JP2008117643A - 荷電粒子ビーム装置のオートフォーカス方法、コンピュータプログラム、及び、記録媒体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】荷電粒子ビームが照射された試料からの2次荷粒子に基づいて画像信号を取得し試料像を形成する走査電子顕微鏡10のオートフォーカス方法である。オートフォーカス装置40として複数の走査ラインからなる1フレーム分の試料領域を走査するに際して収束手段を駆動して荷電粒子ビームの焦点位置を所定範囲にわたって移動させる画像情報取得工程と、得られた1フレーム内の焦点の変更された試料像に対し、画像信号を解析して適正な荷電粒子ビームの焦点位置を取得する焦点位置検出工程と、得られた焦点位置に荷電粒子ビーム照射するように収束手段を設定する焦点位置設定工程とを備える。
【選択図】図4
Description
また、ENiとの比較により、パターンが少ないと判断される場所を計算より除外することができる。
ここで各周期の鮮鋭度プロファイルを加算する。
Aiの最大値Amaxを求め、Amax/n<Aiとなる周期iのみを有効とする。(nは任意の定数)
11 鏡筒
12 電子線源
13 電子線
14 アライメントコイル
15 スティグコイル
16 対物レンズコイル
17 荷電粒子
18 検出器
20 試料室
21 試料
30 顕微鏡制御装置
35 画像表示装置
40 オートフォーカス装置
41 焦点位置変更装置
42 焦点位置検出装置
43 焦点位置設定装置
Claims (10)
- 焦点位置に荷電粒子ビームを収束する収束手段と前記荷電粒子ビームを2次元的に走査する走査手段とを備え、前記荷電粒子ビームが照射された試料からの2次荷電粒子に基づいて画像信号を取得し試料像を形成する荷電粒子ビーム装置のオートフォーカス方法において、
複数の走査ラインからなる1フレーム分の試料領域を走査するに際して前記収束手段を駆動して前記荷電粒子ビームの焦点位置を所定範囲にわたって移動させる画像情報取得工程と、
前記焦点移動中に得られた1フレームの前記試料像を表す画像信号を解析して適正な荷電粒子ビームの焦点位置を取得する焦点位置検出工程と、
前記収束手段を前記適正な焦点位置に設定する焦点位置設定工程とを備えることを特徴とする荷電粒子ビーム装置のオートフォーカス方法。 - 前記焦点位置変更工程では、前記試料の1フレームの領域において前記所定範囲において焦点位置の移動を複数回にわたり行い、各移動回における画像信号を取得し、
前記焦点位置検出工程では、前記各移動回における画像信号に基づいて適正な荷電粒子ビームの焦点位置を取得することを特徴とする請求項1記載の荷電ビーム装置のオートフォーカス方法。 - 前記画像情報取得工程では、前記焦点位置の移動を複数周期からなる鋸歯状波に基づいて行うことを特徴とする請求項1又は2記載の荷電粒子ビーム装置のオートフォーカス方法。
- 前記焦点位置検出工程では、前記試料像の鮮鋭度を表す画像信号のスコア値を求め、このスコア値に基づいて前記適正な焦点位置を取得することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか記載の荷電粒子ビーム装置のオートフォーカス方法。
- 前記焦点位置検知工程では、走査によって得られる複数回の画像信号から取得したスコア値を平均化して適正な焦点位置を得ることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか記載の荷電粒子ビーム装置のオートフォーカス方法。
- 前記焦点位置検出工程では、前記画像信号中に現れる試料像のエッジ数が所定数以下のとき、その画像信号を無視して前記スコア値を得ることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか記載の荷電粒子ビーム装置のオートフォーカス方法。
- 前記画像情報取得工程では、交差する方向に荷電粒子ビームを走査して1フレームの画像を複数取得し、
前記焦点位置検出工程では、前記複数の画像により適正な焦点位置を得ることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか記載の荷電粒子ビーム装置のオートフォーカス方法。 - 前記画像情報取得工程では、複数フレームの画像を得るものとし、各フレームでは、荷電粒子ビームの焦点位置の走査方向、偏向量、位置、及び、周期数の少なくとも一つを相違させて荷電粒子ビームを走査し、
前記焦点位置検出工程では、得られた複数フレームの画像に基づいて適正な焦点位置を得ることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか記載の荷電粒子ビーム装置のオートフォーカス方法。 - 前記請求項1乃至8のいずれか記載の荷電粒子ビーム装置のオートフォーカス方法をコンピュータで実行することを特徴とするコンピュータプログラム。
- 請求項9記載のプログラムを格納したことを特徴とする記録媒体。
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