JP2008101967A - 半導体試験装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】被試験対象である複数のデバイスからの出力信号を同一ピンに入力して良否判定する半導体試験装置において、良否判定する複数の判定部と、デバイス毎に複数の判定部のうちの1つを選択して動作可能状態に制御するパターン発生部とを備える。
【選択図】 図1
Description
従って本発明が解決しようとする課題は、テスト時間が短縮できると共に複数デバイスからの出力信号を同一ピンに入力して行う並列判定においても各デバイスの判定結果を保持することが可能な半導体試験装置を実現することにある。
被試験対象である複数のデバイスからの出力信号を同一ピンに入力して良否判定する半導体試験装置において、
前記良否判定する複数の判定部と、前記デバイス毎に前記複数の判定部のうちの1つを選択して動作可能状態に制御する前記パターン発生部とを備えたことを特徴とする。
被試験対象である複数のデバイスからの出力信号を同一ピンに入力して良否判定する半導体試験装置において、
前記複数のデバイスに信号を出力するドライバと、前記出力信号が入力されるコンパレータと、ストローブ信号を発生するタイミング発生部と、前記コンパレータからの出力と期待値を前記ストローブ信号のタイミングで比較して前記良否判定を行う複数の判定部と、前記デバイス毎に前記複数の判定部のうちの1つを選択して動作可能状態に制御すると共に前記期待値を発生させるパターン発生部とを備えたことを特徴とする。
請求項2記載の半導体試験装置において、
前記パターン発生部が、
前記判定部毎に異なる期待値を出力することを特徴とする。
請求項2若しくは請求項3記載の半導体試験装置において、
前記タイミング発生部が、
前記判定部毎に異なるストローブ信号を出力することを特徴とする。
被試験対象である複数のデバイスからの出力信号を同一ピンに入力して良否判定する半導体試験装置において、
前記複数のデバイスに信号を出力するドライバと、前記出力信号が入力されるコンパレータと、ストローブ信号を発生するタイミング発生部と、前記コンパレータからの出力と期待値を前記ストローブ信号のタイミングで比較して前記良否判定を行う判定部と、この判定部からの出力信号により出力が保持される複数のフリップフロップと、前記デバイス毎に前記複数のフリップフロップのうちの1つを選択して動作可能状態に制御すると共に前記期待値を発生させるパターン発生部とを備えたことを特徴とする。
請求項1、請求項2、請求項3及び請求項4の発明によれば、被試験対象である複数のデバイスにドライバを介して信号を入力し、これら複数のデバイスから出力されるそれぞれの出力信号を半導体試験装置の同一ピンに入力し、デバイス毎に判定部を切り替えて良否判定することにより、パターン入力は1回で済むと共に判定部をリセットすることなく試験が行え、判定部が複数あるので、テスト時間が短縮できると共に複数デバイスからの出力信号を同一ピンに入力して行う並列判定においても各デバイスの判定結果を保持することが可能になる。
2,3,4 ドライバ
5 コンパレータ
6,9,10,11 判定部
7 タイミング発生部
12,13 フリップフロップ
50,51,52 半導体試験装置
100,101 デバイス
Claims (5)
- 被試験対象である複数のデバイスからの出力信号を同一ピンに入力して良否判定する半導体試験装置において、
前記良否判定する複数の判定部と、
前記デバイス毎に前記複数の判定部のうちの1つを選択して動作可能状態に制御する前記パターン発生部と
を備えたことを特徴とする半導体試験装置。 - 被試験対象である複数のデバイスからの出力信号を同一ピンに入力して良否判定する半導体試験装置において、
前記複数のデバイスに信号を出力するドライバと、
前記出力信号が入力されるコンパレータと、
ストローブ信号を発生するタイミング発生部と、
前記コンパレータからの出力と期待値を前記ストローブ信号のタイミングで比較して前記良否判定を行う複数の判定部と、
前記デバイス毎に前記複数の判定部のうちの1つを選択して動作可能状態に制御すると共に前記期待値を発生させるパターン発生部と
を備えたことを特徴とする半導体試験装置。 - 前記パターン発生部が、
前記判定部毎に異なる期待値を出力することを特徴とする
請求項2記載の半導体試験装置。 - 前記タイミング発生部が、
前記判定部毎に異なるストローブ信号を出力することを特徴とする
請求項2若しくは請求項3記載の半導体試験装置。 - 被試験対象である複数のデバイスからの出力信号を同一ピンに入力して良否判定する半導体試験装置において、
前記複数のデバイスに信号を出力するドライバと、
前記出力信号が入力されるコンパレータと、
ストローブ信号を発生するタイミング発生部と、
前記コンパレータからの出力と期待値を前記ストローブ信号のタイミングで比較して前記良否判定を行う判定部と、
この判定部からの出力信号により出力が保持される複数のフリップフロップと、
前記デバイス毎に前記複数のフリップフロップのうちの1つを選択して動作可能状態に制御すると共に前記期待値を発生させるパターン発生部と
を備えたことを特徴とする半導体試験装置。
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JP2000137996A (ja) * | 1998-10-29 | 2000-05-16 | Ando Electric Co Ltd | メモリicテストシステム |
JP2003344505A (ja) * | 2002-05-30 | 2003-12-03 | Toshiba Microelectronics Corp | Lsiテストシステム |
JP2003344492A (ja) * | 2002-05-24 | 2003-12-03 | Yokogawa Electric Corp | Icテスタのアダプタ装置 |
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