの保管方法を採用できることはメリットがある。従来は、スライダ番号を頻繁に確認する必要があったことから、それを優先して成膜面を上に向ける方法が取られることが多かった。しかし、本実施形態では、成膜面に付記されたスライダ番号を容易に識別することができるため、成膜面を上に向けて保管する必要性は小さく、プロセス上有利な第１の面を上方に向けた保管が可能となる。

さらに、本発明はローバーの状態ではなく、スライダを単体の状態で１つずつ、あるいは複数のスライダをホルダにバー状に配列した状態で実施することもできる。

本発明に係るスライダ検査装置の全体構成図である。 図１の２−２線に沿ったスライダ検査装置の断面図である。 図２のＡ部の部分詳細図である。 図１の４−４線からみたスライダ検査装置の上面図である。 本発明に係るスライダの検査方法のフローチャートである。 画像表示装置に表示された各カメラの撮影画像の概念図である。 従来用いられてきたトレイの一例を示す斜視図である。

符号の説明

１ スライダ検査装置
１１ 第１のカメラ
１２ 第２のカメラ
１３ 第３のカメラ
１４ 第４のカメラ
１５ 画像表示装置
１６ トレイ
１７ 段差
Ｂ ローバー
Ｍ１ 第１の面
Ｍ２ 第２の面
Ｍ３ 第３の面
Ｍ４ 第４の面
Ｓ スライダ
Ｖ１ 第１の法線ベクトル
Ｖ２ 第２の法線ベクトル
Ｖ３ 第３の法線ベクトル
Ｖ４ 第４の法線ベクトル

Claims (11)

1. スライダを、複数個の矩形状のスライダが長手方向に一列に配列されたローバーの状態で検査する方法であって、
   前記ローバーの長手方向両側端面を除く前記スライダの４つの面を各々始点として該スライダの外側に延びる４つの法線ベクトルのうち、第１の面から延びる第１の法線ベクトルと、該第１の面と隣接する第２の面から延びる第２の法線ベクトルとがともに鉛直方向上向きの成分を持つように該ローバーを支持する支持ステップと、
   第１の検査手段によって、支持された前記ローバーの前記スライダの前記第１の面を光学的に検査するとともに、第２の検査手段によって前記第２の面を光学的に検査する検査ステップと、
   を有する、スライダの検査方法。
2. 前記検査ステップは、トレイに支持された前記ローバーの一つのスライダの前記第１および第２の面を検査したのち、該トレイを前記長手方向に移動し、別のスライダの前記第１および第２の面を検査することを含む、請求項１に記載のスライダの検査方法。
3. 前記支持ステップは、複数の前記ローバーを、各ローバーの長手方向軸が互いに平行移動の位置となるようにトレイで支持することを含み、
   前記検査ステップは、一つの前記ローバーを検査した後、前記トレイを前記長手方向と直交する方向に移動し、別の前記ローバーを検査することを含む、請求項１に記載のスライダの検査方法。
4. 前記検査ステップは、前記ローバーの一つのスライダの前記第１および第２の面を検査したのち、前記第１および第２の検査手段を前記長手方向に移動し、別のスライダの前記第１および第２の面を検査することを含む、請求項１に記載のスライダの検査方法。
5. 前記支持ステップは、複数の前記ローバーを、各ローバーの長手方向軸が互いに平行移動の位置となるように支持することを含み、
   前記検査ステップは、一つの前記ローバーを検査した後、前記第１および第２の検査手段を前記長手方向と直交する方向に移動し、別の前記ローバーを検査することを含む、請求項１に記載のスライダの検査方法。
6. 前記第１の検査手段は前記第１の法線ベクトルの線上に設けられ、
   前記第２の検査手段は前記第２の法線ベクトルの線上に設けられている、
   請求項１から５のいずれか１項に記載のスライダの検査方法。
7. 前記検査ステップは、前記スライダの第３の面から延びる第３の法線ベクトルの線上に設けられた第３の検査手段によって、前記第１および第２の面とともに該第３の面を検査することを含む、請求項１から６のいずれか１項に記載のスライダの検査方法。
8. 前記検査ステップは、前記スライダの第４の面から延びる第４の法線ベクトルの線上に設けられた第４の検査手段によって、前記第１、第２、および第３の面とともに該第４の面を検査することを含む、請求項７に記載のスライダの検査方法。
9. 前記検査ステップは、検査した前記ローバーの各面の状況を一つの画像表示装置に同時に表示することを含む、請求項１から８のいずれか１項に記載のスライダの検査方法。
10. 前記ローバーの第１の面は、スライダの媒体対向面、または媒体対向面となるべき面である、請求項１から９のいずれか１項に記載のスライダの検査方法。
11. スライダを、複数個の矩形状のスライダが長手方向に一列に配列されたローバーの状態で検査する装置であって、
    前記ローバーの長手方向両側端面を除く前記スライダの４つの面を各々始点として該スライダの外側に延びる４つの法線ベクトルのうち、第１の面から延びる第１の法線ベクトルと、該第１の面と隣接する第２の面から延びる第２の法線ベクトルとがともに鉛直方向上向きの成分を持つように該ローバーを支持することができるトレイと、
    前記第１の法線ベクトルの線上に設けられた第１の検査手段と、
    前記第２の法線ベクトルの線上に設けられた第２の検査手段と、
    を有する、スライダの検査装置。

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