JP2008082747A - 圧力センサ - Google Patents

Abstract

【課題】測定対象物の壁面に取り付けることによる特性変動を抑制できる圧力センサを提供する。
【解決手段】ハウジング３０の部屋３２に切欠き部３９を形成する。この切欠き部３９があるため、軸力によってハウジング３０が変形したとしても、その変形による影響が溶接部３７まで伝わらない。このため、リングウェルド３６もしくはメタルダイアフラム３５が負圧方向（圧力導入孔３１側に引っ張られる方向）に力を受けることを抑制でき、オイル４１が封入された圧力検出室４０に影響を与えることを抑制できる。これにより、圧力検出室４０内の圧力が所望の基準圧からずれることを防止でき、圧力センサＳ１の特性変動を抑制できる。したがって、正確な圧力検出が行える圧力センサＳ１にすることが可能となる。
【選択図】図１

Description

本発明は、圧力導入孔を通じて導入される測定媒体の圧力を検出するための圧力センサに関するものである。

従来より、圧力導入孔を通じて導入される測定媒体の圧力を検出するための圧力センサとして様々なものが提案されている（例えば、特許文献１参照）。図５は、従来の圧力センサを配管などの測定対象物の壁面に取り付けたときの断面構成を示したものである。

図５に示される圧力センサは、第１のケースとしてのコネクタケースＪ１と測定媒体を導入するための第２のケースとしてのハウジングＪ２とを備えて構成されるダイアフラムシールタイプの圧力センサである。すなわち、コネクタケースＪ１とハウジングＪ２の間にメタルダイアフラムＪ３を介在させた状態でハウジングＪ２の収容凹部Ｊ４内にコネクタケースＪ１が挿入されたのち、ハウジングＪ２の収容凹部Ｊ４の入り口側をかしめて圧力センサの組み付けが成されることで、内部に圧力検出室Ｊ５が区画形成され、この圧力検出室Ｊ５内にセンシング部としてのセンサ素子Ｊ６などが設けられた構造となっている。

そして、圧力検出室Ｊ５は、コネクタケースＪ１とハウジングＪ２との間に介在するＯリングＪ７によってシールされており、圧力検出室Ｊ５の内部には、たとえばオイルなどの圧力伝達部材Ｊ８が封入されている。また、ハウジングＪ２には圧力導入孔Ｊ９が形成され、この圧力導入孔Ｊ９を介して測定媒体が断面テーパ状（ラッパ形状）の部屋Ｊ１０に導入されるように構成されている。そして、導入された測定媒体による圧力がメタルダイアフラムＪ３における圧力検出室Ｊ５とは反対側の面に印加されると、それに応じた圧力がメタルダイアフラムＪ３から圧力伝達部材Ｊ８を介してセンサ素子Ｊ６に印加される。なお、メタルダイアフラムＪ３の外縁はリングウェルドＪ１１を介してハウジングＪ２と溶接部Ｊ１２により固定されており、これによりメタルダイアフラムＪ３とハウジングＪ２との間のシールも為されている。

このようにセンサ素子Ｊ６に圧力が印加されると、それに応じた検出信号がアルミワイヤＪ１３およびコネクタターミナルＪ１４を通じて外部に出力される。これにより、測定媒体の圧力の検出が行われるようになっている。

そして、このような構造の圧力センサは、ハウジングＪ２の外周に形成されたネジ部Ｊ１５が測定対象物の壁面Ｊ２０の雌ネジ穴Ｊ２１に螺合されることで固定される。具体的には、ハウジングＪ２に形成されたストッパ面Ｊ１６が接する位置までネジ部Ｊ１５が壁面Ｊ２０の雌ネジ穴Ｊ２１に螺合されることで、圧力センサが壁面Ｊ２０に対し、所定の軸力（ネジ部Ｊ１５の雌ネジ穴Ｊ２１への挿入方向と平行な力）により固定される。
特開平７−２０９１１５号公報

しかしながら、上記のように圧力センサを壁面Ｊ２０に固定する場合、ストッパ面Ｊ１６から受ける力、特に、ストッパ面Ｊ１６とネジ部Ｊ１５との境界部近傍から受ける力によりハウジングＪ２が変形し、溶接部Ｊ１２が引っ張られる。このため、リングウェルドＪ１１もしくはメタルダイアフラムＪ３が負圧方向（圧力導入孔Ｊ９側に引っ張られる方向）に力を受け、オイルなどの圧力伝達部材Ｊ８が封入された圧力検出室Ｊ５に影響を与える。これにより、圧力検出室Ｊ５内の圧力が所望の基準圧からずれ、圧力センサの特性変動が発生して正確な圧力検出が行えなくなるという問題がある。

本発明は上記点に鑑みて、測定対象物の壁面に取り付けることによる特性変動を抑制できる圧力センサを提供することを目的とする。

上記目的を達成するため、本発明では、第２のケース（３０）のうち、溶接部（３７）からストッパ面（３４）の間に、部屋（３２）に連通する切欠き部（３９）が形成されていることを特徴としている。

このように、第２のケース（３０）に切欠き部（３９）が形成されているため、第２のケース（３０）のネジ部（３３）を測定対象物の壁面（５０）の雌ネジ穴（５１）に螺合するときに発生する軸力によって第２のケース（３０）が変形したとしても、その変形による影響が溶接部（３７）まで伝わらない。このため、メタルダイアフラム（３５）が負圧方向（圧力導入孔（３１）側に引っ張られる方向）に力を受けることを抑制でき、圧力検出室（４０）に影響を与えることを抑制できる。これにより、圧力検出室（４０）内の圧力が所望の基準圧からずれることを防止でき、圧力センサの特性変動を抑制できる。したがって、正確な圧力検出が行える圧力センサにすることが可能となる。

例えば、切欠き部（３９）の深さ（Ｌ１）は、ストッパ面（３４）とネジ部（３３）との境界部と溶接部（３７）とを結ぶ直線（６０）を横切る深さに設定される。

このような深さであれば、切欠き部（３９）は、ネジ部（３３）の中心線を中心軸として、該中心軸に対して垂直方向に延設されていても良いし、該中心軸に対して傾斜するように延設されていても良い。これらの場合には、圧力導入孔（３１）からテーパ状に広がるように構成された部屋（３２）のテーパ状部分に切欠き部（３９）を形成することも、圧力導入孔（３１）に切欠き部（３９）を形成することもできる。

また、切欠き部（３９）を中心軸に対して平行に延設することもできる。この場合、例えば切欠き部（３９）は、第２のケース（３０）における一面（３０ｂ）のうち、溶接部（３７）よりも内周側に形成される。このような構成の場合、切欠き部（３９）の形成を容易に行うことが可能である。

このような切欠き部（３９）は、圧力導入孔（３１）の周囲を一周全周するように形成されるようにすると好ましいが、中心軸を中心にした放射状に複数個配置されるようにしても構わない。

なお、上記各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。

以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各実施形態相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、図中、同一符号を付してある。

（第１実施形態）
本発明の第１実施形態について説明する。図１は、本実施形態における圧力センサＳ１の断面図である。この図に基づいて、本実施形態の圧力センサＳ１について説明する。なお、この圧力センサＳ１は、例えば、自動車に搭載され自動車のエアコンの冷媒配管内の冷媒圧力やディーゼル車の排気洗浄フィルタであるＤＰＦの差圧計測等の検出に用いられる。

図１に示されるように、第１のケースとしてのコネクタケース１０は、ＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）やＰＢＴ（ポリブチレンテレフタレート）等の樹脂を型成形することにより作られ、本実施形態では略円柱状をなしている。この樹脂ケースとしてのコネクタケース１０の一端部（図１中、左側の端部）には、凹部１１が形成されている。この凹部１１の底面には、圧力検出用のセンシング部としてのセンサ素子２０が配設されている。

センサ素子２０は、その表面に受圧面としてのダイアフラムを有し、このダイアフラムの表面に形成されたゲージ抵抗により、ダイアフラムが受けた圧力を電気信号に変換し、この電気信号をセンサ信号として出力する半導体ダイアフラム式のものである。

そして、センサ素子２０は、ガラス等よりなる台座２１に陽極接合等により一体化されており、この台座２１を凹部１１の底面に接着することで、センサ素子２０はコネクタケース１０に搭載されている。

また、コネクタケース１０には、センサ素子２０と外部の回路等とを電気的に接続するための複数個の金属製棒状のターミナル１２が貫通している。

本実施形態では、ターミナル１２は黄銅（真鍮）にメッキ処理（例えばＮｉメッキ）を施した材料よりなり、インサートモールドによりコネクタケース１０と一体に成形されることによってコネクタケース１０内にて保持されている。

各ターミナル１２の一端側（図１中、左側）の端部は、センサ素子２０の搭載領域の周囲において凹部１１の底面から突出して配置されている。この凹部１１内に突出する各ターミナル１２の一端部とセンサ素子２０とは、金やアルミニウム等のボンディングワイヤ１３により結線され電気的に接続されている。

また、凹部１１内にはシリコン系樹脂等からなるシール剤１４が設けられており、このシール剤１４によって、凹部１１に突出するターミナル１２の根元部とコネクタケース１０との隙間が封止されている。

一方、図１において、コネクタケース１０の他端部（図１中、上方側の端部）側は開口部１５となっており、この開口部１５は、ターミナル１２の他端側を例えばワイヤハーネス等の外部配線部材（図示せず）を介して上記外部回路（車両のＥＣＵ等）に電気的に接続するためのコネクタ部となっている。

つまり、開口部１５内に露出する各ターミナル１２の他端側は、このコネクタ部によって外部と電気的に接続が可能となっている。こうして、センサ素子２０と外部との間の信号の伝達は、ボンディングワイヤ１３およびターミナル１２を介して行われるようになっている。

また、図１に示されるように、コネクタケース１０の一端部には、第２のケースとしてのハウジング３０が組み付けられている。具体的には、ハウジング３０には収容凹部３０ａが形成されており、この収容凹部３０ａ内にコネクタケース１０の一端側が挿入されることで、コネクタケース１０にハウジング３０が組み付けられた構成となっている。

これにより、第１のケースとしてのコネクタケース１０と第２のケースとしてのハウジング３０とが一体に組み付けられてなるケーシング１００が構成されており、このケーシング１００内にセンサ素子２０が設けられた形となっている。

このハウジング３０は、例えばアルミニウム（Ａｌ）等の金属材料よりなるものであり、測定対象物から測定媒体となる流体が導入される圧力導入孔３１と、圧力導入孔３１におけるセンサ素子２０側の端部が断面テーパ状（ラッパ形状）に広げられることで形成された部屋３２と、圧力センサＳ１を測定対象物に固定するためのネジ部３３とを有する。このネジ部３３が図１中の破線で示した測定対象物の壁面５０の雌ネジ穴５１に螺合されることで、圧力センサＳ１が測定対象物に固定される。具体的には、ハウジング３０に形成されたストッパ面３４が接する位置までネジ部３３が壁面５０の雌ネジ穴５１に螺合されることで、圧力センサＳ１が壁面５０に対し、所定の軸力（ネジ部３３の雌ネジ穴５１への挿入方向と平行な力）により固定される。なお、ここでいう測定対象物としては、例えば、自動車エアコンの冷媒配管などであり、この場合の測定圧力は、その冷媒配管内の冷媒圧力などとなる。

さらに、コネクタケース１０の先端面１０ａとハウジング３０における収容凹部３０ａのうちコネクタケース１０の先端面１０ａと対向する一面３０ｂとの間に、薄い金属（たとえばＳＵＳ等）製のメタルダイアフラム３５と金属（たとえばＳＵＳ等）製のリングウェルド（押さえ部材）３６とが配置されている。ハウジング３０の一面３０ｂとリングウェルド３６およびメタルダイアフラム３５とは、全周にわたる溶接部３７にて溶接により固定されており、部屋３２を囲む全周が気密接合された状態となっている。

そして、図１に示されるように、ハウジング３０のうち収容凹部３０ａ側の端部がコネクタケース１０の一端部にかしめられることで、かしめ部３８が形成され、それによって、ハウジング３０とコネクタケース１０とが固定され一体化されている。

こうして組み合わせられたコネクタケース１０とハウジング３０とにおいて、コネクタケース１０の凹部１１とハウジング３０のメタルダイアフラム３５との間で、圧力検出室４０が構成されている。

この圧力検出室４０には圧力伝達媒体であり封入液であるオイル（フッ素オイル等）４１が充填され封入されている。このオイル４１の封入により、凹部１１にはセンサ素子２０及びワイヤ１３等の電気接続部分を覆うようにオイル４１が充填され、さらに、オイル４１はメタルダイアフラム３５により覆われて封止された形となる。

このような圧力検出室４０を構成することにより、圧力導入孔３１から導入された圧力は、メタルダイアフラム３５、オイル４１を介して、圧力検出室４０内のセンサ素子２０、ボンディングワイヤ１３、ターミナル１２に印加されることになる。

また、コネクタケース１０の先端面１０ａに、圧力検出室４０の外周を囲むように、環状の溝（Ｏリング溝）４２が形成され、この溝４２内には、圧力検出室４０を気密封止するためのＯリング４３が配設されている。

このＯリング４３は例えばシリコンゴム等の弾性材料よりなり、コネクタケース１０とハウジング３０とにより挟まれて押圧されている。こうして、メタルダイアフラム３５とＯリング４３とにより圧力検出室４０が封止され閉塞される。

そして、このような構造の圧力センサＳ１において、本実施形態では、ハウジング３０におけける部屋３２にハウジング３０を部分的に除去することで部屋３２に連通させたた切欠き部３９を形成している。この切欠き部３９は、ネジ部３３の中心線を中心軸として、挿入方向と垂直方向かつ中心軸を中心とした径方向に延設され、さらに圧力導入孔３１の周囲を一周全周する溝により構成されている。切欠き部３９の深さＬ１は、圧力センサＳ１を壁面５０に固定する際に発生する軸力の影響を抑制できる程度とされている。本実施形態では、ストッパ面３４とネジ部３３の境界部およびリングウェルド３６とハウジング３０との溶接部３７を結んだ直線６０が軸力によりハウジング３０がネジ部３３の挿入方向に引っ張られるラインであり、この直線６０を横切るように、好ましくは溶接部３７と対向する位置まで到達するように切欠き部３９の深さが設定されている。

次に、上記圧力センサＳ１の製造方法について説明する。まず、ターミナル１２がインサート成形されたコネクタケース１０を用意する。シリコン系樹脂等よりなる接着剤を用いて、コネクタケース１０の凹部１１内へセンサ素子２０を台座２１を介し接着固定する。

そして、凹部１１内へシール剤１４を注入し、シール剤１４を、凹部１１の底面まで行き渡らせる。ここで、シール剤１４がセンサ素子２０の表面に付着しないように、注入量を調整する。

続いて、注入したシール剤１４を硬化させる。そして、ワイヤボンディングを行って、各ターミナル１２の一端部とセンサ素子２０とをボンディングワイヤ１３で結線し、電気的に接続する。

そして、センサ素子２０側を上にしてコネクタケース１０を配置し、コネクタケース１０の上方から、ディスペンサ等によりフッ素オイル等よりなるオイル４１を、凹部１１へ一定量注入する。

続いて、ハウジング３０における部屋３２のテーパ状部分に切欠き部３９が形成されたものを用意する。例えば、切欠き部３９が無い状態のハウジング３０を用意したのち、放電加工や切削加工などにより切欠き部３９を形成する。次いで、リングウェルド３６と共にメタルダイアフラム３５をハウジング３０における収容凹部３０ａ内に配置する。そして、リングウェルド３６の上方から溶接を行うことで、溶接部３７にてリングウェルド３６およびメタルダイアフラム３５をハウジング３０に接合する。

次に、メタルダイアフラム３５およびリングウェルド３６と共にハウジング３０を上から水平を保ったまま、コネクタケース１０に嵌合するように降ろす。そして、この状態のものを真空室に入れて真空引きを行い圧力検出室４０内の余分な空気を除去する。

その後、コネクタケース１０の先端面とハウジング３０の一面３０ｂとが十分接するまで押さえることによって、メタルダイアフラム３５とＯリング４３によってシールされた圧力検出室４０が形成される。

最後に、ハウジング３０の端部をコネクタケース１０の一端側にかしめることにより、かしめ部３８を形成する。こうして、ハウジング３０とコネクタケース１０とを一体化することにより、かしめ部３８によるコネクタケース１０とハウジング３０との組み付け固定がなされる。このようにして、図１に示される圧力センサＳ１が完成する。

このような構成の圧力センサＳ１は、ハウジング３０のネジ部３３を介して、例えば車両におけるエアコンの冷媒配管等、測定対象物の壁面５０の雌ネジ穴５１に螺合させることにより取り付けられる。このとき、ハウジング３０に切欠き部３９が形成されているため、軸力によってハウジング３０が変形したとしても、その変形による影響が溶接部３７まで伝わらない。このため、リングウェルド３６もしくはメタルダイアフラム３５が負圧方向（圧力導入孔３１側に引っ張られる方向）に力を受けることを抑制でき、オイル４１が封入された圧力検出室４０に影響を与えることを抑制できる。これにより、圧力検出室４０内の圧力が所望の基準圧からずれることを防止でき、圧力センサＳ１の特性変動を抑制できる。したがって、正確な圧力検出が行える圧力センサＳ１にすることが可能となる。

（第２実施形態）
本発明の第２実施形態について説明する。本実施形態の圧力センサＳ１は、第１実施形態に対して切欠き部３９の構成を変更したものであり、その他に関しては第１実施形態と同様であるため、異なる部分についてのみ説明する。

図２は、本実施形態の圧力センサＳ１の断面図である。この図に示すように、本実施形態では、切欠き部３９がネジ部３３の雌ネジ穴５１への挿入方向に対して斜めに傾斜した状態となっている。ネジ部３３の雌ネジ穴５１への挿入方向に対する切欠き部３９の傾斜角度に関して、特に限定は無いが、切欠き部３９の深さＬ１は、圧力センサＳ１を壁面５０に固定する際に発生する軸力の影響を抑制できる程度とされている。具体的には、直線６０を横切るように切欠き部３９の深さが設定されている。

このように、切欠き部３９をネジ部３３の雌ネジ穴５１への挿入方向に対して斜めに傾斜した状態としても、第１実施形態と同様の効果を得ることができる。

（第３実施形態）
本発明の第３実施形態について説明する。本実施形態の圧力センサＳ１も、第２実施形態と同様に、第１実施形態に対して切欠き部３９の構成を変更したものである。このため、第１実施形態と異なる部分についてのみ説明する。

図３は、本実施形態の圧力センサＳ１の断面図である。この図に示すように、本実施形態では、切欠き部３９は、ハウジング３０の一面３０ｂから形成され、ネジ部３３の雌ネジ穴５１への挿入方向に対して平行な状態とされている。また、本実施形態においても、切欠き部３９の深さＬ１は、圧力センサＳ１を壁面５０に固定する際に発生する軸力の影響を抑制できる程度とされている。具体的には、直線６０を横切るように切欠き部３９の深さが設定されている。

このように、切欠き部３９をネジ部３３の雌ネジ穴５１への挿入方向に対して平行にしても、第１実施形態と同様の効果を得ることができる。また、本実施形態の場合、ハウジング３０の収容凹部３０ａをコネクタケース１０の先端面１０ａが挿入される側から見たときに、切欠き部３９の底まで見える構造つまり、切欠き部３９をハウジング３０の一面３０ｂに対して垂直方向に形成するだけで良いため、切欠き部３９の加工が容易になるという効果も得られる。

（第４実施形態）
本発明の第４実施形態について説明する。本実施形態の圧力センサＳ１も、第２、第３実施形態と同様に、第１実施形態に対して切欠き部３９の構成を変更したものである。このため、第１実施形態と異なる部分についてのみ説明する。

図４は、本実施形態の圧力センサＳ１の断面図である。この図に示すように、本実施形態では、切欠き部３９は、第１実施形態と同様に、ネジ部３３の中心線を中心軸として、挿入方向と垂直方向かつ中心軸を中心とした径方向に延設された溝により構成されているだけでなく、部屋３２を構成するテーパ状部分に沿って複数段の階段状に形成されている。

このように、切欠き部３９を階段状に構成しても、第１実施形態と同様の効果を得ることができる。

（他の実施形態）
上記第１実施形態では、切欠き部３９が部屋３２におけるテーパ状部分に形成されている場合を例に挙げて説明したが、圧力導入孔３１から例えばネジ部３３の挿入方向に対して垂直となるように切欠き部３９を形成しても構わない。

また、上記第１〜４実施形態では、切欠き部３９が圧力導入孔３１の周囲を一周全周するように形成されている場合について説明したが、必ずしも一周全周しなければならないわけではない。つまり、切欠き部３９がネジ部３３の中心線を中心軸から放射状に複数箇所形成されているような構造であっても、軸力による影響を部分的に抑制することができるため、第１〜第４実施形態と比べると効果が小さくなる可能性があるが、これらと同様の効果を得ることができる。

上記各実施形態において、圧力検出室４０には、オイル４１が封入されていなくてもよい。つまり、メタルダイアフラム３５を介して圧力検出室４０内のセンサ素子２０に測定圧力が印加されればよく、圧力検出室４０内の圧力伝達媒体としては気体等であっても構わない。

また、第１のケースとなるコネクタケース１０や第２のケースとなるハウジング３０の材質などについても、それぞれ樹脂や金属というように限定されるものではなく、適宜変更可能である。

また、センサ素子２０は、上記したダイアフラムが受けた圧力を電気信号に変換し、この電気信号をセンサ信号として出力する半導体ダイヤフラム式のものに限定されるものではない。

本発明の第１実施形態に係る圧力センサの全体構成を示す断面図である。 本発明の第２実施形態に係る圧力センサの全体構成を示す断面図である。 本発明の第３実施形態に係る圧力センサの全体構成を示す断面図である。 本発明の第４実施形態に係る圧力センサの全体構成を示す断面図である。 従来の圧力センサの全体構成を示す断面図である。

符号の説明

１０…コネクタケース、１０ａ…先端面、１１…凹部、１２…ターミナル、１３…ボンディングワイヤ、１３…ワイヤ、１４…シール剤、１５…開口部、２０…センサ素子、２１…台座、３０…ハウジング、３０ａ…収容凹部、３０ｂ…一面、３１…圧力導入孔、３２…部屋、３３…ネジ部、３４…ストッパ面、３５…メタルダイアフラム、３６…リングウェルド、３７…溶接部、３８…部、３９…切欠き部、４０…圧力検出室、４１…オイル、５０…壁面、５１…雌ネジ穴、６０…直線、１００…ケーシング、Ｌ１…深さ、Ｓ１…圧力センサ。

Claims (10)

1. 第１のケース（１０）と測定媒体が導入される圧力導入孔（３１）が形成された第２のケース（３０）とを一体に組み付けてなるケーシング（１００）と、
   該ケーシング（１００）内に備えられた圧力検出用のセンシング部（２０）と、
   前記第１のケース（１０）の先端面（１０ａ）と前記第２のケース（３０）の一面（３０ｂ）との間に配置されたメタルダイアフラム（３５）と、を備え、
   前記メタルダイアフラム（３５）が前記第２のケース（３０）における前記一面（３０ｂ）に対して溶接部（３７）にて固定されていると共に、
   前記第１のケース（１０）の前記先端面（１０ａ）と前記第２のケース（３０）の前記一面に前記メタルダイアフラム（３５）が挟まれるように、前記第１のケース（１０）が前記第２のケース（３０）に固定され、
   さらに、前記第２のケース（３０）におけるストッパ面（３４）が測定対象物の壁面（５０）に接するように、前記第１のケース（１０）と反対側に形成されたネジ部（３３）を前記壁面（５０）に形成された雌ネジ穴（５１）に螺合させることで、前記第２のケース（３０）が前記測定対象物に固定され、
   前記第２ケース（３０）のうち前記圧力導入孔（３１）が広げられることで形成された部屋（３２）内に前記圧力導入孔（３１）を通じて前記測定媒体が導入されることで、前記部屋（３２）内の測定媒体の圧力が前記メタルダイアフラム（３５）および該メタルダイアフラム（３５）と前記第１ケース（１０）により形成される圧力検出室（４０）を介して前記センシング部（２０）に伝えられ、圧力検出を行うように構成された圧力センサにおいて、
   前記第２のケース（３０）のうち、前記溶接部（３７）から前記ストッパ面（３４）の間に、前記部屋（３２）に連通する切欠き部（３９）が形成されていることを特徴とする圧力センサ。
2. 前記切欠き部（３９）の深さ（Ｌ１）は、前記ストッパ面（３４）と前記ネジ部（３３）との境界部と前記溶接部（３７）とを結ぶ直線（６０）を横切る深さに設定されていることを特徴とする請求項１に記載の圧力センサ。
3. 前記切欠き部（３９）は、前記ネジ部（３３）の中心線を中心軸として、該中心軸に対して垂直方向に延設されていることを特徴とする請求項１または２に記載の圧力センサ。
4. 前記切欠き部（３９）は、前記ネジ部（３３）の中心線を中心軸として、該中心軸に対して傾斜するように延設されていることを特徴とする請求項１または２に記載の圧力センサ。
5. 前記部屋（３２）は、前記圧力導入孔（３１）からテーパ状に広がるように構成され、
   前記切欠き部（３９）は、前記部屋（３２）における前記テーパ状部分に形成されていることを特徴とする請求項３または４に記載の圧力センサ。
6. 前記切欠き部（３９）は、前記圧力導入孔（３１）に形成されていることを特徴とする請求項３または４に記載の圧力センサ。
7. 前記切欠き部（３９）は、前記ネジ部（３３）の中心線を中心軸として、該中心軸に対して平行に延設されていることを特徴とする請求項１または２に記載の圧力センサ。
8. 前記切欠き部（３９）は、前記第２のケース（３０）における前記一面（３０ｂ）のうち、前記溶接部（３７）よりも内周側に形成されていることを特徴とする請求項７に記載の圧力センサ。
9. 前記切欠き部（３９）は、前記圧力導入孔（３１）の周囲を一周全周するように形成されていることを特徴とする請求項１ないし８のいずれか１つに記載の圧力センサセンサ。
10. 前記切欠き部（３９）は、前記中心軸を中心にした放射状に複数個配置されていることを特徴とする請求項１ないし８のいずれか１つに記載の圧力センサ。

Images