JP2008070614A - 光源装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体レーザ2a,2bとコリメータレンズ3a,3bと光源保持部1a,1bとを備えた光源部を複数有し、複数の光源部は互いの光軸が平行でかつ光軸に対して垂直な同一直線上に配置されている光源装置において、光源保持部1a,1bは、コリメータレンズ3a,3bの外周面と対向しコリメータレンズ3a,3bを挟み込むようにして接着するための一対の接着部(レンズ保持部4a〜4d)をそれぞれ有し、光源保持部1a,1bがそれぞれ有するレンズ保持部4a〜4dは、コリメータレンズ3a,3bの配列方向と同一直線上に設けられている。
【選択図】図1
Description
光源と、前記光源から出射される光を平行化するコリメータレンズと、前記光源を保持し前記コリメータレンズを接着固定するための筒形状の光源保持部と、を備えた光源部を複数有し、前記複数の光源部は互いの光軸が平行でかつ光軸に対して垂直な同一直線上に配置されている光源装置において、
前記複数の筒形状の光源保持部は、前記コリメータレンズの外周面と対向し前記コリメータレンズを挟み込むようにして接着するための一対の接着部をそれぞれ有し、前記複数の筒形状の光源保持部がそれぞれ有する一対の接着部は、前記複数の光源部の配列方向と同一直線上に設けられていることを特徴とする。
前記第1光源群の光源部と前記第2光源群の光源部とは、各々の配列方向が互いに平行であり、各々の光軸を含む平面が互いに交差しており、
前記複数の光源保持部は、前記コリメータレンズの外周面と対向し前記コリメータレンズを挟み込むようにして接着するための一対の接着部をそれぞれ有し、前記第1光源群の光源保持部が有する一対の接着部は、前記第1光源群の光源部の配列方向と同一直線上に設けられており、前記第2光源群の光源保持部が有する一対の接着部は、前記第2光源群の光源部の配列方向と同一直線上に設けられていることを特徴とする。
示の3軸ステージに連結されており、X,Y,Z3軸方向に移動可能になっている。そして、コリメータレンズ3a,3bは、チャック13,14によって仮置き位置から称呼位置まで光軸方向に移動し、その状態で半導体レーザ2a,2bが発光される。
コバ部に対向し、かつコリメータレンズ53a,53bの中心に対して略左右対称であることを特徴とする。
に略同一直線上に配置すれば、互いの光軸が略平行なコリメータレンズを同時に把持できる。図12(c)に示すように互いの光軸が略平行なコリメータレンズならば、1つのスポット観察系上の、同じ位置に結像させることができるので、1つのスポット観察系71で複数のコリメータレンズを同時に観察可能である。
1a,1b 光源保持部
2a,2b 半導体レーザ
3a,3b コリメータレンズ
4a〜4d レンズ保持部
80a,80b,81a,81b レンズ接着面
Claims (3)
- 光源と、前記光源から出射される光を平行化するコリメータレンズと、前記光源を保持し前記コリメータレンズを接着固定するための筒形状の光源保持部と、を備えた光源部を複数有し、前記複数の光源部は互いの光軸が平行でかつ光軸に対して垂直な同一直線上に配置されている光源装置において、
前記複数の筒形状の光源保持部は、前記コリメータレンズの外周面と対向し前記コリメータレンズを挟み込むようにして接着するための一対の接着部をそれぞれ有し、前記複数の筒形状の光源保持部がそれぞれ有する一対の接着部は、前記複数の光源部の配列方向と同一直線上に設けられていることを特徴とする光源装置。 - 前記一対の接着部は、前記コリメータレンズの中心に対して対称な接着面を有することを特徴とする請求項1記載の光源装置。
- 光源と、前記光源から出射される光を平行化するコリメータレンズと、前記光源を保持し前記コリメータレンズを接着固定するための光源保持部と、を備えた光源部を複数有し、前記複数の光源部のうち少なくとも2つの光源部が互いの光軸が平行でかつ光軸に対して垂直な同一直線上に配置されている第1光源群と、前記第1光源群の光源部とは別に少なくとも2つの光源部が互いの光軸が平行でかつ光軸に対して垂直な同一直線上に配置されている第2光源群と、を備える光源装置であって、
前記第1光源群の光源部と前記第2光源群の光源部とは、各々の配列方向が互いに平行であり、各々の光軸を含む平面が互いに交差しており、
前記複数の光源保持部は、前記コリメータレンズの外周面と対向し前記コリメータレンズを挟み込むようにして接着するための一対の接着部をそれぞれ有し、前記第1光源群の光源保持部が有する一対の接着部は、前記第1光源群の光源部の配列方向と同一直線上に設けられており、前記第2光源群の光源保持部が有する一対の接着部は、前記第2光源群の光源部の配列方向と同一直線上に設けられていることを特徴とする光源装置。
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JP2006249370A JP4965942B2 (ja) | 2006-09-14 | 2006-09-14 | 光源装置 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2004271906A (ja) * | 2003-03-07 | 2004-09-30 | Canon Inc | 走査式光学装置 |
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- 2006-09-14 JP JP2006249370A patent/JP4965942B2/ja active Active
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