JP2008114155A - 洗浄装置 - Google Patents

Abstract

【課題】被洗浄体から除去された汚れが被洗浄体に再び付着する事態を防止し得る洗浄装置を提供する。
【解決手段】洗浄槽１１と、洗浄槽１１内を減圧させる減圧機構と、洗浄槽１１に洗浄液７０を供給する液送ポンプ４と、洗浄槽１１の開口部１１ｃの縁部から溢れ出た洗浄液７０および汚れ９０を受け止める液受け部１２とを備え、液受け部１２は、開口部１１ｃの縁部よりも下側の位置において洗浄槽１１の側壁１１ｂを取り囲むようにして外向きに突出形成された鍔部１２ａと、鍔部１２ａの外周部に沿って立設されると共にその上端部が側壁１１ｂの縁部よりも上方に位置するよう形成された外周壁１２ｂとを備えて構成され、減圧機構は、液受け部１２の開口部１２ｃを覆う蓋部１３と、液受け部１２および洗浄槽１１内の気体を排気させる真空ポンプ３とを備えて構成されている。
【選択図】図２

Description

本発明は、被洗浄体を洗浄可能に構成されると共に、被洗浄体から除去された付着物を洗浄液と共に溢れ出させて排出可能に構成された洗浄装置に関するものである。

この種の洗浄装置として、特開平９−１０７１１号公報に開示された洗浄装置が知られている。この洗浄装置は、密閉可能なチャンバー、タンクに充填された洗浄液（有機系洗浄剤）をチャンバー内に注入する液送ポンプ、および密閉されたチャンバー内を減圧する真空ポンプ等を備えて構成されている。この洗浄装置を用いて被洗浄体（ワーク）を洗浄する際には、まず、被洗浄体をチャンバー内にセットした後にチャンバーを閉じて密閉状態にする。次いで、タンク内の洗浄液を配管を通してチャンバー内に注入し、被洗浄体を洗浄液に浸漬する。続いて、真空ポンプを用いてチャンバー内を減圧する。この際に、洗浄液に浸漬された被洗浄体の細部に残留している空気（エアートラップ）が気泡となって被洗浄体から遊離する。次いで、チャンバー内を大気圧に戻した後に、チャンバー内の洗浄液を配管を通してタンクに移す。続いて、上記の工程を複数回繰り返す。次いで、被洗浄体を乾燥させた後にチャンバーから取り出す。これにより、被洗浄体に付着していた汚れ（付着物）が除去されて洗浄が完了する。この場合、この洗浄装置では、上記したようにチャンバー内を減圧することで被洗浄体の細部に残留していた空気を被洗浄体から遊離させることができるため、被洗浄体の細部にまで洗浄液が浸入して、被洗浄体を細部に亘って十分に洗浄することが可能となっている。
特開平９−１０７１１号公報（第２−４頁、第１図）

ところが、上記の洗浄装置には、以下の問題点がある。すなわち、この洗浄装置では、洗浄に用いた洗浄液を配管を通してチャンバーからタンクに移し、その使用済みの洗浄液を繰り替えして用いて洗浄を行っている。このため、被洗浄体から除去されて洗浄液に浮遊している汚れ（付着物）が被洗浄体に再び付着することがあり、十分な洗浄が困難となるおそれがある。この場合、使用済みの洗浄液を浄化する装置を備えることもできるが、被洗浄体から除去された汚れが洗浄液の液面に浮遊しているときには、洗浄液をチャンバーからタンクに移す際に汚れがチャンバーの壁面に付着することがあり、被洗浄体への汚れの再付着を確実に防止するのは困難である。

一方、洗浄液の液面に浮遊している汚れを除去する方法として、チャンバーの上部側に排出孔を設けて、洗浄液の供給を所定時間継続することで、浮遊している汚れを洗浄液と共に排出孔から溢れ出させて排出する方法も考えられる。しかしながら、この方法では、例えば、液面の全面に汚れが広がって浮遊しているときには、排出孔から離れた位置に浮遊している汚れを全て排出させるのが困難なため、被洗浄体をチャンバーから取り出すときや、洗浄液をチャンバーから引き抜く際に液面が下がったときに、残った汚れが被洗浄体に再び付着するおそれが依然として存在する。

本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、被洗浄体から除去された汚れが被洗浄体に再び付着する事態を防止し得る洗浄装置を提供することを主目的とする。

上記目的を達成すべく請求項１記載の洗浄装置は、上部に開口部を有して洗浄液を貯留可能な洗浄槽と、前記洗浄槽内を減圧させる減圧機構と、前記洗浄槽に前記洗浄液を供給する供給部とを備えて、被洗浄体を洗浄可能に構成されると共に当該被洗浄体から除去された付着物を前記洗浄槽に対する前記洗浄液の供給によって前記開口部の縁部から当該洗浄液と共に溢れ出させて排出可能に構成され、前記開口部の縁部から溢れ出た前記洗浄液を受け止める液受け部を備え、前記液受け部は、前記洗浄槽の側壁における前記開口部の縁部よりも下側の位置において当該側壁を取り囲むようにして外向きに突出形成された鍔部と、前記鍔部の外周部に沿って立設されると共にその上端部が当該側壁の前記縁部よりも上方に位置するよう形成された外周壁とを備えて構成され、前記減圧機構は、前記液受け部における前記外周壁の前記上端部によって構成される開口部を覆う蓋部と、前記液受け部に形成された排気口から当該液受け部および前記洗浄槽内の気体を排気させる排気部とを備えて構成されている。

また、請求項２記載の洗浄装置は、上部に開口部を有して洗浄液を貯留可能な洗浄槽と、前記洗浄槽内を減圧させる減圧機構と、前記洗浄槽に前記洗浄液を供給する供給部とを備えて、被洗浄体を洗浄可能に構成されると共に当該被洗浄体から除去された付着物を前記洗浄槽に対する前記洗浄液の供給によって前記開口部の縁部から当該洗浄液と共に溢れ出させて排出可能に構成され、前記開口部の縁部から溢れ出た前記洗浄液を受け止める液受け部を備え、前記液受け部は、前記洗浄槽を収容可能でかつ上部が開口した収容容器で構成されると共に当該洗浄槽を収容した状態において当該収容容器の外周壁の上端部が当該洗浄槽の側壁における前記開口部の縁部よりも上方に位置するように構成され、前記減圧機構は、前記収容容器における前記外周壁の前記上端部によって構成される開口部を覆う蓋部と、前記収容容器に形成された排気口から当該収容容器および前記洗浄槽内の気体を排気させる排気部とを備えて構成されている。

また、請求項３記載の洗浄装置は、請求項１または２記載の洗浄装置において、前記液受け部によって受け止められた前記洗浄液を浄化する浄化部を備え、前記供給部は、前記浄化部によって浄化された前記洗浄液を前記洗浄槽に供給する。

請求項４記載の洗浄装置は、請求項１から３のいずれかに記載の洗浄装置において、前記洗浄槽に貯留された前記洗浄液を超音波振動させる超音波振動部を備えている。

請求項１記載の洗浄装置によれば、上部に開口部を有して洗浄液を貯留可能な洗浄槽と洗浄槽の開口部の縁部から溢れ出た洗浄液を受け止める液受け部とを備えたことにより、開口部の縁部における至る所から洗浄液を溢れ出させることができるため、汚れが液面の全面に広がって浮遊したとしても、洗浄液と共に汚れを液受け部に確実に排出させることができる。したがって、洗浄液の排出によって液面が下がる際や、洗浄液が洗浄槽に貯留されている状態において洗浄液の中から被洗浄体を取り出す際に、浮遊している汚れが洗浄済みの被洗浄体に再び付着する事態を確実に防止することができる。また、洗浄液の排出によって液面が下がる際に、洗浄槽の側壁や底板に汚れが付着する事態を確実に防止することができるため、次の洗浄を行う際に、洗浄に先立って側壁や底板を洗浄する工程を省略することができる。

また、請求項２記載の洗浄装置によれば、洗浄槽を収容可能に構成されて洗浄槽における開口部の縁部から溢れ出た洗浄液を受け止める液受け部として機能する収容容器を備えたことにより、汚れが液面の全面に広がって浮遊したとしても、洗浄液と共に汚れを収容容器に確実に排出させることができる。したがって、洗浄液の排出の際や、洗浄液の中から部品を取り出す際に、浮遊している汚れが洗浄済みの被洗浄体に再び付着する事態を確実に防止することができる。また、洗浄液の排出の際に、洗浄槽の側壁や底板に汚れが付着する事態を確実に防止することができるため、次の洗浄に先立って側壁や底板を洗浄する工程を省略することができる。

また、請求項３記載の洗浄装置によれば、液受け部によって受け止められた洗浄液を浄化する浄化部を備え、供給部が浄化部によって浄化された洗浄液を洗浄槽に供給することにより、洗浄槽から汚れと共に溢れ出た洗浄液を浄化した後に循環して用いることができるため、ランニングコストを十分に低減することができる。

また、請求項４記載の洗浄装置によれば、洗浄槽に貯留された洗浄液を超音波振動させる超音波振動部を備えたことにより、付着している汚れを超音波振動のキャビテーション効果によって被洗浄体から確実に剥離させることができるため、洗浄効果を十分に高めることができる。

以下、本発明に係る洗浄装置の最良の形態について、添付図面を参照して説明する。

最初に、洗浄装置１の構成について説明する。

図１に示す洗浄装置１は、本発明に係る洗浄装置の一例であって、同図および図２に示すように、本体部２、真空ポンプ３、液送ポンプ４、浄化装置５、貯留タンク６および振動装置７を備えて、被洗浄体（一例とし、図２に示す部品８０）を洗浄可能に構成されている。

本体部２は、図１，２に示すように、洗浄槽１１、液受け部１２および蓋部１３を備えて構成されている。洗浄槽１１は、円形状の底板１１ａと、底板１１ａの縁部に沿って立設された側壁１１ｂとを備えて上部に開口部１１ｃを有する有底円筒状に形成されて、例えば、界面活性剤（洗剤）を添加した水を主体とする洗浄液７０を貯留可能に構成されている。この場合、側壁１１ｂの下部（底板１１ａの近傍）には洗浄槽１１内に洗浄液７０を流入させるための給液口２１が形成され、この給液口２１には、給液管２２が取り付けられている。この場合、給液管２２は、給液バルブ２３を介して液送ポンプ４に繋げられている。また、底板１１ａには洗浄槽１１内に貯留されている洗浄液７０を排出させるための排液口３１が形成され、この排液口３１には、排液管３２が取り付けられている。この場合、排液管３２は、排液バルブ３３を介して浄化装置５に繋げられている。

液受け部１２は、洗浄槽１１における開口部１１ｃの縁部から溢れ出た洗浄液７０を受け止める機能を有している。具体的には、液受け部１２は、図１，２に示すように、鍔部１２ａおよび外周壁１２ｂを備えて構成されている。鍔部１２ａは、洗浄槽１１における側壁１１ｂの上端部（つまり、開口部１１ｃの縁部）よりも下部において、側壁１１ｂを取り囲むようにして外向きに突出形成されている。この場合、鍔部１２ａには、洗浄槽１１から溢れ出た洗浄液７０を廃出するための廃液口６１が形成され、廃液口６１には、廃液管６２が取り付けられている。また、廃液管６２には、廃液バルブ６３が取り付けられている。

外周壁１２ｂは、図１，２に示すように、洗浄槽１１の側壁１１ｂに対向するようにして鍔部１２ａの外周部に沿って立設されている。この場合、外周壁１２ｂは、その上端部が側壁１１ｂの上端部よりも上方に位置するようにその高さが規定されている。また、外周壁１２ｂには、洗浄槽１１および液受け部１２の内部空間の気体（空気）を排気するための排気口４１、および内部空間に気体（空気）を流入させるための吸気口５１が形成され、排気口４１および吸気口５１には、排気管４２および吸気管５２がそれぞれ取り付けられている。また、排気管４２および吸気管５２には、排気バルブ４３および吸気バルブ５３がそれぞれ取り付けられている。

蓋部１３は、液受け部１２における外周壁１２ｂの上端部によって構成される開口部１２ｃを覆い被すための部材であって、開口部１２ｃよりもやや大径の円板状の天板１３ａと、天板１３ａの縁部に取り付けられた側板１３ｂとを備えて構成されている。この場合、蓋部１３と真空ポンプ３とによって本発明における減圧機構が構成される。

真空ポンプ３は、本発明における排気部に相当し、液受け部１２に取り付けられている排気管４２に排気バルブ４３を介して繋がれて、洗浄槽１１および液受け部１２の内部空間内の気体を吸引することによって減圧洗浄槽１１および液受け部１２の内部空間を減圧する。液送ポンプ４は、本発明における供給部に相当し、洗浄槽１１に取り付けられている給液管２２に給液バルブ２３を介して繋がれて、貯留タンク６に貯留されている洗浄液７０を洗浄槽１１の内部に供給する。

浄化装置５は、本発明における浄化部に相当し、図２に示すように、洗浄槽１１に取り付けられている排液管３２に排液バルブ３３を介して繋がれると共に、液受け部１２に取り付けられている廃液管６２に廃液バルブ６３を介して繋がれて、洗浄槽１１から排出される洗浄液７０および液受け部１２によって受け止められて廃出される洗浄液７０に含まれている汚れを除去する。貯留タンク６は、洗浄液７０を貯留可能に構成されている。この場合、貯留タンク６は、液送ポンプ４および浄化装置５に配管で繋がれており、外部から投入された洗浄液７０および浄化装置５によって浄化された洗浄液７０を貯留すると共に、洗浄液７０を液送ポンプ４に供給する。振動装置７は、本発明における超音波振動部に相当し、洗浄槽１１の底板１１ａの外部に配設されて、洗浄槽１１、および洗浄槽１１に貯留された洗浄液７０を超音波振動させる。なお、振動装置７（超音波振動子）を洗浄槽１１の内部に配設する構成を採用することもできる。

次に、洗浄装置１の使用方法について、図面を参照して説明する。

最初に、洗浄装置１の使用方法の一例として、洗浄対象体としての有底筒状の部品８０を洗浄する例について説明する。まず、洗浄液７０が貯留されていない空の状態の洗浄槽１１の内部に部品８０を収容する。次いで、排液バルブ３３を閉じると共に給液バルブ２３を開いた後に、液送ポンプ４を作動させる。この際に、貯留タンク６に貯留されている洗浄液７０が給液バルブ２３および給液管２２を通って給液口２１から洗浄槽１１の内部に液送ポンプ４によって供給される。続いて、洗浄液７０が所定の水位に達した時点で給液バルブ２３を閉じ、次いで、蓋部１３を液受け部１２の開口部１２ｃに嵌め合わせる。これにより、洗浄槽１１および液受け部１２が蓋部１３によって密閉される。続いて、吸気バルブ５３および廃液バルブ６３を閉じると共に排気バルブ４３を開いた後に、真空ポンプ３を作動させる。この際に、洗浄槽１１および液受け部１２の内部空間内の空気が液受け部１２の排気口４１に連結されている排気管４２および排気バルブ４３を通って真空ポンプ３によって吸引されることにより、内部空間が減圧される。この場合、例えば、部品８０の内部に空気が残留していたとしても、洗浄槽１１の内部空間が減圧されているため、残留している空気が部品８０の内部から洗浄液７０中に気泡となって排出される。

次いで、真空ポンプ３を停止させた後に、排気バルブ４３を閉じると共に吸気バルブ５３を開く。この際に、洗浄槽１１および液受け部１２の内部空間に吸気バルブ５３および吸気管５２を通って空気が供給されることにより、洗浄槽１１および液受け部１２の内部空間が大気圧に復帰する。続いて、給液バルブ２３を開いて、洗浄液７０の供給を再開すると共に、廃液バルブ６３を開く。この場合、洗浄液７０の水位が上昇して開口部１１ｃの縁部に達したときには、図２に示すように、さらなる供給の継続によって洗浄液７０が開口部１１ｃの縁部を乗り越えて液受け部１２に溢れ出る。次いで、振動装置７を作動させて、洗浄槽１１、および洗浄槽１１に貯留されている洗浄液７０を超音波振動させる。この際に、部品８０に付着している付着物（例えば図２に示す汚れ９０）が、超音波振動のキャビテーション効果によって部品８０から剥離されて洗浄液７０中に排出される。この場合、洗浄槽１１の内部空間を減圧して部品８０の内部に残留していた空気を排出したことにより、部品８０の内部の隅々まで洗浄液７０が行き渡るため、部品８０が隅々まで十分に洗浄される。

一方、図２に示すように、洗浄液７０中に排出されて洗浄液７０の液面に浮遊している汚れ９０は、洗浄液７０と共に洗浄槽１１の側壁１１ｂにおける開口部１１ｃの縁部を乗り越えて液受け部１２に溢れ出る。この場合、この洗浄装置１では、洗浄槽１１の上部が開口しているため、その開口部１１ｃの縁部における至る所（縁部の周囲における任意の部位）から洗浄液７０を溢れ出させることが可能となっている。このため、汚れ９０が液面の全面に広がって浮遊したとしても、洗浄液７０と共に汚れ９０を液受け部１２に確実に排出させることが可能となっている。

続いて、振動装置７の作動開始から所定時間が経過した時点で、振動装置７を停止させる。次いで、液送ポンプ４を停止させると共に給液バルブ２３を閉じる。以上により、部品８０の洗浄が完了する。続いて、排液バルブ３３を開く。この際に、洗浄槽１１内に貯留されている洗浄液７０が洗浄槽１１の排液口３１に連結されている排液管３２および排液バルブ３３を通って浄化装置５に排出される。この場合、洗浄液７０に浮遊していた汚れ９０が洗浄液７０と共に確実に排出されているため、洗浄液７０の排出によって液面が下がる際に、汚れが部品８０に再び付着する事態、および汚れが洗浄槽１１の側壁１１ｂや底板１１ａに付着する事態が確実に防止される。次いで、洗浄の完了した部品８０を洗浄槽１１から取り出す。次に、他の被洗浄体を洗浄するときには、上記した手順を繰り返す。この場合、洗浄槽１１の側壁１１ｂや底板１１ａへの汚れの付着が防止されているため、被洗浄体の洗浄に先立って側壁１１ｂや底板１１ａを洗浄する工程を省略することができる。

なお、他の被洗浄体を引き続いて洗浄するときには、洗浄液７０を排出することなく、洗浄液７０が貯留されている状態の洗浄槽１１の中から洗浄の完了した部品８０を取り出してもよい。この場合においても、洗浄液７０に浮遊していた汚れ９０が洗浄液７０と共に確実に排出されているため、部品８０を取り出す際に、浮遊している汚れ９０が洗浄済みの部品８０に再び付着する事態が確実に防止される。

このように、この洗浄装置１によれば、上部に開口部１１ｃを有して洗浄液７０を貯留可能な洗浄槽１１と、洗浄槽１１の開口部１１ｃの縁部から溢れ出た洗浄液７０を受け止める液受け部１２とを備えたことにより、開口部１１ｃの縁部における至る所から洗浄液７０を溢れ出させることができるため、汚れ９０が液面の全面に広がって浮遊したとしても、洗浄液７０と共に汚れ９０を液受け部１２に確実に排出させることができる。したがって、洗浄液７０の排出によって液面が下がる際や、洗浄液７０が洗浄槽１１に貯留されている状態において洗浄液７０の中から部品８０を取り出す際に、浮遊している汚れ９０が洗浄済みの部品８０に再び付着する事態を確実に防止することができる。また、洗浄液７０の排出によって液面が下がる際に、洗浄槽１１の側壁１１ｂや底板１１ａに汚れが付着する事態を確実に防止することができるため、次の洗浄を行う際に、洗浄に先立って側壁１１ｂや底板１１ａを洗浄する工程を省略することができる。

また、この洗浄装置１によれば、液受け部１２から排出された洗浄液７０を浄化する浄化装置５を備え、浄化装置５によって浄化した洗浄液７０を液送ポンプ４によって洗浄槽１１に供給することにより、洗浄槽１１から汚れ９０と共に溢れ出た洗浄液７０を浄化した後に循環して用いることができるため、ランニングコストを十分に低減することができる。

また、この洗浄装置１によれば、洗浄槽１１に貯留された洗浄液７０を超音波振動させる振動装置７を備えたことにより、付着している汚れを超音波振動のキャビテーション効果によって部品８０から確実に剥離させることができるため、洗浄効果を十分に高めることができる。

なお、本発明は、上記の構成に限定されない。例えば、図３に示す洗浄装置１０１を採用することもできる。なお、以下の説明において、上記した洗浄装置１における構成要素と同じ機能を有する構成要素については同一の符号を付して重複した説明を省略する。この洗浄装置１０１は、液受け部１２に代えて、液受け部として機能する収容容器１１２を備えて構成されている。この場合、収容容器１１２は、同図に示すように、円形状の底板１１２ａと、底板１１２ａの縁部に沿って立設された外周壁１１２ｂとを備えて上部に開口部１１２ｃを有する（上部が開口した）有底円筒状に形成されると共に、洗浄槽１１を収容可能に構成されている。この場合、外周壁１１２ｂは、洗浄槽１１を収容した状態において、その上端部が洗浄槽１１における側壁１１ｂの上端部よりも上方に位置するようにその高さが規定されている。

また、外周壁１１２ｂの下部（底板１１２ａの近傍）には、洗浄槽１１の給液口２１に取り付けられている給液管２２を挿通させるための挿通孔１２１が形成されている。また、外周壁１２ｂには、洗浄槽１１および収容容器１１２の内部空間の空気（気体）を排気するための排気口１４１、および内部空間に空気を流入させるための吸気口１５１が形成され、排気口１４１および吸気口１５１には、排気管４２および吸気管５２がそれぞれ取り付けられている。また、底板１１２ａには、洗浄槽１１の排液口３１に取り付けられている排液管３２を挿通させるための挿通孔１２２が形成されている。また、底板１１２ａには、廃液口１６１が形成され、廃液口１６１には、洗浄槽１１から溢れ出た洗浄液７０を廃出するための廃液管６２が取り付けられている。

この洗浄装置１０１によれば、洗浄槽１１を収容可能に構成されて洗浄槽１１における開口部１１ｃの縁部の周囲における任意の部位から溢れ出た洗浄液７０を受け止める液受け部として機能する収容容器１１２を備えたことにより、上記した洗浄装置１と同様にして、汚れ９０が液面の全面に広がって浮遊したとしても、洗浄液７０と共に汚れ９０を収容容器１１２に確実に排出させることができる。したがって、洗浄液７０の排出の際や、洗浄液７０の中から部品８０を取り出す際に、浮遊している汚れ９０が洗浄済みの部品８０に再び付着する事態を確実に防止することができる。また、洗浄液７０の排出の際に、洗浄槽１１の側壁１１ｂや底板１１ａに汚れが付着する事態を確実に防止することができるため、次の洗浄に先立って側壁１１ｂや底板１１ａを洗浄する工程を省略することができる。

また、有底円筒状、つまり平面視が円形の洗浄槽１１と、平面視が円環状の液受け部１２とを備えた構成例について上記したが、洗浄槽１１の形状は、任意に規定することができる。一例として、図４に示す洗浄装置２０１のように、平面視が矩形の（立方体状または直方体状）の洗浄槽２１１と、平面視が矩形環状（回字状）の液受け部２１２とを備えた構成を採用することができる。また、界面活性剤（洗剤）が添加された水を主体とする洗浄液７０を用いる例について上記したが、洗浄液としては、これに限定されず、有機溶剤、水（純粋）、および酸やアルカリの溶液等を用いることができる。

また、振動装置７を備えた例について上記したが、振動装置７を備えていない構成を採用することもできる。また、ヒータを備えて洗浄液７０を加熱しつつ洗浄する構成を採用することもできる。

洗浄装置１の斜視図である。 洗浄装置１の断面図である。 洗浄装置１０１の斜視図である。 洗浄装置２０１の斜視図である。

符号の説明

１，１０１，２０１ 洗浄装置
３ 真空ポンプ
４ 液送ポンプ
５ 浄化装置
７ 振動装置
１１，２１１ 洗浄槽
１１ｂ 側壁
１１ｃ 開口部
１２，２１２ 液受け部
１２ａ 鍔部
１２ｂ 外周壁
１３ 蓋部
４１，１４１ 排気口
７０ 洗浄液
８０ 部品
９０ 汚れ
１１２ 収容容器
１１２ｂ 外周壁

Claims (4)

1. 上部に開口部を有して洗浄液を貯留可能な洗浄槽と、前記洗浄槽内を減圧させる減圧機構と、前記洗浄槽に前記洗浄液を供給する供給部とを備えて、被洗浄体を洗浄可能に構成されると共に当該被洗浄体から除去された付着物を前記洗浄槽に対する前記洗浄液の供給によって前記開口部の縁部から当該洗浄液と共に溢れ出させて排出可能に構成され、
   前記開口部の縁部から溢れ出た前記洗浄液を受け止める液受け部を備え、
   前記液受け部は、前記洗浄槽の側壁における前記開口部の縁部よりも下側の位置において当該側壁を取り囲むようにして外向きに突出形成された鍔部と、前記鍔部の外周部に沿って立設されると共にその上端部が当該側壁の前記縁部よりも上方に位置するよう形成された外周壁とを備えて構成され、
   前記減圧機構は、前記液受け部における前記外周壁の前記上端部によって構成される開口部を覆う蓋部と、前記液受け部に形成された排気口から当該液受け部および前記洗浄槽内の気体を排気させる排気部とを備えて構成されている洗浄装置。
2. 上部に開口部を有して洗浄液を貯留可能な洗浄槽と、前記洗浄槽内を減圧させる減圧機構と、前記洗浄槽に前記洗浄液を供給する供給部とを備えて、被洗浄体を洗浄可能に構成されると共に当該被洗浄体から除去された付着物を前記洗浄槽に対する前記洗浄液の供給によって前記開口部の縁部から当該洗浄液と共に溢れ出させて排出可能に構成され、
   前記開口部の縁部から溢れ出た前記洗浄液を受け止める液受け部を備え、
   前記液受け部は、前記洗浄槽を収容可能でかつ上部が開口した収容容器で構成されると共に当該洗浄槽を収容した状態において当該収容容器の外周壁の上端部が当該洗浄槽の側壁における前記開口部の縁部よりも上方に位置するように構成され、
   前記減圧機構は、前記収容容器における前記外周壁の前記上端部によって構成される開口部を覆う蓋部と、前記収容容器に形成された排気口から当該収容容器および前記洗浄槽内の気体を排気させる排気部とを備えて構成されている洗浄装置。
3. 前記液受け部によって受け止められた前記洗浄液を浄化する浄化部を備え、
   前記供給部は、前記浄化部によって浄化された前記洗浄液を前記洗浄槽に供給する請求項１または２記載の洗浄装置。
4. 前記洗浄槽に貯留された前記洗浄液を超音波振動させる超音波振動部を備えている請求項１から３のいずれかに記載の洗浄装置。

Images