JP2008135455A - チップ移載装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複数のチップに分割されたウェハを載置して、X方向及びY方向に移動可能なステージと、そのステージに載置されたウェハからチップ毎にピックアップする、Z方向に移動可能なコレットと、そのコレットを8つ配設し、X方向及びY方向に移動可能であり且つ回転可能なヘッドと、コレットを画像を通じて監視するモニタと、を具備するチップ移載装置10の提供による。
【選択図】図1
Description
2,2a,2b,2c,2d コレット
3 ヘッド
4 カメラ
5 ウェハ
6 チップ
7 ステージ
8 イオナイザ
9 ブラシ
Claims (5)
- 複数のチップに分割されたウェハを載置する、X方向及びY方向に移動可能なステージと、そのステージに載置されたウェハからチップ毎にピックアップする、Z方向に移動可能なコレットと、そのコレットを3以上配設した回転可能なヘッドと、前記コレットを画像を通じて監視するモニタと、を具備するチップ移載装置。
- 前記コレットに付着した異物を除去するクリーナAを具備する請求項1に記載のチップ移載装置。
- 前記チップに付着した異物を除去するクリーナBを具備する請求項1又は2に記載のチップ移載装置。
- 前記チップが、
膜状の圧電体、及びその圧電体を挟んだ下部電極及び上部電極、を含む積層構造を有する圧電素子である請求項1〜3の何れか一項に記載のチップ移載装置。 - 前記チップが、
薄肉ダイヤフラム部、及びその薄肉ダイヤフラム部の周縁に一体的に架設された厚肉部、を有し、それら薄肉ダイヤフラム部及び厚肉部によって、外部に連通した空洞が形成されたセラミック基体と、
そのセラミック基体の位置の面に形成された、膜状の圧電体、及びその圧電体を挟んだ下部電極及び上部電極、を含む積層構造を有する圧電素子と、
からなる圧電デバイスである請求項1〜4の何れか一項に記載のチップ移載装置。
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JP2006318707A JP2008135455A (ja) | 2006-11-27 | 2006-11-27 | チップ移載装置 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN109860080A (zh) * | 2018-12-28 | 2019-06-07 | 浙江中晶新能源有限公司 | 一种硅片的定位输送装置 |
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2006
- 2006-11-27 JP JP2006318707A patent/JP2008135455A/ja active Pending
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