JP2008117806A - 半導体チップのピックアップ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】上面が粘着シート2の下面のピックアップされる半導体チップ3の周辺部分に対応する部分を吸着保持する吸着面に形成されたバックアップ体と、バックアップ体内に上下方向に駆動可能に設けられ粘着シートのピックアップされる半導体チップが貼着された部分の下面を押圧して半導体チップをバックアップ体の上面から押し上げる押し上げ体27と、ピックアップされる半導体チップの上面を吸着保持し押し上げ体によって押し上げられた半導体チップを粘着シートからピックアップする上部吸着ノズル8を具備し、
押し上げ体は、粘着シートを介して上記半導体チップを押し上げたときに、粘着シートに生じる張力によって周辺部分が下方へ弾性変形する柔らかさの弾性材料によって形成されている。
【選択図】 図6
Description
上面が上記粘着シートの下面のピックアップされる上記半導体チップの周辺部分に対応する部分を吸着保持する吸着面に形成されたバックアップ体と、
このバックアップ体内に上下方向に駆動可能に設けられ上記粘着シートのピックアップされる上記半導体チップが貼着された部分の下面を押圧して上記半導体チップを上記バックアップ体の上面から押し上げる押し上げ体と、
ピックアップされる上記半導体チップの上面を吸着保持し上記押し上げ体によって押し上げられた上記半導体チップを上記粘着シートからピックアップするピックアップ手段を具備し、
上記押し上げ体は、上記粘着シートを介して上記半導体チップを押し上げたときに、上記粘着シートに生じる張力によって周辺部分が下方へ弾性変形する柔らかさの弾性材料によって形成されていることを特徴とする半導体チップのピックアップ装置にある。
図1に示すピックアップ装置はバックアップユニット10を備えている。このバックアップユニット10はバックアップ体1を備えている。このバックアップ体1は、図示しないウエハリングに張設された粘着シート2の下面側に対向して設けられ、図示しないZ駆動源によってZ方向において、後述するごとくバックアップ体1の上面が粘着シート2の下面に接触する位置と、粘着シート2から離れた位置との間で駆動されるようになっている。
なお、吸着ノズル体4、バックアップユニット10などの駆動制御は、図示しない制御装置によって後述するように動作が制御される。
図1に示すようにバックアップ体1を、その上面が粘着シート2の下面に接触する位置まで上昇させたならば、図示しないウエハリングによって粘着シート2をX、Y方向に駆動し、ピックアップする半導体チップ3をバックアップ体1の開口部12の上方に位置決めする。つまり、半導体チップ3の中心が開口部12の中心に一致するよう位置決めする。
Claims (8)
- 粘着シートの上面に貼着された半導体チップをピックアップする半導体チップのピックアップ装置であって、
上面が上記粘着シートの下面のピックアップされる上記半導体チップの周辺部分に対応する部分を吸着保持する吸着面に形成されたバックアップ体と、
このバックアップ体内に上下方向に駆動可能に設けられ上記粘着シートのピックアップされる上記半導体チップが貼着された部分の下面を押圧して上記半導体チップを上記バックアップ体の上面から押し上げる押し上げ体と、
ピックアップされる上記半導体チップの上面を吸着保持し上記押し上げ体によって押し上げられた上記半導体チップを上記粘着シートからピックアップするピックアップ手段を具備し、
上記押し上げ体は、上記粘着シートを介して上記半導体チップを押し上げたときに、上記粘着シートに生じる張力によって周辺部分が下方へ弾性変形する柔らかさの弾性材料によって形成されていることを特徴とする半導体チップのピックアップ装置。 - 上記押し上げ体の上面には、周囲が上記半導体チップの外形よりも小さな環状壁によって囲まれた凹部が形成されていて、この凹部内には上記押し上げ体によって上記半導体チップを押し上げたときに、上記粘着シートの張力によって上記押し上げ体の周辺部以外の部分が弾性変形するのを制限する保持板が設けられていることを特徴とする請求項1記載の半導体チップのピックアップ装置。
- 上記保持板の厚さ寸法は、上記凹部の深さ寸法と同じ若しくはそれ以下であることを特徴とする請求項2記載の半導体チップのピックアップ装置。
- 上記保持板は円形若しくは楕円形であって、その上端縁は面取り加工されていることを特徴とする請求項2記載の半導体チップのピックアップ装置。
- 上記押し上げ体の上面の上記環状壁の外側の部分は、下方に向かって傾斜した傾斜面に形成されていることを特徴とする請求項2記載の半導体チップのピックアップ装置。
- 上記押し上げ体の上面の少なくとも上記環状壁の上端面及び上記傾斜面は低摩擦面に形成されていることを特徴とする請求項4記載の半導体チップのピックアップ装置。
- 軸方向に上下駆動される押し上げ軸を有し、この押上げ軸の上端には上面に上記押し上げ体が取付けられるとともに、上記押し上げ体の下端面の周辺部が外方へ突出する大きさの取付け盤が設けられていることを特徴とする請求項1記載の半導体チップのピックアップ装置。
- 上記半導体チップは矩形状であって、上記押し上げ体の上面に設けられた上記環状壁は上記半導体チップよりも小さな矩形状であることを特徴とする請求項2記載の半導体チップのピックアップ装置。
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