CN109482591B - 10代线掩膜版箱子清洗系统及清洗方法 - Google Patents
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- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims abstract description 129
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 16
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 34
- 239000003513 alkali Substances 0.000 claims description 16
- 239000010865 sewage Substances 0.000 claims description 15
- 238000005406 washing Methods 0.000 claims description 12
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims description 11
- 238000002791 soaking Methods 0.000 claims description 11
- 238000005086 pumping Methods 0.000 claims description 10
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 claims description 10
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 239000012466 permeate Substances 0.000 claims description 9
- 238000011010 flushing procedure Methods 0.000 claims description 8
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 8
- 239000000741 silica gel Substances 0.000 claims description 6
- 229910002027 silica gel Inorganic materials 0.000 claims description 6
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 3
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 5
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 5
- 230000008569 process Effects 0.000 description 5
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 2
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 2
- 239000000047 product Substances 0.000 description 2
- 239000013543 active substance Substances 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B9/00—Cleaning hollow articles by methods or apparatus specially adapted thereto
- B08B9/08—Cleaning containers, e.g. tanks
- B08B9/0861—Cleaning crates, boxes or the like
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B9/00—Cleaning hollow articles by methods or apparatus specially adapted thereto
- B08B9/08—Cleaning containers, e.g. tanks
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Abstract
本发明公开了10代线掩膜版箱子清洗系统及清洗方法，所述清洗系统包括清洗装置，所述清洗装置包括清洗槽和腔体，所述腔体环设在清洗槽外侧，所述腔体上设置有竖直缺口，在缺口处配合设置有软帘，所述腔体的侧壁设置有进液口，所述清洗槽的底部设置有排液口，所述腔体的高度高于清洗槽的高度。本发明不仅能够实现实现对10代线掩膜版箱子的清洗，而且解决了人工清洗导致清洗不全面、二次污染和箱体表面受损的问题。
Description
技术领域
本发明涉及掩膜版制作技术领域，具体涉及10代线掩膜版箱子清洗系统及清洗方法。
背景技术
在掩膜版制造过程中，需要用到箱子来存放和运输掩膜版成品，由于掩膜版是高洁净度的产品，存放和运输过程均要求避免受到污染，特别是灰尘，因此装载掩膜版的箱子也必须是高洁净度的，在用来装载掩膜版之前，箱子必须经过清洁，清除脏污和灰尘。
普通尺寸的掩膜版箱子，都是由PVC材料制成无透明的，其清洁方法为：1、无尘布沾酒精后，将箱子及盖子里外所有地方擦拭过；2、再用新的无尘布，沾酒精后，将箱子及盖子的内表面重新擦拭过；3、静置5分钟后，箱子盖上盖子备用。
现有的箱子清洁方法，对于小尺寸箱子(1米以内)来说，有操作便利快捷等优点，但是对于8代线、10代线的箱子来说就明显不适用了，首先，8代线以上的箱子尺寸在1米到2米之间，如还是人工用手拿无尘布擦拭的话，手臂很难伸展到箱子的各个部位；其次，采用人工用手去擦拭，在工作过程中，人身体衣服上的灰尘容易掉落到箱子里，造成循环污染；再者，8代线以上尺寸掩膜版的箱子，均是采用透明的有机玻璃制作，如使用酒精擦拭的话会使有机玻璃表面受损，变得模糊而不再透明。综上，由于8代线和10代线掩膜版箱子在尺寸和材料上的不同，现有的箱子清洁方法将不再适用。
发明内容
本发明的目的在于提供10代线掩膜版箱子清洗系统，实现对10代线掩膜版箱子的清洗，解决人工清洗导致清洗不全面、二次污染和箱体表面受损的问题。
此外，本发明还提供上述清洗系统的清洗方法。
本发明通过下述技术方案实现：
10代线掩膜版箱子清洗系统，包括清洗装置，所述清洗装置包括清洗槽和腔体，所述腔体环设在清洗槽外侧，所述腔体上设置有竖直缺口，在缺口处配合设置有软帘，所述腔体的侧壁设置有进液口，所述清洗槽的底部设置有排液口，所述腔体的高度高于清洗槽的高度。
本发明所述清洗槽的尺寸与10代线掩膜版箱子的尺寸配合，所述清洗槽在清洗过程中用于放置箱体和清洗液，将箱体浸没在清洗液中，通过设置软帘便于将箱子放入清洗槽内，所述腔体的设置一方面在浸泡洗和冲洗过程中对液体进行阻挡，避免液体飞溅，同时，便于设置进液口，利于清洗液导入清洗槽内，清洗后的污水由排液口排放。
本发明的清洗过程为：
将掩膜版箱子放进清洗槽内，用泵抽取碱液到清洗槽，使碱液没过箱子，浸泡约5分钟后将碱液排掉；然后用水枪对箱子的各个部位进行冲洗，约3分钟；用泵抽取表面活性剂液到清洗槽内，使活性剂液没过箱子，浸泡约分钟后将液体排掉；用水枪对箱子的各个部位进行冲洗。
本发明通过设置清洗槽和腔体，在清洗槽内实现对箱子的浸泡洗和冲洗，避免人工清洗因手臂不够长带来的擦拭困难、避免人工擦拭中，身体上的灰尘掉落重新污染箱子的可能、避免了有机溶剂酒精等对透明有机材料的箱子表面造成的损伤，同时腔体对液体进行阻挡，避免液体飞溅，如此，本发明实现了对10代线掩膜版箱子的清洗，解决了人工清洗导致清洗不全面、二次污染和箱体表面受损的问题。
优选地，所述清洗槽和腔体采用不锈钢制成。
进一步地，清洗槽为矩形槽，所述腔体为包括3个侧面的U形结构，在U形结构的2个侧壁之间设置软帘，所述腔体的3个侧面紧贴清洗槽的3个侧壁设置。
现有的箱子为矩形结构，将清洗槽设置为矩形槽，利于放置箱子，节约清洗液，所述软帘可以是采用布料制成的帘子。
进一步地，清洗槽的长和宽均为2.8-3.2米，所述清洗槽的高度为40-50厘米，所述腔体的高度为1.8-2.1米。
进一步地，清洗槽的外壁设置有固定板，所述腔体的底部可拆卸式嵌入固定板的上端面。
上述设置便于实现清洗槽与腔体的拆卸与安装。
进一步地，腔体和清洗槽之间设置有硅胶垫。
所述硅胶垫为现有技术，具有一定弹性，利于实现腔体和清洗槽之间的密封，避免清洗时清洗液由腔体和清洗槽之间的缝隙溢出。
优选地，所述硅胶垫的高度与清洗槽的高度一致。
进一步地，腔体的缺口上部设置有横杆，所述软帘的上端设置有套筒，所述套筒套设在横杆上。
上述设置能够实现软帘的翻转。
进一步地，还包括排污机构，所述排污机构包括设置在地面上的排污槽，所述清洗装置设置在排污槽上方。
由各个清洗槽排液口排放的清洗污水排放至排污槽内，由排污槽统一导出。
优选地，所述清洗装置设置有软帘的一侧与排污槽平行设置，所述排液口设置在清洗槽底部靠近外壁，且靠近软帘。
进一步地，排污槽为弧形槽。
所述弧形槽利于将污水导出
进一步地，排污机构包括设置在地面上的限位结构，所述限位结构为U形结构，设置在清洗装置外侧，每个清洗装置外侧对称设置有2个限位结构。
所述限位结构固定在地面上，能够对清洗装置进行限位阻挡，避免清洗装置在清洗过程中发生移动。
基于10代线掩膜版箱子清洗系统的清洗方法，包括以下步骤：
1)、将掩膜版箱子放入清洗槽内，用泵抽取碱液到清洗槽，使碱液没过箱子，浸泡约5分钟后将碱液排掉；
2)、用水枪对箱子的各个部位进行冲洗，约3分钟；
3)、用泵抽取表面活性剂液到清洗槽内，使活性剂液没过箱子，浸泡约5分钟后将液体排掉；
4)、用水枪对箱子的各个部位进行冲洗，约5分钟；
5)、将箱子取出放入烘干箱中进行烘干，约2个小时后烘干完成，箱子取出备用。
所述碱液和活性剂液均为现有技术。
本发明与现有技术相比，具有如下的优点和有益效果：
本发明通过设置清洗槽和腔体，在清洗槽内实现对箱子的浸泡洗和冲洗，避免人工清洗因手臂不够长带来的擦拭困难、避免人工擦拭中，身体上的灰尘掉落重新污染箱子的可能、避免了有机溶剂酒精等对透明有机材料的箱子表面造成的损伤，同时腔体对液体进行阻挡，避免液体飞溅，如此，本发明实现了对10代线掩膜版箱子的清洗，解决了人工清洗导致清洗不全面、二次污染和箱体表面受损的问题。
附图说明
此处所说明的附图用来提供对本发明实施例的进一步理解，构成本申请的一部分，并不构成对本发明实施例的限定。在附图中：
图1是清洗装置的立体示意图；
图2是清洗装置的结构示意图；
图3是清洗系统的结构示意图。
附图中标记及对应的零部件名称：
1-腔体，2-清洗槽，3-软帘，4-横杆，5-硅胶垫，6-固定板，7-限位结构，8-排污槽，11-进液口，21-排液口，31-套筒。
具体实施方式
为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚明白，下面结合实施例和附图，对本发明作进一步的详细说明，本发明的示意性实施方式及其说明仅用于解释本发明，并不作为对本发明的限定。
实施例1：
如图1至图3所示，10代线掩膜版箱子清洗系统，包括清洗装置，所述清洗装置包括清洗槽2和腔体1，所述腔体1环设在清洗槽2外侧，所述腔体1上设置有竖直缺口，在缺口处配合设置有软帘3，所述软帘3可以是采用布料制成的帘子，所述腔体1的侧壁设置有进液口11，所述清洗槽2的底部设置有排液口21，所述排液口21配合设置有阀门，可以是电磁阀，所述腔体1的高度高于清洗槽2的高度，所述清洗槽2的尺寸与膜版箱子匹配，具体地，所述清洗槽2为矩形槽，所述腔体1为包括3个侧面的U形结构，在U形结构的2个侧壁之间设置软帘3，所述腔体1的3个侧面紧贴清洗槽2的3个侧壁设置；所述清洗槽2的长和宽均为2.8-3.2米，所述清洗槽2的高度为40-50厘米，所述腔体1的高度为1.8-2.1米，现有的10代线掩膜版箱子为矩形结构，所述清洗槽2为矩形槽与掩膜版箱子匹配。
本实施例的工作原理：
将掩膜版箱子放进清洗槽2内，用泵抽取碱液到清洗槽2，使碱液没过箱子，浸泡约5分钟后将碱液排掉；然后用水枪对箱子的各个部位进行冲洗，约3分钟；用泵抽取表面活性剂液到清洗槽2内，使活性剂液没过箱子，浸泡约5分钟后将液体排掉；用水枪对箱子的各个部位进行冲洗，约5分钟；将箱子拿到烘干箱中进行烘干，约2个小时后烘干完成，箱子拿出备用。
实施例2：
如图1至图3所示，本实施例基于实施例1，还包括排污机构，所述排污机构包括设置在地面上的排污槽8，所述清洗装置设置在排污槽8上方；所述排污槽8为弧形槽；所述排污机构包括设置在地面上的限位结构7，所述限位结构7为U形结构，设置在清洗装置外侧，每个清洗装置外侧对称设置有2个限位结构7。
实施例3：
如图1至图3所示，本实施例基于实施例1或实施例2，所述清洗槽2的外壁设置有固定板6，所述腔体1的底部可拆卸式嵌入固定板6的上端面，具体地，所述固定板6的上端面设置有凹槽，所述腔体1的底部嵌入凹槽内；所述腔体1和清洗槽2之间设置有硅胶垫5；所述腔体1的缺口上部设置有横杆4，所述软帘3的上端设置有套筒31，所述套筒31套设在横杆4上。
基于实施例1至实施例3任一项所述10代线掩膜版箱子清洗系统的清洗方法，包括以下步骤：
1)、将掩膜版箱子放入清洗槽2内，用泵抽取碱液到清洗槽2，使碱液没过箱子，浸泡约5分钟后将碱液排掉；
2)、用水枪对箱子的各个部位进行冲洗，约3分钟；
3)、用泵抽取表面活性剂液到清洗槽2内，使活性剂液没过箱子，浸泡约5分钟后将液体排掉；
4)、用水枪对箱子的各个部位进行冲洗，约5分钟；
5)、将箱子取出放入烘干箱中进行烘干，约2个小时后烘干完成，箱子取出备用。
以上所述的具体实施方式，对本发明的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本发明的具体实施方式而已，并不用于限定本发明的保护范围，凡在本发明的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (2)
1.10代线掩膜版箱子清洗系统，其特征在于，包括清洗装置，所述清洗装置包括清洗槽（2）和腔体（1），所述腔体（1）环设在清洗槽（2）外侧，所述腔体（1）上设置有竖直缺口，在缺口处配合设置有软帘（3），所述腔体（1）的侧壁设置有进液口（11），所述清洗槽（2）的底部设置有排液口（21），所述腔体（1）的高度高于清洗槽（2）的高度；
所述清洗槽（2）为矩形槽，所述腔体（1）为包括3个侧面的U形结构，在U形结构的2个侧壁之间设置软帘（3），所述腔体（1）的3个侧面紧贴清洗槽（2）的3个侧壁设置；
所述腔体（1）和清洗槽（2）之间设置有硅胶垫（5）；
所述清洗槽（2）的长和宽均为2.8-3.2米，所述清洗槽（2）的高度为40-50厘米，所述腔体（1）的高度为1.8-2.1米；
所述清洗槽（2）的外壁设置有固定板（6），所述腔体（1）的底部可拆卸式嵌入固定板（6）的上端面；
所述腔体（1）的缺口上部设置有横杆（4），所述软帘（3）的上端设置有套筒（31），所述套筒（31）套设在横杆（4）上；
还包括排污机构，所述排污机构包括设置在地面上的排污槽（8），所述清洗装置设置在排污槽（8）上方；
所述排污槽（8）为弧形槽；
所述排污机构包括设置在地面上的限位结构（7），所述限位结构（7）为U形结构，设置在清洗装置外侧，每个清洗装置外侧对称设置有2个限位结构（7）。
2.基于权利要求1所述10代线掩膜版箱子清洗系统的清洗方法，其特征在于，包括以下步骤：
1）、将掩膜版箱子放入清洗槽（2）内，用泵抽取碱液到清洗槽（2），使碱液没过箱子，浸泡5分钟后将碱液排掉；
2）、用水枪对箱子的各个部位进行冲洗，3分钟；
3）、用泵抽取表面活性剂液到清洗槽（2）内，使活性剂液没过箱子，浸泡5分钟后将液体排掉；
4）、用水枪对箱子的各个部位进行冲洗，5分钟；
5）、将箱子取出放入烘干箱中进行烘干，2个小时后烘干完成，箱子取出备用。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201811596039.9A CN109482591B (zh) | 2018-12-26 | 2018-12-26 | 10代线掩膜版箱子清洗系统及清洗方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201811596039.9A CN109482591B (zh) | 2018-12-26 | 2018-12-26 | 10代线掩膜版箱子清洗系统及清洗方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN109482591A CN109482591A (zh) | 2019-03-19 |
| CN109482591B true CN109482591B (zh) | 2024-05-14 |
Family
ID=65711930
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201811596039.9A Active CN109482591B (zh) | 2018-12-26 | 2018-12-26 | 10代线掩膜版箱子清洗系统及清洗方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN109482591B (zh) |
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