JP2008103531A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】メモリカードの製造歩留まりを向上させることのできる技術を提供する。
【解決手段】コア材1aと、コア材1aの上面に形成された第1ソルダーレジスト1bと、コア材1aの下面に形成された第2ソルダーレジスト1cとから構成されたカード基板1を有するメモリカードMCの製造過程において、第1ソルダーレジスト1b上にフラッシュメモリチップ2、第1コントローラチップ3および第2コントローラチップ4を搭載する際、まず、金型を用いて第1ソルダーレジスト1bのチップ搭載領域をプレスすることにより、第1ソルダーレジスト1bに凹部14を形成し、絶縁ペーストを用いて凹部14の底面にフラッシュメモリチップ2および第1コントローラチップ3を接着する。その後、絶縁ペーストを用いてフラッシュメモリチップ2の上面に第2コントローラチップ4を接着する。
【選択図】図2
【解決手段】コア材1aと、コア材1aの上面に形成された第1ソルダーレジスト1bと、コア材1aの下面に形成された第2ソルダーレジスト1cとから構成されたカード基板1を有するメモリカードMCの製造過程において、第1ソルダーレジスト1b上にフラッシュメモリチップ2、第1コントローラチップ3および第2コントローラチップ4を搭載する際、まず、金型を用いて第1ソルダーレジスト1bのチップ搭載領域をプレスすることにより、第1ソルダーレジスト1bに凹部14を形成し、絶縁ペーストを用いて凹部14の底面にフラッシュメモリチップ2および第1コントローラチップ3を接着する。その後、絶縁ペーストを用いてフラッシュメモリチップ2の上面に第2コントローラチップ4を接着する。
【選択図】図2
Description
本発明は、半導体装置の製造技術に関し、特に、メモリカードの製造において半導体チップをカード基板に搭載し、樹脂封止する工程に適用して有効な技術に関するものである。
例えばメモリチップとメモリチップを制御するコントローラチップとが実装された複数個のコネクタ端子と共にコネクタ端子に導通された複数個の接続パッドが形成されたカード基板を有し、接続パッドはコントローラチップのコネクタインタフェース端子にボンディングワイヤを介して接続され、コントローラチップのメモリインタフェース端子はメモリチップのコントローラインタフェース端子にボンディングワイヤを介して接続されたメモリカードが開示されている(例えば特許文献1参照)。
特開2001−209773号公報(段落[0079]〜[0089]、図15、図16)
通常、メモリカードに使用される半導体チップを搭載するカード基板は、多層配線板からなるコア材と、コア材の上面および下面に形成されたソルダーレジストとから構成されており、コア材の上面に形成されたソルダーレジスト上に半導体チップが搭載される。
しかしながら、上記構造のカード基板を有するメモリカードについては、以下に説明する種々の技術的課題が存在する。
すなわち、ソルダーレジストは、液状のレジストを用いたスクリーン印刷法によりコア材の上面および下面に形成されるが、ソルダーレジストの表面には凹凸があり、その凹凸の最も高い位置と最も低い位置とを比較すると10μm以上の差がある。このため、ソルダーレジスト上に半導体チップを搭載すると、半導体チップの裏面とソルダーレジストの表面の凸部とが接着剤(絶縁ペースト)を介して主として点接触により接着することになる。しかし、点接触による接着は半導体チップとソルダーレジストとの強い接着強度を得ることができず、半導体チップの剥がれの主な原因の1つとなっている。そこで、接着剤の塗布量を増加して接着剤を厚くすることにより、上記点接触に起因する接着強度の強度不足を回避している。
ところで、近年、メモリカードの高機能化および大容量化に伴い、複数の半導体チップを積層した多段積層構造のメモリカードが使用されている。半導体チップを単純に多段積層するとメモリカードが厚くなるため、多段積層構造のメモリカードでは、カード基板に搭載する半導体チップの厚さをさらに薄くする必要があり、例えば100μm以下としている。
これに対して、前述したように、半導体チップの剥がれを防止するために、半導体チップをソルダーレジスト上に接着する際に使用する接着剤の厚さは厚くなる傾向にある。しかし、多段積層構造のメモリカードを実現するためには、接着剤の厚さも薄くする必要がある。そこで、ソルダーレジストの表面を平坦化して、半導体チップの裏面とソルダーレジストの表面との主とする接触を点接触ではなく面接触とすることにより、接着剤の厚さを薄くしても半導体チップとソルダーレジストとの強い接着強度が得られる技術の検討が行われている。例えば、液状のレジストに代えて、ソルダーレジストの表面の平坦化を図ることのできるフォルム状のレジストを用いる方法がある。しかし、この方法においては、フィルム状のレジストの価格が液状のレジストの価格の約2倍であることから、フィルム状のレジストを採用したことによる製品コストの増加などの未だ解決すべき課題が残されている。
本発明の目的は、メモリカードの製造歩留まりを向上させることのできる技術を提供する。
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう。
本願において開示される発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、次のとおりである。
本発明は、コア材と、コア材の上面および下面にそれぞれ形成された第1および第2ソルダーレジストとから構成されたカード基板を有し、第1ソルダーレジスト上に半導体チップを搭載する半導体装置の製造方法であって、金型を用いて第1ソルダーレジストのチップ搭載領域をプレスすることにより、第1ソルダーレジストのチップ搭載領域に凹部を形成した後、絶縁ペーストを用いて凹部の底面に半導体チップを接着する工程と、半導体チップの上面の外部端子とコア材の表面に形成されて第1ソルダーレジストから露出した接続端子とをボンディングワイヤを用いて接続する工程と、半導体チップおよびボンディングワイヤを樹脂により封止する工程とを有するものである。
本願において開示される発明のうち、代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば以下のとおりである。
ソルダーレジストのチップ搭載領域を金型でプレスして凹部を形成することにより、ソルダーレジストに形成されたチップ搭載面が平坦化されて、半導体チップの裏面とチップ搭載面との間の隙間が少なくなり、両者の接触面積が増えることから、半導体チップの剥がれを低減することができる。また、ソルダーレジストに形成された凹部に半導体チップを搭載することから、半導体チップの裏面とソルダーレジストのチップ搭載面とを接着する絶縁ペーストを厚くすることができるので、両者の接着強度が向上し、絶縁ペーストのリード形成領域へのはみ出しおよび半導体チップを接着する際の半導体チップの回転を防ぐことができる。これにより、メモリカードの製造歩留まりを向上させることができる。
さらに、ソルダーレジストの共通化を図ることが可能となり、コストを低減することができる。
本実施の形態において、便宜上その必要があるときは、複数のセクションまたは実施の形態に分割して説明するが、特に明示した場合を除き、それらはお互いに無関係なものではなく、一方は他方の一部または全部の変形例、詳細、補足説明等の関係にある。
また、本実施の形態において、要素の数等(個数、数値、量、範囲等を含む)に言及する場合、特に明示した場合および原理的に明らかに特定の数に限定される場合等を除き、その特定の数に限定されるものではなく、特定の数以上でも以下でも良い。さらに、本実施の形態において、その構成要素(要素ステップ等も含む)は、特に明示した場合および原理的に明らかに必須であると考えられる場合等を除き、必ずしも必須のものではないことは言うまでもない。同様に、本実施の形態において、構成要素等の形状、位置関係等に言及するときは、特に明示した場合および原理的に明らかにそうでないと考えられる場合等を除き、実質的にその形状等に近似または類似するもの等を含むものとする。このことは、上記数値および範囲についても同様である。
また、本実施の形態を説明するための全図において、同一機能を有するものは原則として同一の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する。以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
本発明の一実施の形態によるメモリカードMCの要部上面図の一例を図1に示し、図1のA−A′線におけるメモリカードMCの要部断面図を図2に示す。なお、メモリカードMCとして、MMC(Multi Media Card)メモリカードを例示する。
図1および図2に示すように、メモリカードMCは、カード基板1の表面にフラッシュメモリチップ2および第1コントローラチップ3が実装され、さらにフラッシュメモリ2上には絶縁ペーストにより接着されたセキュリティ用の第2コントローラチップ4が積層されている。
カード基板1は、その表面、裏面および内部に多層の配線パターンを形成した、主としてガラスクロスをエポキシ樹脂で固めたガラスエポキシ樹脂からなるコア材1aを有し、このコア材1aの表面に形成された複数の接続端子5および裏面に形成された複数の接続端子6などを露出させるように、それぞれ第1ソルダーレジスト1bおよび第2ソルダーレジスト1cがコア材1aを覆っている。第1ソルダーレジスト1bおよび第2ソルダーレジスト1cの厚さは、例えば20〜40μmである。接続端子5,6は、例えば銅などの導体パターンからなり、その表面に金メッキまたはニッケルメッキ等が施されている。また、本実施の形態で使用するソルダーレジスト1b,1cには、液状タイプとフィルムタイプのものがある。液状タイプを使用する場合は、コア材1a上に液状のソルダーレジストを塗布して硬化することで、コア材1a上にソルダーレジスト1b,1cを形成する。このとき、カード基板1の表面の平坦性を向上するためには、塗布および硬化工程を複数回繰り返す。また、フィルムタイプを使用する場合は、コア材1aの表裏にフィルム状のソルダーレジストを貼り付け、プレス加工により圧接することで平坦性を有するソルダーレジスト1b、1cを形成する。
フラッシュメモリチップ2はベアチップであり、フラッシュメモリチップ2の表面の縁辺に配列された複数の外部端子7と、これら複数の外部端子7と1対1対応するようにカード基板1の表面に形成された複数の接続端子5とが第1ボンディングワイヤ8aを用いて接続されている。外部端子7は、例えばアルミニウム、アルミニウム合金または銅からなる。フラッシュメモリチップ2は、例えばコントロールゲート、フローティングゲート、ソースおよびドレインを持つ不揮発性メモリセルトランジスタをマトリクス状に配置したメモリセルアレイを有し、外部から供給されるコマンドとアドレスとに従って、データの読出し、消去、書込み、ベルファイなどの動作を行うようになっている。
第1コントローラチップ3は、フラッシュメモリチップ2と同様にベアチップであり、第1コントローラチップ3の表面の縁辺に配列された複数の外部端子9と、これら複数の外部端子9と1対1対応するようにカード基板1の表面に形成された複数の接続端子5とが第2ボンディングワイヤ8bを用いて接続されている。外部端子9は、例えばアルミニウム、アルミニウム合金または銅からなる。第1コントローラチップ3は、例えば外部からの指示に従ってフラッシュメモリチップ2に対するリード・ライド動作を制御する。
第2コントローラチップ4は、フラッシュメモリチップ2と同様にベアチップであり、第2コントローラチップ4の表面の縁辺に配列された複数の外部端子11と、これら複数の外部端子11と1対1対応するようにカード基板1の表面に形成された複数の接続端子5とが第3ボンディングワイヤ8cを用いて接続されている。外部端子11は、例えばアルミニウム、アルミニウム合金または銅からなる。第2コントローラチップ4は、例えばデータセキュリティまたは著作権保護などを考慮して、フラッシュメモリチップ2に書き込むデータに対して暗号化を行い、フラッシュメモリチップ2から読み出したデータに対して復号を行う機密保護機能を備えている。
さらに、カード基板1のフラッシュメモリチップ2、第1コントローラチップ3および第2コントローラチップ4が搭載されたカード基板1の表面側は、全体として一つの熱硬化性の樹脂13、例えばエポキシ樹脂により封止されている。
フラッシュメモリチップ2および第1コントローラチップ3は、カード基板1の表面に絶縁ペーストを用いて接着されているが、フラッシュメモリチップ2および第1コントローラチップ3は第1ソルダーレジスト1bに形成された凹部14に接着されている。凹部14の深さは、例えば10〜20μmである。凹部14は、例えばフラッシュメモリチップ2および第1コントローラチップ3よりも僅かに大きい寸法のディプレス金型を用いて、第1ソルダーレジスト1bをプレスすることにより形成される。金型を用いてプレスすることにより、第1ソルダーレジスト1bに凹部14を形成すると同時に、凹部14の底面の凹凸が緩和されて、フラッシュメモリチップ2および第1コントローラチップ3が搭載される第1ソルダーレジスト1bの凹部の底面を平坦化することができる。凹部14の底面の凹凸の最も高い位置と最も低い位置との差を10μmよりも小さくすることができる。
次に、本発明の一実施の形態によるメモリカードMCの製造方法の一例を図3〜図11を用いて工程順に説明する。図3はフレームの要部上面図、図4(a)および(b)はそれぞれフレームの要部上面図および要部断面図、図5〜図7はメモリカードMCの要部断面図、図8〜図11はメモリカードMCの要部斜視図である。
まず、図3に示すように、フラッシュメモリチップ2、第1コントローラチップ3および第2コントローラチップ4が搭載されるカード基板1が複数存在するフレーム1Fを用意する。フレーム1Fは、その長手方向に、メモリカード1つ分に該当する単位フレームが1列に配置された構成となっている。この単位フレームは、前述したカード基板1に相当する。すなわち、図示は省略するが、1つの単位フレームの表面には複数の配線パターンおよび前述した複数の接合端子5が第1ソルダーレジスト1bから露出しており、さらにその裏面には複数の接合端子6が第2ソルダーレジスト1cから露出している。
次に、図4に示すように、第1ソルダーレジスト1bのフラッシュメモリチップ2および第1コントローラチップ3が接合されるチップ搭載領域を、例えばフラッシュメモリチップ2および第1コントローラチップ3よりも僅かに大きい寸法のディプレス金型15を用いてプレスして、第1ソルダーレジスト1bに、深さ10〜20μmの凹部14を形成する。第1ソルダーレジスト1bに凹部14を形成すると同時に、凹部14の底面の凹凸を緩和して、フラッシュメモリチップ2および第1コントローラチップ3が搭載される第1ソルダーレジスト1bのチップ搭載面(単位フレーム毎に第1ソルダーレジスト1bに形成された凹部14の底面)を平坦化する。
次に、図5に示すように、フレーム1Fのカード基板1のチップ搭載面(凹部14の底面)上に絶縁ペーストを載せて、ここにフラッシュメモリチップ2および第1コントローラチップ3を軽く押しつける。さらに、フラッシュメモリチップ2のチップ搭載面上に絶縁ペーストを載せて、ここに第2コントローラチップ4を軽く押しつける。その後、100〜200℃程度の温度により硬化処理を行う。これにより、フラッシュメモリチップ2および第1コントローラチップ3をフレーム1Fのカード基板1のチップ搭載面(凹部14の底面)上に接着し、第2コントローラチップ4をフラッシュメモリチップ2のチップ搭載面上に接着する。ここで、硬化処理温度は100〜200℃程度としているが、液状タイプのソルダーレジストを使用する場合は、フィルムタイプのソルダーレジストに比べて耐熱性が低く、高温にしすぎると形状が変形してしまう。そのため、液状タイプのソルダーレジストを使用する場合は、100〜150℃程度が好ましい。一方、フィルムタイプのソルダーレジストの場合、液状タイプのものよりも耐熱性が高く、液状タイプのソルダーレジストを使用する場合よりも高温、例えば150〜200℃程度で処理することが可能である。このように、高温で処理することが可能であるため、半導体チップを実装するための絶縁ペーストの硬化速度も向上でき、製造時間を短縮することが可能である。
次に、図6に示すように、フラッシュメモリチップ2の表面の縁辺に配列された外部端子7とフレーム1Fのカード基板1の表面に配列された接続端子5とを第1ボンディングワイヤ8aを用いて接続し、第1コントローラチップ3の表面の縁辺に配列された外部端子9とフレーム1Fのカード基板1の表面に配列された接続端子5とを第2ボンディングワイヤ8bを用いて接続し、第2コントローラチップ4の表面の縁辺に配列された外部端子11とフレーム1Fのカード基板1の表面に配列された接続端子5とを第3ボンディングワイヤ8cを用いて接続する。
次に、図7に示すように、フラッシュメモリチップ2、第1コントローラチップ3および第2コントローラチップ4が搭載されたフレーム1Fを上部金型および下部金型からなる金型成形機にセットした後、溶融した樹脂13を圧送して流し込み、フラッシュメモリチップ2、第1コントローラチップ3および第2コントローラチップ4等を樹脂13で封入してモールド成形する。
次に、フレーム1Fにある封止後の個々のカード基板1を切断し、図8に示すように個々のカード基板1に切り分ける。そして、図9および図10に示すように、樹脂13による封止面側に接着剤を塗布してカード基板1にキャップ16を接着する。その後、図11に示すように、キャップ16にラベルを貼り付け、メモリカードMCが完成する。
なお、本実施の形態では、フラッシュメモリチップ2および第1コントローラチップ3を搭載する第1ソルダーレジスト1bの上面に凹部を形成したが、フラッシュメモリチップ2を搭載する第1ソルダーレジスト1bの上面のみに凹部を形成してもよい。フラッシュメモリチップ2の上面には第2コントローラチップ4が積層されるが、第1コントローラチップ3の上面には他のチップを搭載しないことから、第1コントローラチップ3の裏面と第1ソルダーレジスト1bの上面との接着に相対的に厚い接着剤を使用することができる。これにより、第1ソルダーレジスト1bの上面を平坦化しなくとも、強い接着強度を得ることができる。
このように、本実施の形態によれば、フラッシュメモリチップ2および第1コントローラチップ3を搭載する第1ソルダーレジスト1bのチップ搭載面(凹部14の底面)を平坦化することにより、フラッシュメモリチップ2および第1コントローラチップ3の裏面と第1ソルダーレジスト1bのチップ搭載面(凹部14の底面)との隙間が少なくなり、両者の接触面積が増えることから、第1ソルダーレジスト1bのチップ搭載面(凹部の底面)からのフラッシュメモリチップ2および第1コントローラチップ3の剥がれを低減することができる。
また、第1ソルダーレジスト1bに形成された凹部14にフラッシュメモリチップ2、第1コントローラチップ3および第2コントローラチップ4を搭載することから、フラッシュメモリチップ2および第1コントローラチップ3と第1ソルダーレジスト1bとを接着する絶縁ペースト、ならびにフラッシュメモリチップ2と第2コントローラチップ4とを接着する絶縁ペーストを厚くすることができる。これにより、フラッシュメモリチップ2および第1コントローラチップ3と第1ソルダーレジスト1bとの接着強度、ならびにフラッシュメモリチップ2と第2コントローラチップ4との接着強度が向上する。
また、第1ソルダーレジスト1bに形成された凹部14にフラッシュメモリチップ2、第1コントローラチップ3および第2コントローラチップ4を搭載することから、フラッシュメモリチップ2および第1コントローラチップ3と第1ソルダーレジスト1bとを接着する絶縁ペーストのリード形成領域へのはみ出し、ならびにフラッシュメモリチップ2および第1コントローラチップ3を接着する際の半導体チップの回転を防ぐことができる。
また、組成が互いに異なる第1ソルダーレジスト1bであっても、同様な平坦化ができるので、第1ソルダーレジスト1bの材料の共通化を図ることが可能となり、コストを低減することができる。
以上、本発明者によってなされた発明を実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。
例えば、本実施の形態によれば、MMCメモリカードへの適用を前提としてメモリカードの構造およびその製造方法等を説明したが、これに限定されるものではなく、例えばCF(Compact Flash)メモリカード、SD(Secure Digital)またはメモリスティックにも本願発明を適用することができる。
本発明は、半導体装置または電子機器等の製造業において利用可能である。
1 カード基板
1a コア材
1b 第1ソルダーレジスト
1c 第2ソルダーレジスト
1F フレーム
2 フラッシュメモリチップ
3 第1コントローラチップ
4 第2コントローラチップ
5 接続端子
6 接続端子
7 外部端子
8a 第1ボンディングワイヤ
8b 第2ボンディングワイヤ
8c 第3ボンディングワイヤ
9 外部端子
11 外部端子
13 樹脂
14 凹部
15 金型
16 キャップ
MC メモリカード
1a コア材
1b 第1ソルダーレジスト
1c 第2ソルダーレジスト
1F フレーム
2 フラッシュメモリチップ
3 第1コントローラチップ
4 第2コントローラチップ
5 接続端子
6 接続端子
7 外部端子
8a 第1ボンディングワイヤ
8b 第2ボンディングワイヤ
8c 第3ボンディングワイヤ
9 外部端子
11 外部端子
13 樹脂
14 凹部
15 金型
16 キャップ
MC メモリカード
Claims (5)
- コア材と、前記コア材の上面に形成された第1ソルダーレジストと、前記コア材の下面に形成された第2ソルダーレジストとから構成されたカード基板を有し、前記第1ソルダーレジスト上に半導体チップを搭載する半導体装置の製造方法であって、以下の工程を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法:
(a)前記第1ソルダーレジストのチップ搭載領域に凹部を形成する工程、
(b)前記凹部の底面に前記半導体チップを接着する工程。 - 請求項1記載の半導体装置の製造方法において、金型を用いて前記第1ソルダーレジストをプレスすることにより前記凹部を形成することを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 請求項1記載の半導体装置の製造方法において、前記凹部の底面における凹凸の最も高い位置と最も低い位置との差は10μmよりも小さいことを特徴とする半導体装置の製造方法。
- コア材と、前記コア材の上面に形成された第1ソルダーレジストと、前記コア材の下面に形成された第2ソルダーレジストとから構成されたカード基板を有し、前記第1ソルダーレジスト上に半導体チップを搭載する半導体装置の製造方法であって、以下の工程を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法:
(a)前記第1ソルダーレジストのチップ搭載領域に凹部を形成する工程、
(b)前記凹部の底面に前記半導体チップを接着する工程、
(c)前記半導体チップの上面の外部端子と前記コア材の表面に形成されて前記第1ソルダーレジストから露出した接続端子とをボンディングワイヤを用いて接続する工程、
(d)前記半導体チップおよび前記ボンディングワイヤを樹脂により封止する工程。 - コア材と、前記コア材の上面に形成された第1ソルダーレジストと、前記コア材の下面に形成された第2ソルダーレジストとから構成されたカード基板を有し、前記第1ソルダーレジスト上に半導体チップを搭載する半導体装置の製造方法であって、以下の工程を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法:
(a)前記第1ソルダーレジストのチップ搭載領域に凹部を形成する工程、
(b)前記凹部の底面に第1半導体チップを接着する工程、
(c)前記第1半導体チップの上面に第2半導体チップを接着する工程、
(d)前記第1半導体チップの上面の外部端子と前記コア材の表面に形成されて前記第1ソルダーレジストから露出した接続端子とを第1ボンディングワイヤを用いて接続し、前記第2半導体チップの上面の外部端子と前記コア材の表面に形成されて前記第1ソルダーレジストから露出した接続端子とを第2ボンディングワイヤを用いて接続する工程、
(e)前記第1および第2半導体チップならびに前記第1および第2ボンディングワイヤを樹脂により封止する工程。
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WO2013042286A1 (en) | 2011-09-20 | 2013-03-28 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Semiconductor device |
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