JP2008078642A - リソグラフ要素の汚染測定方法およびシステム - Google Patents
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- 238000011109 contamination Methods 0.000 title claims abstract description 183
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 95
- 238000001459 lithography Methods 0.000 title abstract description 15
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 claims abstract description 104
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims abstract description 96
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims abstract description 95
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 57
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 claims description 39
- 230000005670 electromagnetic radiation Effects 0.000 claims description 25
- 238000007872 degassing Methods 0.000 claims description 24
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 claims description 16
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 5
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims description 5
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 abstract description 14
- 238000000576 coating method Methods 0.000 abstract description 14
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 50
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 28
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 13
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 10
- 238000001900 extreme ultraviolet lithography Methods 0.000 description 10
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 9
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 8
- 230000008859 change Effects 0.000 description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 description 7
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 description 7
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 5
- 238000011066 ex-situ storage Methods 0.000 description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 5
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 4
- 238000012625 in-situ measurement Methods 0.000 description 4
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 4
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N Benzene Chemical compound C1=CC=CC=C1 UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 3
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 3
- 230000007812 deficiency Effects 0.000 description 3
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 3
- 239000003344 environmental pollutant Substances 0.000 description 3
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 3
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 3
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 3
- 238000011065 in-situ storage Methods 0.000 description 3
- 238000010943 off-gassing Methods 0.000 description 3
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 3
- 231100000719 pollutant Toxicity 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 238000005303 weighing Methods 0.000 description 3
- VQTUBCCKSQIDNK-UHFFFAOYSA-N Isobutene Chemical compound CC(C)=C VQTUBCCKSQIDNK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000001015 X-ray lithography Methods 0.000 description 2
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 2
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 description 2
- 238000012512 characterization method Methods 0.000 description 2
- 238000003795 desorption Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- DOIRQSBPFJWKBE-UHFFFAOYSA-N dibutyl phthalate Chemical compound CCCCOC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)OCCCC DOIRQSBPFJWKBE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- JBKVHLHDHHXQEQ-UHFFFAOYSA-N epsilon-caprolactam Chemical compound O=C1CCCCCN1 JBKVHLHDHHXQEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004817 gas chromatography Methods 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 2
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 2
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 2
- NNPPMTNAJDCUHE-UHFFFAOYSA-N isobutane Chemical compound CC(C)C NNPPMTNAJDCUHE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 125000006239 protecting group Chemical group 0.000 description 2
- 238000010926 purge Methods 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 2
- YTZKOQUCBOVLHL-UHFFFAOYSA-N tert-butylbenzene Chemical compound CC(C)(C)C1=CC=CC=C1 YTZKOQUCBOVLHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LVQFKRXRTXCQCZ-UHFFFAOYSA-N 1-(2-acetylphenyl)ethanone Chemical compound CC(=O)C1=CC=CC=C1C(C)=O LVQFKRXRTXCQCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JLBJTVDPSNHSKJ-UHFFFAOYSA-N 4-Methylstyrene Chemical compound CC1=CC=C(C=C)C=C1 JLBJTVDPSNHSKJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MQIUGAXCHLFZKX-UHFFFAOYSA-N Di-n-octyl phthalate Natural products CCCCCCCCOC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)OCCCCCCCC MQIUGAXCHLFZKX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000006057 Non-nutritive feed additive Substances 0.000 description 1
- 239000004677 Nylon Substances 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 239000003963 antioxidant agent Substances 0.000 description 1
- 230000003078 antioxidant effect Effects 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 1
- BJQHLKABXJIVAM-UHFFFAOYSA-N bis(2-ethylhexyl) phthalate Chemical compound CCCCC(CC)COC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)OCC(CC)CCCC BJQHLKABXJIVAM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- 238000009614 chemical analysis method Methods 0.000 description 1
- 239000003431 cross linking reagent Substances 0.000 description 1
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000593 degrading effect Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 1
- KPUWHANPEXNPJT-UHFFFAOYSA-N disiloxane Chemical class [SiH3]O[SiH3] KPUWHANPEXNPJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004043 dyeing Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 239000003063 flame retardant Substances 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- -1 hydronaphthalene Chemical compound 0.000 description 1
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 1
- 238000000671 immersion lithography Methods 0.000 description 1
- 239000001282 iso-butane Substances 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 1
- 229920001778 nylon Polymers 0.000 description 1
- 238000005457 optimization Methods 0.000 description 1
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 1
- 150000002903 organophosphorus compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 239000004014 plasticizer Substances 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 1
- 238000012216 screening Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
- 239000003381 stabilizer Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
【解決手段】リソグラフ要素の汚染を測定する方法は、第1リソグラフ要素を処理チャンバ内に設けるステップと、第2リソグラフ要素を処理チャンバ内に設けるステップと、第1リソグラフ要素の一部を被覆して、第1リソグラフ要素の被覆部分である参照領域を第1リソグラフ要素に設けるステップと、処理チャンバ内に汚染物質を供給するステップと、露光ビームを、第1リソグラフ要素のテスト領域および第2リソグラフ要素に向けて、少なくとも1つのリソグラフ要素が汚染物質によって汚染されるようにするステップと、処理チャンバ内で、少なくとも1つの汚染されたリソグラフ要素の汚染レベルを測定するステップとを含む。
【選択図】図2
Description
第2リソグラフ要素を処理チャンバ内に設けるステップと、
第1リソグラフ要素の一部を被覆して、第1リソグラフ要素の被覆部分である参照領域を第1リソグラフ要素に設け、第1リソグラフ要素の未被覆部分であるテスト領域を第1リソグラフ要素に設けるステップと、
処理チャンバ内に汚染物質を供給するステップと、
露光ビームを、第1リソグラフ要素のテスト領域および第2リソグラフ要素に向けて、少なくとも1つのリソグラフ要素が汚染物質によって汚染されるようにするステップと、
処理チャンバ内で、少なくとも1つの汚染されたリソグラフ要素の汚染レベルを測定するステップとを含む。該方法は、好ましくは、第1リソグラフ要素の被覆部分をはがして、未被覆参照領域を設けるステップを含む。汚染レベルの測定は、好ましくは、汚染レベルを光学的に測定することを含む。
パラメータの参照値である、第1リソグラフ要素の未被覆参照領域でのパラメータに関する値を測定するステップと、
パラメータのテスト値である、第1リソグラフ要素のテスト領域でのパラメータに関する値を測定するステップと、
参照値とテスト値の間の差を、例えば、計算によって決定するステップとを含んでもよい。
露光ビームを、第1リソグラフ要素の参照領域を経由して第2リソグラフ要素に向けて、さらにセンサに向くようにすることによって、第2リソグラフ要素のテスト領域でのパラメータに関する第2要素テスト値を測定するステップを含んでもよい。
処理チャンバと、
汚染物質を導入するための入り口と、
少なくとも1つのリソグラフ要素を、汚染物質の存在下に直接または間接的に曝すことによって、少なくとも1つのリソグラフ要素の汚染を生じさせるようにした第1エネルギービームを処理チャンバ内に供給するための第1エネルギー源と、
第1リソグラフ要素に参照領域を設けるために、第1リソグラフ要素の少なくとも一部を被覆するための手段であって、第1リソグラフ要素が第1エネルギービームに曝されたとき、参照領域が汚染されないようにする被覆手段と、
汚染を測定するためのセンサとを備える。
処理チャンバ内に汚染物質を供給するステップと、
第1リソグラフ要素のテスト領域および第2リソグラフ要素を露出して、少なくとも1つのリソグラフ要素が汚染物質によって汚染されるようにし、少なくとも1つのリソグラフ要素の一部を露出させないようにして、少なくとも1つの汚染されたリソグラフ要素の参照領域を得るようにするステップと、
少なくとも1つの汚染されたリソグラフ要素のテスト領域および参照領域について光学パラメータを測定することによって、処理チャンバ内で、少なくとも1つの汚染されたリソグラフ要素の汚染レベルを光学的に測定するステップとを含む。
用語「X線放射」は、典型的には、10nm〜0.01nmの波長範囲にある電磁放射を含む。
用語「深紫外放射」は、典型的には、300nm〜7nmの波長範囲にある電磁放射である。
Claims (29)
- リソグラフ要素の汚染を測定する方法(100)であって、
第1リソグラフ要素(201,301)を処理チャンバ内に設けるステップ(101)と、
第2リソグラフ要素(203,303)を処理チャンバ内に設けるステップ(102)と、
処理チャンバ内に汚染物質(206,306)を供給するステップ(104)とを含み、
第1リソグラフ要素(201,301)の一部を被覆して、第1リソグラフ要素(201,301)の被覆部分である参照領域(201b,301b)を第1リソグラフ要素(201,301)に設け、第1リソグラフ要素(201,301)の未被覆部分であるテスト領域(201a,301a)を第1リソグラフ要素(201,301)に設けるステップ(103)と、
汚染物質(206,306)を供給(104)した後、露光ビーム(205,305)を、第1リソグラフ要素(201,301)のテスト領域(201a,301a)を経由して第2リソグラフ要素(203,303)に向けて、少なくとも1つのリソグラフ要素(201,301,203,303)が汚染物質(206,306)によって汚染されるようにするステップ(105)と、
第1リソグラフ要素(201,301)の被覆部分をはがして、未被覆参照領域を設けるステップと、
処理チャンバ内で、少なくとも1つの汚染されたリソグラフ要素(201,301,203,303)の汚染レベルを光学的に測定するステップ(106)とを含むことを特徴とする方法。 - 第1リソグラフ要素(201,301)の一部を被覆するステップは、第1リソグラフ要素(201,301)の一部を被覆するシールド(204,304)の設置と、シールド(204,304)と第1リソグラフ要素(201,301)の少なくとも一部との間に、直接コンタクトを設置することを含む請求項1記載のリソグラフ要素の汚染を測定する方法(100)。
- 第1リソグラフ要素(201,301)の一部を被覆するステップは、第1リソグラフ要素(201,301)の少なくとも一部に影をつくるためのシールド(204,304)の設置を含む請求項1記載のリソグラフ要素の汚染を測定する方法。
- 汚染レベルを光学的に測定することは、テスト領域(201a,301a)および参照領域(201b,301b)の光学パラメータを測定することを含む請求項1〜3のいずれかに記載のリソグラフ要素の汚染を測定する方法。
- 第1リソグラフ要素(201,301)は、リソグラフ光学要素である請求項1〜4のいずれかに記載のリソグラフ要素の汚染を測定する方法。
- 処理チャンバ内で少なくとも1つの汚染されたリソグラフ要素の汚染レベルを測定する前に、処理チャンバから汚染物質(206,306)を除去するステップをさらに含む請求項1〜5のいずれかに記載のリソグラフ要素の汚染を測定する方法。
- 少なくとも1つの汚染されたリソグラフ要素は、第1リソグラフ要素(201,301)である請求項1〜6のいずれかに記載のリソグラフ要素の汚染を測定する方法。
- 汚染レベルを光学的に測定することは、テスト領域(201a,301a)および参照領域(201b,301b)の光学パラメータを測定することを含む請求項1〜7のいずれかに記載のリソグラフ要素の汚染を測定する方法。
- 処理チャンバ内で第1リソグラフ要素(201,301)の汚染レベルを測定するステップは、
パラメータの参照値である、第1リソグラフ要素(201,301)の未被覆参照領域(201b,301b)でのパラメータに関する値を測定するステップと、
パラメータのテスト値である、第1リソグラフ要素(201,301)のテスト領域でのパラメータに関する値を測定するステップと、
参照値とテスト値の間の差を決定するステップとを含む請求項1〜8のいずれかに記載のリソグラフ要素の汚染を測定する方法。 - パラメータの参照値を測定するステップは、露光ビームを、第1リソグラフ要素(201,301)の参照領域(201b,301b)を経由してセンサ(208)に向くようにするステップを含む請求項9記載のリソグラフ要素の汚染を測定する方法。
- パラメータのテスト値を測定するステップは、露光ビームを、第1リソグラフ要素(201)のテスト領域(201a)を経由してセンサ(208)に向くようにするステップを含む請求項9〜10のいずれかに記載のリソグラフ要素の汚染を測定する方法。
- 第2リソグラフ要素(203,303)は、マスクである請求項1〜11のいずれかに記載のリソグラフ要素の汚染を測定する方法。
- 第2リソグラフ要素(203,303)は、汚染物質(206)を含む請求項1〜12のいずれかに記載のリソグラフ要素の汚染を測定する方法。
- 第2リソグラフ要素(203,303)は、汚染物質(206)を含んだレジストを含み、該汚染物質は、レジストの脱ガスによって処理チャンバ内に供給されるようにした請求項13記載のリソグラフ要素の汚染を測定する方法。
- 第2リソグラフ要素(203,303)は、露光ビームを、第1リソグラフ要素(201,301)のテスト領域(201a,301a)を経由して第2リソグラフ要素(203,303)に向くようにするステップにおいて、汚染物質(206,306)によって汚染されるようにした請求項1〜12のいずれかに記載のリソグラフ要素の汚染を測定する方法。
- 処理チャンバ内で少なくとも1つのリソグラフ要素の汚染レベルを光学的に測定するステップは、処理チャンバ内で第2リソグラフ要素(203,303)の汚染レベルを測定することを含む請求項1〜15のいずれかに記載のリソグラフ要素の汚染を測定する方法。
- 少なくとも第2リソグラフ要素(203,303)の汚染レベルを光学的に測定するステップは、
露光ビームを、第1リソグラフ要素の参照領域(201b,301b)を経由して第2リソグラフ要素(203,303)に向けて、さらにセンサ(208,308)に向くようにすることによって、第2リソグラフ要素(203,303)のテスト領域でのパラメータに関する第2要素テスト値を測定するステップを含む請求項16記載のリソグラフ要素の汚染を測定する方法。 - 第2要素テスト値を測定するステップは、露光ビームを、第1リソグラフ要素のテスト領域(201a,301a)を経由して第2リソグラフ要素に向けて、さらにセンサ(208)に向くようにするステップをさらに含む請求項17記載のリソグラフ要素の汚染を測定する方法。
- 第1リソグラフ要素(201,301)はミラーである請求項1〜18のいずれかに記載のリソグラフ要素の汚染を測定する方法。
- パラメータは、第1リソグラフ要素(201,301)の反射率である請求項19記載のリソグラフ要素の汚染を測定する方法。
- センサ(208)は、反射率センサである請求項19〜20のいずれかに記載のリソグラフ要素の汚染を測定する方法。
- 第1リソグラフ要素(201,301)はレンズでである請求項1〜18のいずれかに記載のリソグラフ要素の汚染を測定する方法。
- パラメータは、第1リソグラフ要素の透過率である請求項22記載のリソグラフ要素の汚染を測定する方法。
- センサ(208)は、透過率センサである請求項22〜23のいずれかに記載のリソグラフ要素の汚染を測定する方法。
- テスト領域(201a,301a)は、複数のテストゾーンを含む請求項1〜24のいずれかに記載のリソグラフ要素の汚染を測定する方法。
- 参照領域(201b,301b)は、複数の参照ゾーンを含む請求項1〜25のいずれかに記載のリソグラフ要素の汚染を測定する方法。
- リソグラフ要素の汚染を測定するためのシステムであって、
処理チャンバと、
第1リソグラフ要素(201,301)および第2リソグラフ要素(203,303)と、
汚染物質(206,306)を供給するための汚染源と、
少なくとも1つの第1および第2リソグラフ要素(201,301,203,303)を、汚染物質(206,306)の存在下に直接または間接的に曝すことによって、少なくとも1つの第1および第2リソグラフ要素(201,301,203,303)の汚染を生じさせるようにした第1エネルギービームを処理チャンバ内に供給するための第1エネルギー源(207,307)と、
汚染を測定するためのセンサ(208)とを備え、
第1リソグラフ要素(201,301)に参照領域(201b,301b)を設けるために、第1リソグラフ要素(201,301)の少なくとも一部を被覆するための手段(204,304)であって、第1リソグラフ要素(201,301)が第1エネルギービームに曝されたとき、参照領域(201b,301b)が汚染されないようにする被覆手段をさらに備えることを特徴とするシステム。 - 第1エネルギー源(207,307)は、極紫外範囲の電磁放射を放出するようにした請求項27記載のリソグラフ要素の汚染を測定するシステム。
- センサ(208)は、光学センサである請求項27または28記載のリソグラフ要素の汚染を測定するシステム。
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US84089906P | 2006-08-28 | 2006-08-28 | |
US60/840,899 | 2006-08-28 | ||
EP07000209.2 | 2007-01-05 | ||
EP07000209A EP1895365B1 (en) | 2006-08-28 | 2007-01-05 | Method and system for measuring contamination of a lithographical element |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008078642A true JP2008078642A (ja) | 2008-04-03 |
JP5221912B2 JP5221912B2 (ja) | 2013-06-26 |
Family
ID=39350334
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007221044A Active JP5221912B2 (ja) | 2006-08-28 | 2007-08-28 | リソグラフ要素の汚染測定方法およびシステム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5221912B2 (ja) |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP5221912B2 (ja) | 2013-06-26 |
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