CN100551555C - 自动立式石英管清洗机及其清洗工艺 - Google Patents
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Assignee: Suzhou CSE Semiconductor Equipment Technology Co., Ltd. Assignor: Xu Zhulin Contract record no.: 2010320000696 Denomination of invention: Automatic vertical quartz tube cleaning machine and cleaning technique thereof Granted publication date: 20091021 License type: Exclusive License Open date: 20080521 Record date: 20100526 |
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Owner name: JIANGSU HUACAN PHOTOELECTRIC TECHNOLOGY CO., LTD. Free format text: FORMER OWNER: XU ZHULIN Effective date: 20120914 |
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