JP2008127252A - 窒化物半導体インゴット及びこれから得られる窒化物半導体基板並びに窒化物半導体インゴットの製造方法 - Google Patents
窒化物半導体インゴット及びこれから得られる窒化物半導体基板並びに窒化物半導体インゴットの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008127252A JP2008127252A JP2006315335A JP2006315335A JP2008127252A JP 2008127252 A JP2008127252 A JP 2008127252A JP 2006315335 A JP2006315335 A JP 2006315335A JP 2006315335 A JP2006315335 A JP 2006315335A JP 2008127252 A JP2008127252 A JP 2008127252A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- nitride semiconductor
- ingot
- substrate
- diameter
- semiconductor ingot
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B29/00—Single crystals or homogeneous polycrystalline material with defined structure characterised by the material or by their shape
- C30B29/10—Inorganic compounds or compositions
- C30B29/40—AIIIBV compounds wherein A is B, Al, Ga, In or Tl and B is N, P, As, Sb or Bi
- C30B29/403—AIII-nitrides
- C30B29/406—Gallium nitride
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B25/00—Single-crystal growth by chemical reaction of reactive gases, e.g. chemical vapour-deposition growth
Abstract
【解決手段】窒化物半導体インゴットは、ハイドライド気相成長(HVPE)炉1を用いて製造され、20mmを超える長さ及び2インチ以上の直径を有し、最表面の転位密度が1.5×106cm-2以下である。これによりGaNインゴット中の内部応力が顕著に緩和される。
【選択図】図3
Description
一般に、異種基板上のHVPE成長のように、Volmer−Weber様式の成長過程(薄膜成長過程の初期段階において、3次元的な島状膜が形成される)によって得られたGaN基板は表面からみて凹面に反っている。研磨によって外見上平坦になるように加工しても、結晶の格子面は反ったままであり、結晶方位の面内ばらつきを内在している。そのような基板を種結晶としてインゴットの成長を行うと、格子点の数が変わらないにも関わらず、成長表面の面積が縮小するため、圧縮応力が生じる原因となる。例えば、厚さ3.5mmのGaNが曲率半径30mで撓んだ場合、単純な歪み量とフックの法則から、表面側の圧縮応力は約17.5MPa程度と見積もられる。臨界厚hcは応力σの二乗に逆比例し、次のように表される。
図1は、種基板の結晶格子の反りの曲率半径とその種基板を用いてインゴットを製造する場合のインゴットの臨界厚(最外部から3mmを除く部分にクラックを含まないインゴットが得られるインゴットの最大厚さ)との相関を調べた結果を示す図である。インゴットの製造条件は後述する第1の実施の形態と同様の条件で種基板の曲率半径のみ変えて行った。曲率半径が20m以上の種基板を用いることで急激に臨界厚が増大し、14mmを超える臨界厚が得られることが明らかになった。また、曲率半径が30m以上の種基板を用いることで、従来に無い20mm以上の臨界厚が得られることがわかった。これに関しては、元々反りの小さい種基板を用いても良く、反りがある程度大きい種基板であっても、機械的に押さえつけるなどの手段によって反りを矯正しても良い。
内部応力が生じても、種基板が変形すれば応力は緩和される。種基板が厚く、剛性が大きい場合には応力が緩和されず、臨界厚は小さくなる。薄い種基板を用いれば、応力の発生に応じて速やかに変形が生じ、応力が緩和される。すると、格子面が平坦に近づくため、新たな応力の発生も同時に抑制することが可能である。具体的に種基板をどれほど薄くする必要があるかは、格子の曲率半径や成長条件等によって変わるので一概には言えないが、250μm以下にすることによって顕著な効果を発揮する。薄いほうには原理的には下限値は無いが、ハンドリングで割れないようにするためには100μm以上の厚さを有することが望ましい。
GaNを厚く成長するのに従って、転位密度が減少することが知られている。刃状成分をもつ転位が減少すると、それに伴って余剰の半格子面が減少する。そのため、成長進行に伴って結晶の体積が減少し、応力が発生する原因となる。
Ga及びNサイトが、よりイオン半径の大きい不純物によって置換されれば平均的な格子定数は増大し、小さい不純物によって置換されれば収縮する。空孔もそのような体積変化の原因となる。従って、結晶中に不純物や点欠陥の濃度分布が存在すると、内部応力の原因となる。具体的には、原料やドーパントガスの偏流による空間的な不均一と、原料ノズルや炉壁への多結晶の堆積や、超厚膜化に伴う成長表面位置の移動に伴う成長速度等の時間的な変動に起因する不均一とがある。
結晶の成長方向又は面内方向に非線形な温度分布が生じると、熱応力が発生し、結晶の変形やクラック発生の原因となる。このため、炉内の温度分布を均一にすることが非常に重要である。
図3は、本発明の第1の実施の形態に係る窒化物半導体インゴットの製造方法に用いるHVPE炉を模式化して示す図である。
これに対し、直径50.8mm,厚さ420μmのGaN基板を種基板として、HVPE法によって同様の成長条件で厚さ3.6mmのインゴットの成長を試みた。X線回折法によって種基板の結晶格子の反りを調べたところ、その曲率半径は約10mであった。
以上説明した第1の実施の形態によれば、次に示す効果が得られる。
第1の実施の形態において得られたGaNインゴットをワイヤソーを用いてスライスし、それらの両面を研磨することによって新たに直径50.8mm,厚さ200μmのGaN基板を得た。これを種基板として、HVPE法によってインゴットの成長を試みた。この種基板の転位密度は7×105cm-2であった。第2の実施の形態においても成長速度は時間に比例して増大し、成長終了直前では1.8mm/hであった。X線回折法によって種基板の結晶格子の反りを調べたところ、その曲率半径は約60mであった。
上記した第2の実施の形態によれば、第1の実施の形態の効果と同様にGaNインゴット中の内部応力が顕著に緩和され、GaNインゴットの長尺化、コストの低廉化、GaNインゴット及びGaN基板の高品質化を図ることができる。
HVPE成長炉のGa融液部(すなわち、GaCl発生部)の温度を成長部(析出部)と同じ1073℃に設定し、炉内温度分布の均一化をはかり、第2の実施の形態と同様にして厚さ200μmのGaN基板を種基板として用い、GaNインゴットの成長を試みたところ、最長で29mmと、最外部から3mmを除く部分にクラックを含まないインゴットをさらに長尺化することができた。第3の実施の形態においても成長速度は時間に比例して増大し、成長終了直前では1.8mm/hであった。炉内温度分布が改善され、熱応力が減少したことが、さらなる長尺化ができた原因と考えられる。実際、SIMS分析および陽電子消滅法によってインゴット中の不純物及び空孔濃度の総量を調べたところ、頭部でも尾部でも4×1018cm-3であり、非常に均質であることがわかった。得られた結晶の転位密度をカソードルミネセンス法によって調べたところ、種基板の表面から29mmの位置において3×105cm-2にまで減少していることがわかった。
上記した第3の実施の形態によれば、第1の実施の形態の効果と同様にGaNインゴット中の内部応力が顕著に緩和され、GaNインゴットの長尺化、コストの低廉化、GaNインゴット及びGaN基板の高品質化を図ることができる。
HVPE炉の原料ノズルに多結晶堆積防止のパージ機構を設け、また成長速度と同じ速度で基板位置を後退させ、成長表面を炉内の常に同じ位置になるように制御を加えた上で第3の実施の形態と同様にしてGaNインゴットの成長を試みたところ、最長で31mmと、最外部から3mmを除く部分にクラックを含まないインゴットをさらに長尺化することができた。結晶の長さは設計値と一致し、成長中の成長速度変動が抑制できており、不純物や空孔濃度の変動に起因する内部応力の発生が抑えられたことが長尺化できた原因と考えられる。得られた結晶の転位密度をカソードルミネセンス法によって調べたところ、種基板の表面から31mmの位置において2×105cm-2にまで減少していることがわかった。
上記した第4の実施の形態によれば、第1の実施の形態の効果と同様にGaNインゴット中の内部応力が顕著に緩和され、GaNインゴットの長尺化、コストの低廉化、GaNインゴット及びGaN基板の高品質化を図ることができる。
Claims (11)
- 窒化物半導体で形成されて20mmを超える長さ及び50.8mm以上の直径を有し、最外部から3mmを除く部分にクラックを含まないことを特徴とする窒化物半導体インゴット。
- 前記窒化物半導体は、転位密度の最小値が1.5×106cm-2以下である請求項1に記載の窒化物半導体インゴット。
- 窒化物半導体で形成されて20mmを超える長さ及び50.8mm以上の直径を有し、最外部から3mmを除く部分にクラックを含まない窒化物半導体インゴットをスライスすることにより得られ、25.4mm以上の直径と0.2mm以上の厚さを有することを特徴とする窒化物半導体基板。
- 窒化物半導体で形成されて20mmを超える長さ及び50.8mm以上の直径を有し、最外部から3mmを除く部分にクラックを含まない窒化物半導体インゴットをスライスすることにより得られ、25.4mm以上の直径と0.2mm以上の厚さを有し、表面と、前記表面との平行度が最も高い低指数面とのなす角度の、基板面内における最大値と最小値との差が0.05度以下であることを特徴とする窒化物半導体基板。
- 前記窒化物半導体基板の転位密度が1.5×106cm-2以下である請求項3または4に記載の窒化物半導体基板。
- 成長炉内に厚さが100μm以上250μm以下である種基板を配置する工程と、
前記種基板上に窒化物半導体を析出させることによって20mmを超える長さ及び50.8mm以上の直径を有し、最外部から3mmを除く部分にクラックを含まない窒化物半導体インゴットを成長させる工程とを含むことを特徴とする窒化物半導体インゴットの製造方法。 - 成長炉内に格子面の反りの曲率半径が20m以上である種基板を配置する工程と、
前記種基板上に窒化物半導体を析出させることによって20mmを超える長さ及び50.8mm以上の直径を有し、最外部から3mmを除く部分にクラックを含まない窒化物半導体インゴットを成長させる工程とを含むことを特徴とする窒化物半導体インゴットの製造方法。 - 成長炉内に転位密度が2×106cm-2以下である種基板を配置する工程と、
前記種基板上に窒化物半導体を析出させることによって20mmを超える長さ及び50.8mm以上の直径を有し、最外部から3mmを除く部分にクラックを含まない窒化物半導体インゴットを成長させる工程とを含むことを特徴とする窒化物半導体インゴットの製造方法。 - 成長炉内に種基板を配置する工程と、
前記成長炉内にGaを配置し、HClガスを導入する工程と、
前記成長炉内にNH3を導入する工程と、
前記HClと前記GaからGaClを発生させるGaCl発生部の温度と前記成長炉内でGaNを析出させる成長部の温度とが等しくなるように温度条件を制御する工程と、
前記温度条件下で前記種基板上に20mmを超える長さ及び50.8mm以上の直径を有し、最外部から3mmを除く部分にクラックを含まない窒化物半導体インゴットを成長させる工程とを含むことを特徴とする窒化物半導体インゴットの製造方法。 - 成長炉内に種基板を配置する工程と、
前記成長炉内にGaClを導入する工程と、
前記成長炉内にNH3を導入する工程と、
前記成長炉内で前記GaClと前記NH3の供給に基づいて成長させるインゴットの成長速度変動を5%以下に制御する工程と、
前記成長速度変動条件下で前記種基板上に20mmを超える長さ及び50.8mm以上の直径を有し、最外部から3mmを除く部分にクラックを含まない窒化物半導体インゴットを成長させる工程とを含むことを特徴とする窒化物半導体インゴットの製造方法。 - 成長させた前記窒化物半導体インゴットの転位密度の最小値が1.5×106cm-2である請求項6,7,8,9,または10に記載の窒化物半導体インゴットの製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006315335A JP2008127252A (ja) | 2006-11-22 | 2006-11-22 | 窒化物半導体インゴット及びこれから得られる窒化物半導体基板並びに窒化物半導体インゴットの製造方法 |
US11/806,983 US20080118733A1 (en) | 2006-11-22 | 2007-06-05 | Nitride semiconductor ingot, nitride semiconductor substrate fabricated from the same and method for making nitride semiconductor ingot |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006315335A JP2008127252A (ja) | 2006-11-22 | 2006-11-22 | 窒化物半導体インゴット及びこれから得られる窒化物半導体基板並びに窒化物半導体インゴットの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008127252A true JP2008127252A (ja) | 2008-06-05 |
JP2008127252A5 JP2008127252A5 (ja) | 2010-06-17 |
Family
ID=39417303
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006315335A Pending JP2008127252A (ja) | 2006-11-22 | 2006-11-22 | 窒化物半導体インゴット及びこれから得られる窒化物半導体基板並びに窒化物半導体インゴットの製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20080118733A1 (ja) |
JP (1) | JP2008127252A (ja) |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011513179A (ja) * | 2008-06-12 | 2011-04-28 | シックスポイント マテリアルズ, インコーポレイテッド | Iii族窒化物ウェハーを試験する方法および試験データを伴うiii族窒化物ウェハー |
JP2012197194A (ja) * | 2011-03-18 | 2012-10-18 | Ricoh Co Ltd | 13族窒化物結晶の製造方法、13族窒化物結晶基板の製造方法、13族窒化物結晶および13族窒化物結晶基板 |
JP2013216538A (ja) * | 2012-04-09 | 2013-10-24 | Furukawa Co Ltd | Iii族窒化物半導体基板、iii族窒化物半導体基板の製造方法、及び、半導体デバイスの製造方法 |
US8728234B2 (en) | 2008-06-04 | 2014-05-20 | Sixpoint Materials, Inc. | Methods for producing improved crystallinity group III-nitride crystals from initial group III-nitride seed by ammonothermal growth |
US8852341B2 (en) | 2008-11-24 | 2014-10-07 | Sixpoint Materials, Inc. | Methods for producing GaN nutrient for ammonothermal growth |
US9441311B2 (en) | 2006-04-07 | 2016-09-13 | Sixpoint Materials, Inc. | Growth reactor for gallium-nitride crystals using ammonia and hydrogen chloride |
US9803293B2 (en) | 2008-02-25 | 2017-10-31 | Sixpoint Materials, Inc. | Method for producing group III-nitride wafers and group III-nitride wafers |
US10087548B2 (en) | 2006-04-07 | 2018-10-02 | Sixpoint Materials, Inc. | High-pressure vessel for growing group III nitride crystals and method of growing group III nitride crystals using high-pressure vessel and group III nitride crystal |
US10100434B2 (en) | 2014-04-14 | 2018-10-16 | Sumitomo Chemical Company, Limited | Nitride semiconductor single crystal substrate manufacturing method |
US10253432B2 (en) | 2014-01-28 | 2019-04-09 | Sumitomo Chemical Company, Limited | Semiconductor substrate manufacturing method |
JP2021031329A (ja) * | 2019-08-23 | 2021-03-01 | 三菱ケミカル株式会社 | c面GaN基板 |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2010045567A1 (en) * | 2008-10-16 | 2010-04-22 | Sixpoint Materials, Inc. | Reactor design for growing group iii nitride crystals and method of growing group iii nitride crystals |
CN104641453B (zh) | 2012-10-12 | 2018-03-30 | 住友电气工业株式会社 | Iii族氮化物复合衬底及其制造方法以及制造iii族氮化物半导体器件的方法 |
JP6553765B1 (ja) * | 2018-03-20 | 2019-07-31 | 株式会社サイオクス | 結晶基板の製造方法および結晶基板 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001102307A (ja) * | 1999-09-28 | 2001-04-13 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 単結晶GaNの結晶成長方法及び単結晶GaN基板の製造方法と単結晶GaN基板 |
JP2003133649A (ja) * | 2001-10-29 | 2003-05-09 | Sharp Corp | 窒化物半導体レーザ素子及び窒化物半導体レーザ素子の製造方法及びこれを備えた半導体光学装置 |
JP2006290677A (ja) * | 2005-04-11 | 2006-10-26 | Hitachi Cable Ltd | 窒化物系化合物半導体結晶の製造方法及び窒化物系化合物半導体基板の製造方法 |
JP2006290697A (ja) * | 2005-04-14 | 2006-10-26 | Hitachi Cable Ltd | 窒化物半導体基板及びその製造方法 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE69126152T2 (de) * | 1990-02-28 | 1997-11-13 | Toyoda Gosei Kk | Lichtemittierende Halbleitervorrichtung mit Gallium-Nitrid-Verbindung |
US6362017B1 (en) * | 1990-02-28 | 2002-03-26 | Toyoda Gosei Co., Ltd. | Light-emitting semiconductor device using gallium nitride group compound |
TW417315B (en) * | 1998-06-18 | 2001-01-01 | Sumitomo Electric Industries | GaN single crystal substrate and its manufacture method of the same |
JP3631724B2 (ja) * | 2001-03-27 | 2005-03-23 | 日本電気株式会社 | Iii族窒化物半導体基板およびその製造方法 |
JP3886341B2 (ja) * | 2001-05-21 | 2007-02-28 | 日本電気株式会社 | 窒化ガリウム結晶基板の製造方法及び窒化ガリウム結晶基板 |
WO2006107769A2 (en) * | 2005-04-01 | 2006-10-12 | Gt Solar Incorporated | Solidification of crystalline silicon from reusable crucible molds |
-
2006
- 2006-11-22 JP JP2006315335A patent/JP2008127252A/ja active Pending
-
2007
- 2007-06-05 US US11/806,983 patent/US20080118733A1/en not_active Abandoned
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001102307A (ja) * | 1999-09-28 | 2001-04-13 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 単結晶GaNの結晶成長方法及び単結晶GaN基板の製造方法と単結晶GaN基板 |
JP2003133649A (ja) * | 2001-10-29 | 2003-05-09 | Sharp Corp | 窒化物半導体レーザ素子及び窒化物半導体レーザ素子の製造方法及びこれを備えた半導体光学装置 |
JP2006290677A (ja) * | 2005-04-11 | 2006-10-26 | Hitachi Cable Ltd | 窒化物系化合物半導体結晶の製造方法及び窒化物系化合物半導体基板の製造方法 |
JP2006290697A (ja) * | 2005-04-14 | 2006-10-26 | Hitachi Cable Ltd | 窒化物半導体基板及びその製造方法 |
Cited By (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10087548B2 (en) | 2006-04-07 | 2018-10-02 | Sixpoint Materials, Inc. | High-pressure vessel for growing group III nitride crystals and method of growing group III nitride crystals using high-pressure vessel and group III nitride crystal |
US9441311B2 (en) | 2006-04-07 | 2016-09-13 | Sixpoint Materials, Inc. | Growth reactor for gallium-nitride crystals using ammonia and hydrogen chloride |
US9803293B2 (en) | 2008-02-25 | 2017-10-31 | Sixpoint Materials, Inc. | Method for producing group III-nitride wafers and group III-nitride wafers |
US9985102B2 (en) | 2008-06-04 | 2018-05-29 | Sixpoint Materials, Inc. | Methods for producing improved crystallinity group III-nitride crystals from initial group III-nitride seed by ammonothermal growth |
US8728234B2 (en) | 2008-06-04 | 2014-05-20 | Sixpoint Materials, Inc. | Methods for producing improved crystallinity group III-nitride crystals from initial group III-nitride seed by ammonothermal growth |
US8557043B2 (en) | 2008-06-12 | 2013-10-15 | Sixpoint Materials, Inc. | Method for testing group III-nitride wafers and group III-nitride wafers with test data |
US8585822B2 (en) | 2008-06-12 | 2013-11-19 | Sixpoint Materials, Inc. | Method for testing group III-nitride wafers and group III-nitride wafers with test data |
JP2011513179A (ja) * | 2008-06-12 | 2011-04-28 | シックスポイント マテリアルズ, インコーポレイテッド | Iii族窒化物ウェハーを試験する方法および試験データを伴うiii族窒化物ウェハー |
US8852341B2 (en) | 2008-11-24 | 2014-10-07 | Sixpoint Materials, Inc. | Methods for producing GaN nutrient for ammonothermal growth |
JP2012197194A (ja) * | 2011-03-18 | 2012-10-18 | Ricoh Co Ltd | 13族窒化物結晶の製造方法、13族窒化物結晶基板の製造方法、13族窒化物結晶および13族窒化物結晶基板 |
JP2013216538A (ja) * | 2012-04-09 | 2013-10-24 | Furukawa Co Ltd | Iii族窒化物半導体基板、iii族窒化物半導体基板の製造方法、及び、半導体デバイスの製造方法 |
US10253432B2 (en) | 2014-01-28 | 2019-04-09 | Sumitomo Chemical Company, Limited | Semiconductor substrate manufacturing method |
US10100434B2 (en) | 2014-04-14 | 2018-10-16 | Sumitomo Chemical Company, Limited | Nitride semiconductor single crystal substrate manufacturing method |
JP2021031329A (ja) * | 2019-08-23 | 2021-03-01 | 三菱ケミカル株式会社 | c面GaN基板 |
JP7379931B2 (ja) | 2019-08-23 | 2023-11-15 | 三菱ケミカル株式会社 | c面GaN基板 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20080118733A1 (en) | 2008-05-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2008127252A (ja) | 窒化物半導体インゴット及びこれから得られる窒化物半導体基板並びに窒化物半導体インゴットの製造方法 | |
JP4682328B2 (ja) | 窒化ガリウム単結晶厚膜およびその製造方法 | |
JP5520056B2 (ja) | 中間層構造を有する窒化物半導体構造、及び中間層構造を有する窒化物半導体構造を製造する方法 | |
JP5885650B2 (ja) | 最初のiii族−窒化物種晶からの熱アンモニア成長による改善された結晶性のiii族−窒化物結晶を生成するための方法 | |
JP4712450B2 (ja) | AlN結晶の表面平坦性改善方法 | |
WO2016140074A1 (ja) | Iii族窒化物半導体結晶基板の製造方法 | |
JP4823856B2 (ja) | AlN系III族窒化物単結晶厚膜の作製方法 | |
US7728323B2 (en) | Nitride-based semiconductor substrate, method of making the same and epitaxial substrate for nitride-based semiconductor light emitting device | |
JP4862442B2 (ja) | Iii−v族窒化物系半導体基板の製造方法及びiii−v族窒化物系デバイスの製造方法 | |
US7575942B2 (en) | Epitaxial substrate, semiconductor element, manufacturing method for epitaxial substrate and method for unevenly distributing dislocations in group III nitride crystal | |
TWI437637B (zh) | 利用自我分裂來製造氮化鎵單晶基板的方法 | |
JP5079361B2 (ja) | AlGaN結晶層の形成方法 | |
KR101204029B1 (ko) | 질화갈륨 단결정 후막의 제조방법 | |
JP2009167053A (ja) | Iii族窒化物結晶の成長方法 | |
JP2009147271A (ja) | 基板製造方法およびiii族窒化物半導体結晶 | |
JP2007246331A (ja) | Iii−v族窒化物系半導体基板及びその製造方法 | |
US20060228819A1 (en) | Method of making nitride-based compound semiconductor crystal and substrate | |
JP4340866B2 (ja) | 窒化物半導体基板及びその製造方法 | |
JP5005266B2 (ja) | AlN結晶の作製方法およびAlN厚膜 | |
JP2011216548A (ja) | GaN系半導体エピタキシャル基板の製造方法 | |
JP4545389B2 (ja) | エピタキシャル基板およびiii族窒化物層群の転位低減方法 | |
JP2012121771A (ja) | 窒化ガリウム基板 | |
JP2007277062A (ja) | Iii族窒化物結晶基板の製造方法およびiii族窒化物結晶基板 | |
US20110215439A1 (en) | Epitaxial growth substrate, manufacturing method thereof, nitride-based compound semiconductor substrate, and nitride-based compound semiconductor self-supporting substrate | |
JP2009208989A (ja) | 化合物半導体基板およびその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20081219 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100423 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100707 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120214 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20120612 |