JP6765930B2 - 加工装置 - Google Patents
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Description
21 保持テーブル
31 カセットステージ
32 カセットステージの載置面
33 位置決め部
41 撮像手段
43 抽出手段
44 認識手段
54 カセットの棚
55 カセットの開口
61 第1の切り欠き辺
62 第2の切り欠き辺
63 第3の切り欠き辺
C カセット
F リングフレーム
T ダイシングテープ
W ウエーハ
WU 被加工物
Claims (2)
- 板状の被加工物を載置して棚状に収容する棚と被加工物を出し入れ可能とする開口とを有するカセットと、該カセットを所定の位置に載置する載置面と位置決め部とを有するカセットステージと、該被加工物を保持する保持テーブルと、該保持テーブルが保持した被加工物を加工する加工手段と、該保持テーブルと該カセットステージに載置される該カセットとに被加工物を搬送する搬送手段と、を備える加工装置であって、
該カセットを撮像する撮像手段と、該撮像手段が撮像した撮像画から該カセット及び被加工物の特徴部分を抽出する抽出手段と、該カセット及び被加工物の特徴部分に基づいて該カセットの載置状態及び被加工物の収容状態を認識する認識手段とを備え、
被加工物は、
中央に円開口を有するリングフレームの該円開口を塞いでダイシングテープを貼着し該円開口のダイシングテープにウエーハを貼着していて、
該リングフレームは、該リングフレームの中心を中心として90度ごと角度違いで外周部の少なくとも3か所が直線に切り欠かれていて向かい合う2つの第1の切り欠き辺と第2の切り欠き辺と、該第1の切り欠き辺と該第2の切り欠き辺とに直交する方向の第3の切り欠き辺との3つの切り欠き辺を備え、
該カセットに収容される該被加工物は、該カセットの側壁と該第1の切り欠き辺と該第2の切り欠き辺とで該リングフレームの中心を軸にした回転方向が規制され該開口側に該第3の切り欠き辺が向けられていて、
該抽出手段は、該撮像手段が撮像した撮像画から被加工物の特徴部分として該第3の切り欠き辺を抽出し、
該認識手段は、撮像画から抽出された該第3の切り欠き辺の傾きに基づいて該カセットに収容された被加工物が傾いて収容されているか否か、及び撮像画から抽出された該第3の切り欠き辺の長さに基づいて該カセットに収容された被加工物が該カセットの開口から飛び出しているか否かを認識する加工装置。 - 板状の被加工物を載置して棚状に収容する棚と被加工物を出し入れ可能とする開口とを有するカセットと、該カセットを所定の位置に載置する載置面と位置決め部とを有するカセットステージと、該被加工物を保持する保持テーブルと、該保持テーブルが保持した被加工物を加工する加工手段と、該保持テーブルと該カセットステージに載置される該カセットとに被加工物を搬送する搬送手段と、を備える加工装置であって、
該カセットを撮像する撮像手段と、該撮像手段が撮像した撮像画から該カセット及び被加工物の特徴部分を抽出する抽出手段と、該カセット及び被加工物の特徴部分に基づいて該カセットの載置状態を少なくとも認識する認識手段とを備え、
該抽出手段は、該撮像手段が撮像した撮像画から該カセットの特徴部分として該カセットの側壁を抽出し、
該認識手段は、撮像画から抽出された該側壁が傾いているか否かで、該カセットが正常に載置しているか否かを認識する加工装置。
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JP2016205120A JP6765930B2 (ja) | 2016-10-19 | 2016-10-19 | 加工装置 |
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Family Applications (1)
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