JP6270288B2 - 検査装置、検査方法、汚染防止構造及び露光装置 - Google Patents
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Images
Landscapes
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Description
10 光源
11 照明光
12 照明光
13 照明光
14 照明光
20 照明光学系
21 多層膜凹面鏡
22 多層膜凹面鏡
23 落とし込みミラー
30 汚染防止構造
31 ステージ
32 外枠
35 発塵防止プレート
36 反射面
37 間隔
40 集光光学系
41 凹面鏡
41a 開口部
42 凸面鏡
43 平面鏡
44 凹面鏡
50 検出器
51、52、53 ステップ
60 チャンバー
70 マスク
71 マスク面
72 端部
Claims (9)
- 照明光を生成する光源と、
前記光源から取り出された前記照明光によりマスクを照明する照明光学系と、
前記マスクが載置されるステージと、
前記マスクが前記照明光により照明される際に、前記マスクの端部を照明する前記照明光を遮光するように、前記端部を覆う発塵防止プレートと、
照明された前記マスクからの光を集光する集光光学系と、
前記集光光学系により集光された前記光を検出する検出器と、
を備え、
前記発塵防止プレートにおける前記照明光により照明される面は、前記照明光を反射する反射面である検査装置。 - 前記発塵防止プレートは、前記ステージに固定され、前記ステージとともに可動である請求項1に記載の検査装置。
- 前記発塵防止プレートと、前記マスクとの間隔は2mm以上5mm以下である請求項1または2に記載の検査装置。
- 前記照明光の開口数は、0.1以上0.4以下である請求項1〜3のいずれか一項に記載の検査装置。
- 前記マスクは、EUVマスクであり、前記照明光は、EUV光を含む請求項1〜4のいずれか一項に記載の検査装置。
- 前記反射面は、多層膜により形成されている請求項1〜5のいずれか一項に記載の検査装置。
- マスクを照明光により照明する際に、前記マスクの端部を照明する前記照明光を遮光するように、前記端部を発塵防止プレートで覆う工程と、
光源から取り出された前記照明光により前記端部が前記発塵防止プレートで覆われた前記マスクを照明する工程と、
照明された前記マスクからの光を集光し、集光された前記光を検出する工程と、
を備え、
前記発塵防止プレートにおける前記照明光により照明される面は、前記照明光を反射する反射面である検査方法。 - マスクが載置されるステージと、
前記マスクが照明光により照明される際に、前記マスクの端部を照明する前記照明光を遮光するように、前記端部を覆う発塵防止プレートと、
を備え、
前記発塵防止プレートにおける前記照明光により照明される面は、前記照明光を反射する反射面である汚染防止構造。 - 露光光を生成する光源と、
前記光源から取り出された前記露光光によりマスクを照明する照明光学系と、
前記マスクが載置されるステージと、
前記マスクが前記露光光により照明される際に、前記マスクの端部を照明する前記露光光を遮光するように、前記端部を覆う発塵防止プレートと、
照明された前記マスクからの光を集光する集光光学系と、
を備え、
前記発塵防止プレートにおける前記露光光により照明される面は、前記露光光を反射する反射面である露光装置。
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