JP2008094080A - 液体吐出ヘッド及び画像形成装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ノズルの高密度化を図るときに流体抵抗部間隔壁の幅が狭くなり、工法的な制約によって流体抵抗部間隔壁に肉抜き部を形成することは困難である。
【解決手段】液室６、流体抵抗部７、及び導入部８で１つの流路１０１が構成され、隣り合う２つの流路１０１Ａ、１０１Ｂで構成される流路群１０２が、流路群１０２を単位としてノズルの並び方向に並べて配置され、各流路群１０２の各流路１０１Ａ、１０１Ｂの流体抵抗部７、７は、液室６、６の対向する側面側、つまり左側の流路１０１Ａは左側面に、右側の流路１０１Ｂは右側面に揃えることで、これらの流体抵抗部７、７間に広い隔壁部を確保し、この隔壁部に流路部材のない肉抜き部１０３を形成し、流路群１０２、１０２間の流体抵抗部７の隔壁部７ｂには肉抜き部１０３を形成していない。
【選択図】図５

Description

本発明は液体吐出ヘッド及び画像形成装置に関する。

プリンタ、ファクシミリ、複写装置、これらの複合機等の画像形成装置として、例えば、記録液（液体）の液滴を吐出する液体吐出ヘッドで構成した記録ヘッドを含む液体吐出装置を用いて、媒体（以下「用紙」ともいうが材質を限定するものではなく、また、被記録媒体、記録媒体、転写材、記録紙なども同義で使用する。）を搬送しながら、液体としての記録液（以下、インクともいう。）を用紙に付着させて画像形成（記録、印刷、印写、印字も同義語で用いる。）を行うものがある。

なお、画像形成装置は、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックス等の媒体に液体を吐出して画像形成を行う装置を意味し、また、「画像形成」とは、文字や図形等の意味を持つ画像を媒体に対して付与することだけでなく、パターン等の意味を持たない画像を媒体に付与することをも意味する。また、液体とは記録液、インクに限るものではなく、画像形成を行うことができる液体であれば特に限定されるものではない。また、液体吐出装置とは、液体吐出ヘッドから液体を吐出する装置を意味し、画像を形成するものに限らない。

液体吐出ヘッドとしては、例えば、数μｍ〜数十μｍの大きさの液滴を吐出するノズル、このノズルが連通する液室、液室の壁面を形成する振動板と、振動板を介して液室内の記録液を加圧する圧電素子などの圧電アクチュエータとを備えたもの、液滴を吐出するノズル、ノズルが連通する液室と、液室内の記録液を発熱抵抗体などの電気熱変換素子を用いて膜沸騰による相変化を利用して加圧するサーマルアクチュエータとを備えたもの、液滴を吐出するノズル、このノズルが連通する液室、液室の壁面を形成する振動板と、振動板に対向する電極との間で生じる静電力で振動板を変位させて液室内の記録液を加圧する静電アクチュエータとを備えたものなどが知られている。

ところで、液室やこの液室に液体を供給する液体供給路となる液室よりも幅の狭い流体抵抗部などの流路を形成する流路板（流路部材、流路形成部材、液室形成部材、液室部材なども同義で用いる。）としては、パンチプレス等で抜いた金属プレートを接着接合し積層したもの、シリコン単結晶基板を異方性エッチングして形成したもの、ＳＵＳなどの金属プレートをエッチングで形成したもの、電鋳法で形成したものなどが挙げられる。

例えば、電鋳法によって部材を形成する場合、電鋳支持基板（電極基板）上に非導電性のレジストでパターンを形成して電鋳メッキ膜を析出するが、このとき、レジストの遮蔽面積が大きくなるほど、その部位の電界がレジスト端部の電極部に集中してメッキ膜厚が厚くなる、つまり、膜厚が偏る（これを「偏肉」という。）傾向がある。

この場合、ノズル板などの比較的遮蔽パターンの少ない部材であれば、これらの偏肉は大きな問題とはならないが、振動板などのように微細な遮蔽パターンが形成されている部材である場合、パターンによる膜厚の偏りが大きくなる。このような偏肉は、振動板と流路板を接合する場合、振動板とアクチュエータとしての圧電素子などを接合する場合、大きな問題となる。つまり、偏肉が生じている場合、完全な接合を行なうには偏肉量（最も低い部分と厚い部分の差）以上の接着剤の膜厚が必要になる。具体的には１０μｍの偏肉量があれば接着剤の膜厚は１０μｍ以上にしなければならない。しかしながら、接着剤の量が増えることは、振動板の肉厚の厚い部分では接着剤がはみ出し、微細なパターンであれば近接するパターンと接してしまったり、振動板の変形可能部分（ダイヤフラム部）が接着剤で埋まってしまったりする。

また、一般に、流路を構成する流体抵抗部は開口幅或いは開口高さ（開口断面積）が液室よりも小さいので、この流体抵抗部に対して接着剤がはみ出すと、滴吐出特性に大きな影響を与えるだけでなく、滴吐出不良になる。

従来、特許文献１には、流体抵抗部への接着剤のはみ出しを低減するために、液室及び流体抵抗部を有する流路部材は流体抵抗部側が薄く、液室側が厚くなるように形成することが記載されている。
特開２００２−０５２７２３号公報

特許文献２には、複数枚の板部材で流体抵抗部を形成し、流路高さ及び流路幅を調整して流体抵抗値をすることが記載されている。
特開２００１−０３０４８３号公報

特許文献３には、振動部領域での電鋳メッキ総膜厚の偏肉量を３μｍ以下、振動板全体での電鋳メッキ総膜厚の偏肉量を５μｍ以下に抑え、微細パターンが形成された部分に、パターンが形成されていないパターン抜き部を形成することが記載されている。
特開２００４−０７４５８２号公報

特許文献４には、流路形成基板のインク供給口（流体抵抗部）が、圧力発生室に向けて拡開するように複数の段差部を有する形状として形成し、流体抵抗部間の隔壁には接着領域に微小な凹部や細い溝を形成し、接着作業時の押圧力ではみ出しかけた接着剤を吸収して、接着剤が圧力発生室やインク供給口に流れ込むのを防止することが記載されている。
特開平０９−０５７９６１号公報

従来の一般的な流路パターンは図２８に示すように、液室（加圧液室）５０１と、液室５０１に液体を供給する供給路となる流体抵抗部５０２と、流体抵抗部５０２が臨んでいる液体導入路５０３とで１つの流路５００が構成され、各流路５００がノズルの並び方向に沿って所定の間隔で並んで配置されている。

このような流路構成の場合、隣り合う流路５００、５００間では、液室５０１、５０１間の隔壁（液室間隔壁）５１１の幅（流路の並び方向の幅）と流体抵抗部５０２、５０２間の隔壁（流体抵抗部間隔壁）５１２の幅とが異なるため、電鋳法によって流路部材を形成しようとすると、液室５０１外周部分と流体抵抗部５０２外周部分の電流密度が大きく異なり、電鋳法で形成される膜厚分布が大きくなり、液室間隔壁５１１の高さと流体抵抗部間隔壁５１２の高さが異なってしまうことになる。

また、電鋳工法ではなく、プレス工法やエッチング工法で流路部材を形成する場合であっても、液室間隔壁５１１の幅よりも流体抵抗部間隔壁５１２の幅が広いことから、流体抵抗部５０２への接着剤のはみ出し量が多くなり、吐出不良の原因となる。

そこで、流体抵抗部間隔壁５１２に接着剤の逃げ場となる肉抜き部（凹部）を設けることが考えられるが、図２１のような流路パターンでは、ノズルの高密度化を図る場合、流体抵抗部間隔壁５１２の幅が狭くなり、工法的な制約によって、実際には、流体抵抗部間隔壁に肉抜き部を形成することは困難であり、仮に肉抜き部を形成できても、寸法的な制約が厳しく、目的とする滴吐出特性が得られなくなるという課題がある。

なお、上述した特許文献４には流体抵抗部が圧力発生室に向けて拡開するように複数の段差部を有する形状とし、流体抵抗部間の隔壁には接着領域に微小な凹部や細い溝を形成する構成が開示されているが、液室の配置密度（ノズル配置密度）の高密度化が進むと、流体抵抗部間の間隔が狭くなり、凹部を設けることが困難になることは図２１に示す流路パターンの場合と同じである。

本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、高密度化を図りつつ、流体抵抗部間に隔壁幅の変化を調整し、あるいは、接着剤の逃げ場となる肉抜き部を配置可能な液体吐出ヘッド及びこの液体吐出ヘッドを備える画像形成装置を提供することを目的とする。

上記の課題を解決するため、本発明に係る液体吐出ヘッドは、液滴を吐出するノズルが連通する液室及びこの液室に液体を供給する液室よりも幅の狭い面積の小さい流体抵抗部を含む流路を備える液体吐出ヘッドにおいて、隣り合う複数の流路で構成される流路群が、流路群を単位として並べて配置され、各流路群内の流路間隔壁部には流路を形成する部材の全部又は一部がない肉抜き部が形成され、各流路群間の流路間隔壁部には肉抜き部が形成されていない構成とした。

ここで、流路群内の液室間ピッチと隣り合う流路群間の液室間ピッチが同じである構成とできる。また、流路群内の肉抜き部は流体抵抗部間に設けられている構成とできる。この場合、流路群内の液室間隔壁の幅と、隣接する流路群間の液室間隔壁の幅と、流体抵抗部と肉抜き部との間の隔壁の幅とが、略同じである構成とできる。また、流路群間の隔壁が流路の液体の流れる方向に沿った直線形状である構成とできる。この場合、１つの流路の平面形状は流路の並び方向において非線対称であり、流路群の平面形状は流路の並び方向において線対称である構成とできる。また、流路を構成する各部は同じ部材又は異なる複数の部材で形成されている構成とできる。

本発明に係る液体吐出ヘッドは、液滴を吐出するノズルが連通する液室及びこの液室に液体を供給する液室よりも幅の狭い流体抵抗部を含む複数の流路を備える液体吐出ヘッドにおいて、各流路の流体抵抗部を隔てる隔壁部には、複数の流路を平面的に見て流路配列方向に沿う同一線上で、流路を形成する部材の全部又は一部がない肉抜き部が形成されている隔壁部と、肉抜き部が形成されていない隔壁部とがある構成とした。

ここで、同一の隔壁部内に肉抜き部が形成された部分と肉抜き部が形成されていない部分とがある構成とできる。

本発明に係る画像形成装置は、本発明に係る液体吐出ヘッドを備えたものである。

本発明に係る液体吐出ヘッドによれば、隣り合う複数の流路で構成される流路群が、流路群を単位として並べて配置され、各流路群内の流路間隔壁部には流路を形成する部材の全部又は一部がない肉抜き部が形成され、各流路群間の流路間隔壁部には肉抜き部が形成されていない構成としたので、高密度化を図りつつ、流体抵抗部間に隔壁幅の変化を調整し、あるいは、接着剤の逃げ場となる肉抜き部を配置できる。

本発明に係る液体吐出ヘッドによれば、各流路の流体抵抗部を隔てる隔壁部には、複数の流路を平面的に見て流路配列方向に沿う同一線上で、流路を形成する部材の全部又は一部がない肉抜き部が形成されている隔壁部と、肉抜き部が形成されていない隔壁部とがある構成としたので、高密度化を図りつつ、流体抵抗部間に隔壁幅の変化を調整し、あるいは、接着剤の逃げ場となる肉抜き部を配置できる。

本発明に係る画像形成装置によれば、本発明に係る液体吐出ヘッドを備えているので、高密度化による高画質画像を形成することができる。

以下、本発明の実施形態について添付図面を参照して説明する。本発明に係る液体吐出ヘッドの一例について図１ないし図４を参照して説明する。なお、図１は同ヘッドの分解斜視説明図、図２は同ヘッドの液室長手方向に沿う断面説明図、図３はバイピッチ構造にした場合の同ヘッドの液室短手方向に沿う断面説明図、図４はノーマルピッチ構造にした場合の同ヘッドの液室短手方向に沿う断面説明図である。

この液体吐出ヘッドは、例えば金属部材からなる流路形成部材である流路板１と、この流路板１の上面に接合したノズル形成部材である金属部材からなるノズル板２と、この流路板１の下面に接合した金属部材からなる振動板３とを有し、これらによって液滴を吐出するノズル４が連通路５を介して連通する加圧液室６、流体抵抗部７、この流体抵抗部７を介して液室６と連通する導入部８を形成し、導入部８に振動板３に形成した供給口９を介して後述するフレーム部材１７に形成した共通液室１０から記録液（例えばインク）を供給する。

そして、液室６の壁面を形成する振動板３の面外側（液室６と反対面側）に、各加圧液室６に対応して、振動板３に形成した図示しない連結部を介して駆動素子（アクチュエータ手段、圧力発生手段）としての積層型圧電素子１２の上端面を接合している。また、積層型圧電素子１２の下端面はベース部材１３に接合している。

ここで、圧電素子１２は、圧電材料層２１と内部電極２２ａ、２２ｂとを交互に積層したものであり、内部電極２２ａ、２２ｂをそれぞれ端面に引き出して端面電極（外部電極）２３ａ、２３ｂに接続し、端面電極２３ａ、２３ｂに電圧を印加することで積層方向の変位を生じる。

そして、圧電素子１２には駆動信号を与えるために半田接合又はＡＣＦ（異方導電性膜）接合若しくはワイヤボンディングでＦＰＣケーブル１５を接続し、このＦＰＣケーブル１５には各圧電素子１２に選択的に駆動波形を印加するための図示しない駆動回路（ドライバＩＣ）を実装する。

なお、液室短手方向（ノズル４の並び方向）では、図３に示すように、圧電素子１２と支柱部１２Ａを交互に配置したバイピッチ構造とすることもできるし、あるいは、図４に示すように、支柱部１２を設けないノーマルピッチ構造とすることもできる。

このヘッドでは、圧電素子１２の圧電方向としてｄ３３方向の変位を用いて液室６内インクを加圧する構成とし、更に、液滴の吐出方向が液室６での記録液の流れ方向と異なるサイドシュータ方式で液滴を吐出させる構成としている。サイドシュータ方式とすることで、圧電素子１２の大きさが略ヘッドの大きさとなり、圧電素子１２の小型化を直接ヘッドの小型化に結びつけることができ、ヘッドの小型化を図り易い。

さらに、これらの圧電素子１２、ベース部材１３及びＦＰＣ１５などで構成されるアクチュエータ部の外周側には、エポキシ系樹脂或いはポリフェニレンサルファイトで射出成形により形成したフレーム部材１７を接合している。そして、このフレーム部材１７には前述した共通液室１０を形成するとともに、この共通液室１０に外部から記録液を供給するための供給口１９を形成し、この供給口１９は更に図示しないサブタンクや記録液カートリッジなどの記録液供給源に接続される。

ここで、流路板１は、ニッケル電鋳により、連通路５となる貫通穴、加圧液室６、流体抵抗部７、連通部８などを構成する溝部をそれぞれ形成している。なお、加圧液室６はそれぞれ隔壁６ａにて隔てられている。

ノズル板２は、ニッケル電鋳でノズル４となるノズル孔を形成している。このノズル板２のノズル４は例えば直径１０〜３５μｍの孔で形成され、流路板１に接着剤接合している。そして、このノズル板２の液滴吐出側面（吐出方向の表面：吐出面、又は液室６側と反対の面）には撥水処理を施している。

振動板３は、ニッケル電鋳で形成している。この振動板３は加圧液室６に対応する部分を、変形を容易にするための薄肉部とし、中央部には圧電素子１２と接合するための図示しない連結部を設けている。

圧電素子１２は、積層型圧電素子部材をベース部材１３の接合した後、ダイシングソーなどによって溝加工を施すことによって分割して形成したものである。前述した図３のバイピッチ構造をとるときの支柱部１２Ａは、溝加工によって形成される圧電素子部材であるが、駆動電圧を印加しないので単なる支柱として機能するだけである。

このように構成した液体吐出ヘッドにおいては、例えば押し打ち方式で駆動する場合には、図示しない制御部から記録する画像に応じて複数の圧電素子２に２０〜５０Ｖの駆動パルス電圧を選択的に印加することによって、パルス電圧が印加された圧電素子１２が変位して振動板３をノズル板２方向に変形させ、液室６の容積（体積）変化によって液室６内の液体を加圧することで、ノズル板２のノズル４から液滴が吐出される。そして、液滴の吐出に伴って液室６内の圧力が低下し、このときの液流れの慣性によって液室６内には若干の負圧が発生する。この状態の下において、圧電素子１２への電圧の印加をオフ状態にすることによって、振動板２が元の位置に戻って液室６が元の形状になるため、さらに負圧が発生する。このとき、共通液室１０から液室６内に記録液が充填され、次の駆動パルスの印加に応じて液滴がノズル４から吐出される。

なお、液体吐出ヘッドは、上記の押し打ち以外にも、引き打ち方式（振動板３を引いた状態から開放して復元力で加圧する方式）、引き−押し打ち方式（振動板３を中間位置で保持しておき、この位置から引いた後、押出す方式）などの方式で駆動することもできる。

そこで、この液体吐出ヘッドに適用した本発明の第１実施形態について図５をも参照して説明する。なお、図５は同ヘッドの流路板（部材）に形成される流路パターンの平面説明図である。
この実施形態では、液滴を吐出するノズル４が連通する液室６、この液室６に液体を供給する液室６よりも幅（ノズル並び方向の幅、特記しない限り、以下でも同じ意味）の狭い流体抵抗部７、及び導入部８で１つの流路１０１が構成され、隣り合う２つ（複数）の流路１０１Ａ、１０１Ｂで構成される流路群１０２が、流路群１０２を単位としてノズルの並び方向に並べて配置されている。なお、図５では２つの流路群１０２を図示しているが、ノズル数に対応する液室数が得られるように繰り返し並べられる（以下の実施形態においても同様である。）。

この場合、１つの流路群１０２内の隣り合う液室６、６間のピッチ（液室間ピッチ）と隣り合う流路群１０２、１０２の各液室６、６間のピッチ（液室間ピッチ）は同じにする。

そして、各流路群１０２の各流路１０１Ａ、１０１Ｂの流体抵抗部７、７は、液室６、６の対向する側面側、つまり左側の流路１０１Ａは左側面に、右側の流路１０１Ｂは右側面に揃えることで、これらの流体抵抗部７、７間に広い隔壁部を確保し、この隔壁部に流路部材（流路板）の全部又は一部がない肉抜き部１０３を形成している。一方、流路群１０２、１０２間の流体抵抗部７の隔壁部７ｂには肉抜き部１０３を形成していない。

ここで、各流路群１０２内の各液室６間の隔壁部６ａの幅、流体抵抗部７と肉抜き部１０４との間の隔壁部７ａの幅、隣り合う流路群１０２の液室６間の隔壁部６ｂの幅、隣り合う流路群１０２の流体抵抗部７間の隔壁部７ｂの幅は、略同じに形成している。また、液室間隔壁部６ｂ及び流体抵抗部間隔壁部７ｂで構成される流路群１０２、１０２間の隔壁部は平面形状（図５の形状）で直線形状としている。

この場合、各流路１０１の流体抵抗部７を隔てる隔壁部には、複数の流路１０１を平面的に見て（図２の平面図の状態の意味）流路配列方向に沿う同一線Ｘ上で、流路を形成する部材の全部又は一部がない肉抜き部１０３が形成されている隔壁部７ａと、肉抜き部１０３が形成されていない隔壁部７ｂとがある構成となる（以下の第２ないし図１５実施形態でも同様であるが、図を簡単にするため、説明及び図示を省略する。）。

このように、流体抵抗部の隔壁部には、複数の流路を平面的に見て流路配列方向に沿う同一線上で、流体抵抗部の隔壁部分に流路を形成する部材の全部又は一部がない肉抜き部が形成されている隔壁部（隔壁部７ａ）と、肉抜き部が形成されていない隔壁部（隔壁部７ｂ）とがあるので、高密度化を図りつつ、流体抵抗部間に隔壁幅の変化を調整し、あるいは、接着剤の逃げ場となる肉抜き部を配置できる。

また、流路群としてみた場合、隣り合う複数の流路で構成される流路群が、流路群を単位として並べて配置され、各流路群内の流路間隔壁部には流路を形成する部材がない肉抜き部が形成され、各流路群間の流路間隔壁部には肉抜き部が形成されていない構成とすることで、ノズル、液室を高密度に配置しても、流体抵抗部間の隔壁部の幅を広げて肉抜き部を形成することができるようになるので、高密度化を図りつつ、流体抵抗部間の隔壁幅を液室間隔壁の幅と同じになるようにし、あるいは、接着剤の逃げ場を確保できて、接合不良が生じることがなくなる。

また、これにより１つの流路群内の隣接する流体抵抗部の間には肉抜き部が存在し、流路群間の隣接する流体抵抗部の間には肉抜き部が存在しないという異なる流路形状となるので、上述したように液室間ピッチを同じにする（１つの流路群１０２内の隣り合う液室６、６間のピッチと隣り合う流路群１０２、１０２の各液室６、６間のピッチを同じにする。）ことにより、流路を高密度で配置しつつ、流路外周をほぼ同等の幅で作製することが可能な形状となる。

それにより、電鋳法やエッチング法等の工法を利用して流路を形成するとき、流路周辺に生じる電界分布を均一化することが可能となり、電鋳法等により形成される隔壁部の高さのバラツキを低減することができる。また、流路群内の液室間ピッチと流路群間の液室間ピッチを同じにすることで、隣接する液室間の相互干渉をバランスよく分散させることが可能となり、各液室からの滴の吐出特性を同じにすることができる。

また、流路群内の肉抜き部は流体抵抗部間に設けられている構成、すなわち、流路の断面積が小さくなり、隔壁幅が広くなる流体抵抗部間の隔壁に肉抜き部を設ける構成とすることで、高密度に配置された流路パターン間に肉抜き部を挿入できるスペースを確保することができる。

この場合、流路群内の液室間隔壁の幅と、隣接する流路群の液室間隔壁の幅と、流体抵抗部と肉抜き部との間の隔壁の幅とが、略同じである構成とすることで、電鋳法により流路を形成するときに、隔壁部周辺に生じる電界分布を均一化することが可能となり、電鋳法により形成される隔壁部の高さバラツキを低減することができ、隔壁部の高さを揃えるための研磨工程等を削減することができて工程の簡略化を図れる。

また、流路群間の隔壁（液室間隔壁部６ｂ及び流体抵抗部間隔壁部７ｂ）が流路の液体の流れる方向に沿った直線形状である構成とすることで、隔壁周りに発生する電界分布を均一化し、電鋳法で作製する流路部材の均膜化が可能となる。つまり、電鋳法による場合、電流は曲率の高い導体部分に集中する傾向があり、曲率の高い導体周辺部の電界密度が高くなる。電鋳法で流路を形成する際に均膜化するためには、可能な限り電界密度を均一化する必要があり、電鋳の線パターンは曲がりの少ない直線の方が好ましいことから、隔壁形状を直線状に形成することにより、隔壁周りに発生する電界分布を均一化し、電鋳法で作製する流路板の均膜化が可能となるのである。

また、各流体抵抗部間全てに肉抜き部を設けると、流体抵抗部間の肉抜き部は微細パターンになってしまい、形成の難易度が高くなったり、不良の原因になったり、パターンが集中することで電界密度が高くなって流体抵抗部の隔壁が高くなってしまったりする不具合が発生する。そこで、上述したように、１つの流路の平面形状は流路の並び方向において非線対称であり、流路群の平面形状は流路の並び方向において線対称である構成、すなわち、上述した例のように、流路群内の流体抵抗部間には肉抜き部を設け、流路群間の流体抵抗部間には肉抜き部を設けない、というようなパターンにすることで、一つ一つの肉抜き部の面積を大きく確保することが可能となる。このように、肉抜き部を拡大することで、流体抵抗部近辺の電界集中を低減することができる。

また、本実施形態のように流路を構成する各部は同じ部材で形成することが好ましい。つまり、液室、流体抵抗部及び肉抜き部を含む流路を１枚の流路形成部材で形成することにより、複数の流路形成部材を接合する微細接合工程を減らすことが可能となり、製造工数及び組立工数を減らすことができる。また、複数の流路形成部材を用いて流路を形成する場合には、各流路形成部材表面に接着剤を塗布し、微細接合を行っていかなければならないし、各層への接着剤の塗布により接着剤のはみ出す量が多くなり、はみ出す可能性が高くなる。接着面積が広くなる流体抵抗部間の隔壁部に肉抜き部を設けることにより、この接着剤は見出し量を低減することができ、接着剤ははみ出しによる不安定吐出や吐出不良の原因を低減することができる。

次に、本発明の第２実施形態について図６を参照して説明する。なお、図６は同ヘッドの流路板（部材）に形成される流路パターンの平面説明図である。
この実施形態では、液滴を吐出するノズル４が連通する液室６、この液室６に液体を供給する液室６よりも幅（ノズル並び方向の幅、特記しない限り、以下でも同じ意味）の狭い流体抵抗部７、及び導入部８で１つの流路１０１が構成され、隣り合う３つ（複数）の流路１０１Ａ、１０１Ｂ、１０１Ｃで構成される流路群１０２が、流路群１０２を単位として、各流路群１０２内及び流路群１０２間の液室間ピッチが同じになるように、ノズルの並び方向に並べて配置されている。

そして、各流路群１０２の両端側の各流路１０１Ａ、１０１Ｃの流体抵抗部７、７は、液室６、６の対向する側面側、つまり左側の流路１０１Ａは左側面に、右側の流路１０１Ｃは右側面に揃えることで、各流路１０１Ａ、１０１Ｃの各流体抵抗部７と中央の流路１０１Ｂの流体抵抗部７との間に広い隔壁部を確保し、この隔壁部に流路部材のない肉抜き部１０３を形成している。一方、流路群１０２、１０２間の流体抵抗部７の隔壁部７ｂには肉抜き部１０３を形成していない。

また、各流路群１０２内の各液室６間の隔壁部６ａの幅、流体抵抗部７と肉抜き部１０４との間の隔壁部７ａの幅、隣り合う流路群１０２の液室６間の隔壁部６ｂの幅、隣り合う流路群１０２の流体抵抗部７間の隔壁部７ｂの幅は、略同じに形成している。

このように構成した場合にも、流路群内の液室間隔壁の幅、隣接する流路群の液室間隔壁の幅及び流体抵抗部と肉抜き部との間の隔壁の幅を略同じにすることができて、均膜性が良好となり、更に接着剤のはみ出し量も低減する。ただし、第１実施形態に比べると、流体抵抗部の流路幅を広げられる範囲の制限が狭くなる。

次に、本発明の第３実施形態について図７を参照して説明する。なお、図７は同ヘッドの流路板（部材）に形成される流路パターンの平面説明図である。
この実施形態では、上記第１実施形態の構成において、１つの流路群１０２を構成している流路１０１Ａ、１０１Ｂの各導入部８を連結して１つの導入部８としている。

次に、本発明の第４実施形態について図８を参照して説明する。なお、図８は同ヘッドの流路板（部材）に形成される流路パターンの平面説明図である。
この実施形態では、上記第１実施形態の構成において、隣接する２つの流路群１０２を構成している各流路１０１Ａ、１０１Ｂの各導入部８を連結して１つの導入部８としている。

次に、本発明の第５実施形態について図９を参照して説明する。なお、図９は同ヘッドの流路板（部材）に形成される流路パターンの平面説明図である。
この実施形態では、上記第２実施形態の構成において、１つの流路群１０２を構成している流路１０１Ａ、１０１Ｂ、１０１Ｃの各導入部８を連結して１つの導入部８としている。

次に、本発明の第６実施形態について図１０を参照して説明する。なお、図１０は同ヘッドの流路板（部材）に形成される流路パターンの平面説明図である。
この実施形態では、上記第１実施形態の構成において、隣接する２つの流路群１０２を構成している各流路１０１Ａ、１０１Ｂ、１０１Ｃの各導入部８を連結して１つの導入部８としている。

次に、本発明の第７実施形態について図１１を参照して説明する。なお、図１１は同ヘッドの流路板（部材）に形成される流路パターンの平面説明図である。
この実施形態では、上記第１実施形態の構成において、１つの流路群１０２を構成している流路１０１Ａ、１０１Ｂの端部（各実施形態における導入部８を設けた部分に相当する部分）を図示しない供給部に連通されている。

次に、本発明の第８実施形態について図１２を参照して説明する。なお、図１２は同ヘッドの流路板（部材）に形成される流路パターンの平面説明図である。
この実施形態では、上記第２実施形態の構成において、１つの流路群１０２を構成している流路１０１Ａ、１０１Ｂ、１０１Ｃの端部（各実施形態における導入部８を設けた部分に相当する部分）を図示しない供給部に連通されている。

次に、本発明の第９実施形態について図１３を参照して説明する。なお、図１３は同ヘッドの流路板（部材）に形成される流路パターンの平面説明図である。
この実施形態では、上記第１実施形態の構成において、隣接する２つの流路群１０２を構成している各流路１０１Ａ、１０１Ｂの各導入部８を連結して１つの導入部８とし、更に各流路群１０２の各肉抜き部１０３を導入部８と繋げている。

吐出特性に大きく影響する液室６及び流体抵抗部７はそれぞれの流路１０１で独立させているが、流体抵抗部７と供給部との間を導入部８として連通させ、肉抜き部１０３もこの導入部８に連通させている。

この場合、肉抜き部１０３への接着剤のはみ出しは、液滴吐出特性に影響を及ぼさず、かつ、肉抜き部１０３の狭い空間を導入部８に連通させることで、電鋳法による場合にレジストの剥離が容易になるなどの工法上の利点もある。

次に、本発明の第１０実施形態について図１４を参照して説明する。なお、図１４は同ヘッドの流路板（部材）に形成される流路パターンの平面説明図である。
この実施形態では、上記第２実施形態の構成において、隣接する流路群１０２を構成している各流路１０１Ａ、１０１Ｂ、１０１Ｃの各導入部８を連結して１つの導入部８とし、更に各流路群１０２の各肉抜き部１０３を導入部８と繋げている。

吐出特性に大きく影響する液室６及び流体抵抗部７はそれぞれの流路１０１で独立させているが、流体抵抗部７と供給部との間を導入部８として連通させ、肉抜き部１０３もこの導入部８に連通させている。

この場合、肉抜き部１０３への接着剤のはみ出しは、液滴吐出特性に影響を及ぼさず、かつ、肉抜き部１０３の狭い空間を導入部８に連通させることで、電鋳法による場合にレジストの剥離が容易になるなどの工法上の利点もある。

次に、本発明の第１１実施形態について図１５を参照して説明する。なお、図１５（ａ）は同ヘッドの流路板（部材）に形成される流路パターンの平面説明図、（ｂ）は（ａ）の側断面説明図である。なお、同図では流路を分かり易く示すために流路部分にハッチングを施している（以下の図１６ないし図１８でも同様である。）。

この実施形態では、２枚の板部材１Ａ、１Ｂによって流路部材１を構成している。液室６は板部材１Ａの貫通部６Ａと板部材１Ｂの貫通部６Ｂによって形成し、流体抵抗部７は板部材１Ｂの貫通部によって形成し、導入部８は板部材１Ａの貫通部によって形成している。また、導入部８に対する供給部１０９は板部材１Ｂの貫通穴で形成している。この場合、板部材１Ｂで形成される流体抵抗部７は幅が液室６よりも狭く、高さも液室６より低く形成して、開口断面積を液室６よりも小さくしている。また、導入部８は各流路１０１Ａ、１０１Ｂですべて独立して配置している。

なお、板部材１Ａで形成される部分は同図で左下がりのハッチングで、板部材１Ｂで形成される部分は同図で右下がりのハッチングで、両者が重なる部分は斜線格子のハッチングでそれぞれ示している。

そして、第１実施形態と同様に、液室６、この液室６に液体を供給する液室６よりも幅の狭い流体抵抗部７、及び導入部８で１つの流路１０１が構成され、隣り合う２つ（複数）の流路１０１Ａ、１０１Ｂで構成される流路群１０２が、流路群１０２を単位として、流路群１０２を単位として、各流路群１０２内及び流路群１０２間の液室間ピッチが同じになるように、ノズルの並び方向に並べて配置されている。

また、各流路群１０２の各流路１０１Ａ、１０１Ｂの板部材１Ｂで形成される流体抵抗部７、７は、液室６、６の対向する側面側、つまり左側の流路１０１Ａは左側面に、右側の流路１０１Ｂは右側面に揃えることで、これらの流体抵抗部７、７間に広い隔壁部を確保し、この隔壁部に対応して板部材１Ａ（又は板部材１Ａ及び板部材１Ｂの両者）には肉抜き部１０３を形成している。一方、流路群１０２、１０２間の流体抵抗部７の隔壁部７ｂには肉抜き部１０３を形成していない。

この場合、肉抜き部１０３を複数の板部材に分けて配置することにより、複数の板部材を接合するときに接着剤の逃げ場を確保することができる。また、流路部材を複数の板部材で構成することにより、流体抵抗部に肉抜き部が干渉しない構成を採れるようになり、不安定吐出や吐出不良を低減することができる。

次に、本発明の第１２実施形態について図１６を参照して説明する。なお、図１６（ａ）は同ヘッドの流路板（部材）に形成される流路パターンの平面説明図、（ｂ）は（ａ）の側断面説明図である。

この実施形態では、上記第１１実施形態のヘッドにおいて、複数の流路群１０２の供給部を連通させて１つの供給部１０９とし、供給部面積を増加させている。

次に、本発明の第１３実施形態について図１７を参照して説明する。なお、図１７（ａ）は同ヘッドの流路板（部材）に形成される流路パターンの平面説明図、（ｂ）は（ａ）の側断面説明図である。

この実施形態では、上記第１１実施形態のヘッドにおいて、導入部８を板部材１Ａの貫通部８Ａ及び板部材１Ｂの貫通部８Ｂによって構成することで、第１１実施形態よりも深さ（高さ）の深い（高い）導入部８とし、導入部８を各流路１０１Ａ、１０１Ｂで独立させつつ導入部８自体の流体抵抗を低減している。この場合、供給部は別の部材に設けることになる。

次に、本発明の第１４実施形態について図１８を参照して説明する。なお、図１８（ａ）は同ヘッドの流路板（部材）に形成される流路パターンの平面説明図、（ｂ）は（ａ）の側断面説明図である。

この実施形態では、上記第１３実施形態のヘッドにおいて、板部材１Ｂに形成した貫通部８Ｃは複数の流路群１０２の各流路１０１Ａ、１０１Ｂにまたがって形成し、複数の流路群１０２の各流路１０１Ａ、１０１Ｂの導入部８の一部を連通させている。

次に、本発明の第１５実施形態について図１９を参照して説明する。なお、図１９は同ヘッドの流路板（部材）に形成される流路パターンの平面説明図である。
この実施形態では、上記第１０実施形態において、隔壁部７ａに設ける肉抜き部１０３を複数個設けている。このように、肉抜き部１０３を複数個に分割形成することで、隔壁部７ａの剛性を高くすることができる。

ここで、肉抜き部１０３の肉抜きの程度について図２０及び図２１を参照して説明する。なお、図２０（ａ）は前記第５実施形態の流路パターン、同図（ｂ）は（ａ）の側断面図、図２１（ａ）は前記第２実施形態の流路パターン、同図（ｂ）は（ａ）の側断面図である。
図２０（ａ）に示すように、前記第５実施形態の流路パターンにおいては、肉抜き部１０３が形成される隔壁部７ａの一方端は板部材１に一体形成されるが、他方端（肉抜き部１０３側の端）は板部材１から離間した構成になる（これを「片持ち」という。）。そこで、隔壁部７ａの強度、剛性を確保するため、同図（ｂ）に示すように、ハーフエッチングを行うことで肉抜き部１０３は板部材１の一部がない構成としている。

これに対し、図２１（ａ）に示すように、前記第２実施形態の流路パターンにおいては、肉抜き部１０３が形成される隔壁部７ａの両方端が板部材１に一体形成された構成（これを「両持ち」という。）になり、十分に強度、剛性を確保することができる。したがって、この場合には、同図（ｂ）に示すように、フルエッチングを行うことで肉抜き部１０３は板部材１の全部がない構成としている。

このように、肉抜き部１０３を形成する隔壁部が両持ちか片持ちかに応じて肉抜きの程度を異ならせることが、隔壁部の強度、剛性の観点から好ましい。

上述した各実施形態では、流体抵抗部が流路配列方向で一例である例で説明しているが、流体抵抗部の配列が液の流れ方向で複数列ある構成にも適用することができる。このような他の実施形態について図２２ないし図２４を参照して説明する。

先ず、本発明の第１６実施形態について図２２を参照して説明する。なお、図２２は同ヘッドの流路板（部材）に形成される流路パターンの平面説明図である。
この実施形態における各流路１０１は、液室６と導入部８との間に、液室６に一方端が通じる第１流体抵抗部分７Ａと、この第１流体抵抗部分７Ａの他方端に一方端が通じ、他方端が導入部８に通じる第２流体抵抗部分７Ｂとが設けられている。そして、各流路１０１の流体抵抗部７を隔てる隔壁部のうち、隔壁部７ｃは、第１流体抵抗部分７Ａに肉抜き部１０３が形成され、第２流体抵抗部分７Ｂに肉抜き部１０３が形成されていない隔壁部であり、隔壁部７ｄは、第１流体抵抗部分７Ａに肉抜き部１０３が形成されておらず、第２流体抵抗部分７Ｂに肉抜き部１０３が形成されている隔壁部である。

したがって、この実施形態では、複数の流路１０１を平面的に見て（図２２の平面図の状態の意味）流路配列方向に沿う同一線Ｘ１上で肉抜き部１０３が形成されている隔壁部７ｃと、肉抜き部１０３が形成されていない隔壁部７ｄとがあり、同じく流路配列方向に沿う同一線Ｘ２上で肉抜き部１０３が形成されていない隔壁部７ｃと、肉抜き部１０３が形成されている隔壁部７ｄとがある構成となる。つまり、同一の隔壁部７ｃ及び７ｄは、それぞれ流体抵抗部７の隔壁部分で肉抜き部１０３が形成された部分と肉抜き部１０３が形成されていない部分とがある構成となっている。なお、隔壁部７ｃに連続して液室６を隔てる隔壁部分を隔壁部６ｃ、隔壁部７ｄに連続して液室６を隔てる隔壁部分を隔壁部６ｄとしている。

このように構成しても、前記各実施形態と同様に、高密度化を図りつつ、流体抵抗部間に隔壁幅の変化を調整し、あるいは、接着剤の逃げ場となる肉抜き部を配置できるとともに、流体抵抗部の長さを長くして流体抵抗値を増加することができる。

次に、本発明の第１７実施形態について図２３を参照して説明する。なお、図２３は同ヘッドの流路板（部材）に形成される流路パターンの平面説明図である。
この実施形態では、第２流路抵抗部分７Ｂに対応する肉抜き部１０３は導入部８と一体的に形成している。

次に、本発明の第１８実施形態について図２４を参照して説明する。なお、図２４は同ヘッドの流路板（部材）に形成される流路パターンの平面説明図である。
この実施形態では、各流路１０１の流体抵抗部７のうち第１流体抵抗部分７Ａと第２流体抵抗部分７Ｂとの間に相互に連通する連通部３７を形成している。

次に、本発明の更に他の実施形態である第１９実施形態について図２５を参照して説明する。なお、図２５は同ヘッドの流路板（部材）に形成される流路パターンの平面説明図である。
この実施形態では、各流路１０１の流体抵抗部７は１列とし、隣り合う２つの流体抵抗部７、７に共通に導入部８の一部８ａを設けるとともに、隣り合う２つの導入部の一部８ａ、８ａに対応する３本の流体抵抗部７を連通部３８で相互に連通させている。

なお、上記実施形態では、流路板（流路部材）とノズル板あるいは振動板が別部材である例で説明しているが、流路板とノズル板を一体形成する構成、あるいは流路板と振動板を一体形成する構成とすることもできる。また、上記実施形態では圧電型液体吐出ヘッドで説明しているが、電気熱変換素子を用いるサーマル型液体吐出ヘッドにも同様に適用することができる。

次に、本発明に係る液体吐出ヘッドを備える液体吐出装置を含む画像形成装置の他の例について図２６及び図２７を参照して説明する。なお、図２６は同装置の機構部の全体構成を説明する概略構成図、図２７は同機構部の要部平面説明図である。
この画像形成装置はシリアル型画像形成装置であり、左右の側板２０１Ａ、２０１Ｂに横架したガイド部材である主従のガイドロッド２３１、２３２でキャリッジ２３３を主走査方向に摺動自在に保持し、図示しない主走査モータによってタイミングベルトを介して矢示方向（キャリッジ主走査方向）に移動走査する。

このキャリッジ２３３には、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｋ）の各色のインク滴を吐出するための本発明に係る液体吐出ヘッドからなる記録ヘッド２３４ａ、２３４ｂ（区別しないときは「記録ヘッド２３４」という。）を複数のノズルからなるノズル列を主走査方向と直交する副走査方向に配列し、インク滴吐出方向を下方に向けて装着している。

記録ヘッド２３４は、それぞれ２つのノズル列を有し、記録ヘッド２３４ａの一方のノズル列はブラック（Ｋ）の液滴を、他方のノズル列はシアン（Ｃ）の液滴を、記録ヘッド２３４ｂの一方のノズル列はマゼンタ（Ｍ）の液滴を、他方のノズル列はイエロー（Ｙ）の液滴を、それぞれ吐出する。

また、キャリッジ２３３には、記録ヘッド２３４のノズル列に対応して各色のインクを供給するためのヘッドタンク２３５ａ、２３５ｂ（区別しないときは「ヘッドタンク３５」という。）を搭載している。このサブタンク２３５には各色の供給チューブ３６を介して、各色のインクカートリッジ２１０ｋ、２１０ｃ、２１０ｍ、２１０ｙから各色のインクが補充供給される。

一方、給紙トレイ２０２の用紙積載部（圧板）２４１上に積載した用紙２４２を給紙するための給紙部として、用紙積載部２４１から用紙２４２を１枚ずつ分離給送する半月コロ（給紙コロ）２４３及び給紙コロ２４３に対向し、摩擦係数の大きな材質からなる分離パッド２４４を備え、この分離パッド２４４は給紙コロ２４３側に付勢されている。

そして、この給紙部から給紙された用紙２４２を記録ヘッド２３４の下方側に送り込むために、用紙２４２を案内するガイド部材２４５と、カウンタローラ２４６と、搬送ガイド部材２４７と、先端加圧コロ２４９を有する押さえ部材２４８とを備えるとともに、給送された用紙２４２を静電吸着して記録ヘッド２３４に対向する位置で搬送するための搬送手段である搬送ベルト２５１を備えている。

この搬送ベルト２５１は、無端状ベルトであり、搬送ローラ２５２とテンションローラ２５３との間に掛け渡されて、ベルト搬送方向（副走査方向）に周回するように構成している。また、この搬送ベルト２５１の表面を帯電させるための帯電手段である帯電ローラ２５６を備えている。この帯電ローラ２５６は、搬送ベルト２５１の表層に接触し、搬送ベルト２５１の回動に従動して回転するように配置されている。この搬送ベルト２５１は、図示しない副走査モータによってタイミングを介して搬送ローラ２５２が回転駆動されることによってベルト搬送方向に周回移動する。

さらに、記録ヘッド２３４で記録された用紙２４２を排紙するための排紙部として、搬送ベルト２５１から用紙２４２を分離するための分離爪２６１と、排紙ローラ２６２及び排紙コロ２６３とを備え、排紙ローラ２６２の下方に排紙トレイ２０３を備えている。

また、装置本体の背面部には両面ユニット２７１が着脱自在に装着されている。この両面ユニット２７１は搬送ベルト２５１の逆方向回転で戻される用紙２４２を取り込んで反転させて再度カウンタローラ２４６と搬送ベルト２５１との間に給紙する。また、この両面ユニット２７１の上面は手差しトレイ２７２としている。

さらに、キャリッジ２３３の走査方向一方側の非印字領域には、記録ヘッド２３４のノズルの状態を維持し、回復するための維持回復機構２８１を配置している。この維持回復機構２８１には、記録ヘッド２３４の各ノズル面をキャピングするための各キャップ部材（以下「キャップ」という。）２８２ａ、２８２ｂ（区別しないときは「キャップ２８２」という。）と、ノズル面をワイピングするためのブレード部材であるワイパーブレード２８３と、増粘した記録液を排出するために記録に寄与しない液滴を吐出させる空吐出を行うときの液滴を受ける空吐出受け２８４などを備えている。

また、キャリッジ２３３の走査方向他方側の非印字領域には、記録中などに増粘した記録液を排出するために記録に寄与しない液滴を吐出させる空吐出を行うときの液滴を受ける液体回収容器であるインク回収ユニット（空吐出受け）２８８を配置し、このインク回収ユニット２８８には記録ヘッド２３４のノズル列方向に沿った開口部２８９などを備えている。

このように構成したこの画像形成装置においては、給紙トレイ２０２から用紙２４２が１枚ずつ分離給紙され、略鉛直上方に給紙された用紙２４２はガイド２４５で案内され、搬送ベルト２５１とカウンタローラ２４６との間に挟まれて搬送され、更に先端を搬送ガイド２３７で案内されて先端加圧コロ２４９で搬送ベルト２５１に押し付けられ、略９０°搬送方向を転換される。

このとき、帯電ローラ２５６に対してプラス出力とマイナス出力とが交互に繰り返すように、つまり交番する電圧が印加され、搬送ベルト２５１が交番する帯電電圧パターン、すなわち、周回方向である副走査方向に、プラスとマイナスが所定の幅で帯状に交互に帯電されたものとなる。このプラス、マイナス交互に帯電した搬送ベルト２５１上に用紙２４２が給送されると、用紙２４２が搬送ベルト２５１に吸着され、搬送ベルト２５１の周回移動によって用紙２４２が副走査方向に搬送される。

そこで、キャリッジ２３３を移動させながら画像信号に応じて記録ヘッド２３４を駆動することにより、停止している用紙２４２にインク滴を吐出して１行分を記録し、用紙２４２を所定量搬送後、次の行の記録を行う。記録終了信号又は用紙２４２の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了して、用紙２４２を排紙トレイ２０３に排紙する。

このようにこの画像形成装置は本発明に係る液体吐出ヘッドを備えているので、高密度化を図ることができて、安定して高画質画像を形成することができる。

なお、上記実施形態では本発明をプリンタ構成の画像形成装置に適用した例で説明したが、これに限るものではなく、例えば、プリンタ／ファックス／コピア複合機などの画像形成装置に適用することができる。また、インク以外の液体である記録液、レジスト、ＤＮＡ試料などを用いる画像形成装置にも適用することができる。

本発明に係る液体吐出ヘッドの一例の分解斜視説明図である。 同ヘッドの液室長手方向に沿う断面説明図である。 バイピッチ構造にした場合の同ヘッドの液室短手方向に沿う断面説明図である。 ノーマルピッチ構造にした場合の同ヘッドの液室短手方向に沿う断面説明図である。 本発明の第１実施形態に係るヘッドの流路部材に形成される流路パターンの平面説明図である。 本発明の第２実施形態に係るヘッドの流路部材に形成される流路パターンの平面説明図である。 本発明の第３実施形態に係るヘッドの流路部材に形成される流路パターンの平面説明図である。 本発明の第４実施形態に係るヘッドの流路部材に形成される流路パターンの平面説明図である。 本発明の第５実施形態に係るヘッドの流路部材に形成される流路パターンの平面説明図である。 本発明の第６実施形態に係るヘッドの流路部材に形成される流路パターンの平面説明図である。 本発明の第７実施形態に係るヘッドの流路部材に形成される流路パターンの平面説明図である。 本発明の第８実施形態に係るヘッドの流路部材に形成される流路パターンの平面説明図である。 本発明の第９実施形態に係るヘッドの流路部材に形成される流路パターンの平面説明図である。 本発明の第１０実施形態に係るヘッドの流路部材に形成される流路パターンの平面説明図である。 （ａ）は本発明の第１１実施形態に係るヘッドの流路部材に形成される流路パターンの平面説明図、（ｂ）は（ａ）の側断面説明図である。 （ａ）は本発明の第１２実施形態に係るヘッドの流路部材に形成される流路パターンの平面説明図、（ｂ）は（ａ）の側断面説明図である。 （ａ）は本発明の第１３実施形態に係るヘッドの流路部材に形成される流路パターンの平面説明図、（ｂ）は（ａ）の側断面説明図である。 （ａ）は本発明の第１４実施形態に係るヘッドの流路部材に形成される流路パターンの平面説明図、（ｂ）は（ａ）の側断面説明図である。 本発明の第１５実施形態に係るヘッドの流路部材に形成される流路パターンの平面説明図である。 （ａ）は肉抜き部の程度の説明に供する第５実施形態に係るヘッドの流路部材に形成される流路パターンの平面説明図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線に沿う断面説明図である。 （ａ）は肉抜き部の程度の説明に供する第２実施形態に係るヘッドの流路部材に形成される流路パターンの平面説明図、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ線に沿う断面説明図である。 本発明の第１６実施形態に係るヘッドの流路部材に形成される流路パターンの平面説明図である。 本発明の第１７実施形態に係るヘッドの流路部材に形成される流路パターンの平面説明図である。 本発明の第１８実施形態に係るヘッドの流路部材に形成される流路パターンの平面説明図である。 本発明の第１９実施形態に係るヘッドの流路部材に形成される流路パターンの平面説明図である。 本発明に係る液体吐出ヘッドを備える本発明に係る画像形成装置の機構部の一例を示す側面説明図である。 同じく要部平面説明図である。 従来の流路パターンの一例を示す平面説明図である。

符号の説明

１…流路板（流路部材）
２…ノズル板
３…振動板
４…ノズル
６…液室
７…流体抵抗部
８…導入路
９…供給部
１２…圧電素子
１３…ベース部材
１７…フレーム部材
１０１、１０１Ａ、１０１Ｂ、１０１Ｃ…流路
１０２…流路群
２３３…キャリッジ
２３４…記録ヘッド（液体吐出ヘッド）

Claims (10)

1. 液滴を吐出するノズルが連通する液室及びこの液室に液体を供給する液室よりも幅の狭い流体抵抗部を含む流路を備える液体吐出ヘッドにおいて、
   隣り合う複数の前記流路で構成される流路群が、流路群を単位として並べて配置され、
   各流路群内の流路間隔壁部には前記流路を形成する部材の全部又は一部がない肉抜き部が形成され、
   各流路群間の流路間隔壁部には前記肉抜き部が形成されていない
   ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
2. 請求項１に記載の液体吐出ヘッドにおいて、前記流路群内の液室間ピッチと隣り合う流路群間の液室間ピッチが同じであることを特徴とする液体吐出ヘッド。
3. 請求項１又は２に記載の液体吐出ヘッドにおいて、前記流路群内の肉抜き部は流体抵抗部間に設けられていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
4. 請求項３に記載の液体吐出ヘッドにおいて、前記流路群内の液室間隔壁の幅と、隣接する流路群間の液室間隔壁の幅と、前記流体抵抗部と前記肉抜き部との間の隔壁の幅とが、略同じであることを特徴とする液体吐出ヘッド。
5. 請求項１ないし４のいずれかに記載の液体吐出ヘッドにおいて、前記流路群間の隔壁が前記流路の液体の流れる方向に沿った直線形状であることを特徴とする液体吐出ヘッド。
6. 請求項５に記載の液体吐出ヘッドにおいて、１つの流路の平面形状は流路の並び方向において非線対称であり、前記流路群の平面形状は流路の並び方向において線対称であることを特徴とする液体吐出ヘッド。
7. 請求項１ないし６のいずれかに記載の液体吐出ヘッドにおいて、前記流路を構成する各部は同じ部材又は異なる複数の部材で形成されていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
8. 液滴を吐出するノズルが連通する液室及びこの液室に液体を供給する液室よりも幅の狭い流体抵抗部を含む複数の流路を備える液体吐出ヘッドにおいて、
   前記各流路の前記流体抵抗部を隔てる隔壁部には、前記複数の流路を平面的に見て流路配列方向に沿う同一線上で、前記流路を形成する部材の全部又は一部がない肉抜き部が形成されている隔壁部と、前記肉抜き部が形成されていない隔壁部とがある
   ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
9. 請求項８に記載の液体吐出ヘッドにおいて、同一の隔壁部内に前記肉抜き部が形成された部分と前記肉抜き部が形成されていない部分とがあることを特徴とする液体吐出ヘッド。
10. 液滴を吐出する液体吐出ヘッドを備えて媒体に画像を形成する画像形成装置において、前記液体吐出ヘッドが請求項１ないし８のいずれかに記載の液体吐出ヘッドであることを特徴とする画像形成装置。

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