JP2008076213A - 帯電電位測定プローブ及びこのプローブを用いた帯電電位分布測定システムと帯電電位分布測定装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】帯電電位検出部分が直径0.5mm以下のプローブを用い、帯電電位を測定するプローブの検出部及び回路を最適化することにより、より微小領域の帯電電位の測定を可能にし、プローブを二次元に走査することにより、高分解能の帯電電位分布を短時間で測定する。
【選択図】なし
Description
図5に示す、LED(測定面の大きさ1.6×0.8mm)13がキャリアテープに収納された状態のものを、本発明の帯電電位分布測定システムによる装置で測定した。この時、検出部の銅線8の直径は0.16mmであり、帯電電位測定プローブ1とLED13との距離は0.2mmである。増幅回路内のコンデンサ10は100pF、抵抗11は1.5TΩであり、この時の時定数は150秒である。試料ホルダー2の走査の速度は、一方向への距離は5mmに対して時間1.5秒である。得られた結果を図6の等高線グラフに示した。等高線は、負極性を実線で正極性を点線で示している。等高線を色分けすることにより視覚的に表示でき、帯電分布状態がわかりやすい。
比較として市販の電位計(トレック社製モデル541、検出部直径1mm)を用いて実施例で測定したLED13より大きいLED(測定面の大きさ3.2mm×1.6mm)について、帯電電位測定プローブ1とLED13との距離を0.5mmとして測定した。結果を図7に示した。測定結果は、帯電電位分布が円状であり、LED13の形が反映されていない。これは、市販の電位計の測定領域がLED13の大きさと同等以上であるためであり、この結果ではLED13表面の帯電電位分布を精度良く測定しているとは言えない。
2 試料ホルダー
3 テーブル移動ドライバ
4 テーブル移動ドライバ
5 AD変換ボード
6 DA変換ボード
7 パーソナルコンピュータ
8 銅線
9 ビニール
10 コンデンサ
11 抵抗
12 キャリアテープ
13 LED
Claims (7)
- 帯電電位検出部分が直径0.5mm以下であり、微小領域の帯電電位を測定することを特徴とする帯電電位測定プローブ。
- 請求項1に記載の帯電電位測定プローブを測定対象上に二次元に走査し帯電分布を視覚的に表示することを特徴とする帯電電位分布測定システム。
- 帯電電位測定プローブと測定対象との距離を0.5mm以下で測定することを特徴とする請求項2記載の帯電電位分布測定システム。
- 初段の入力バイアス電流が小さいオペアンプ及び入力抵抗が大きい抵抗を用いたボルテージフォロア回路と次段の0入力の時に発生する電圧を引き算消去するためのDA変換ボードからなる帯電電位の増幅回路を有する事を特徴とする請求項3記載の帯電電位分布測定システム。
- 時定数が一方向の走査時間の100倍以上である帯電電位の増幅回路を有する事を特徴とする請求項4記載の帯電電位分布測定システム。
- 一方向の走査後に必ず基準電位部の測定を行い、基準電位からのずれを次の走査でDA変換ボードからの入力で補正することを特徴とする請求項3〜5いずれか一項記載の帯電電位分布測定システム。
- 請求項2〜6のいずれか一項記載の帯電電位測定システムによることを特徴とする帯電電位分布測定装置。
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