JP2008068263A - ウエハ加工方法及び装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】シリコンを含むウエハ1をレーザー2により加工するウエハ加工方法において、ウエハ1の加工表面上を当該表面に保護膜を形成する特定ガス雰囲気8に維持する特定ガス雰囲気維持工程と、特定ガス雰囲気18中でウエハ1にレーザー2を照射して加工するレーザー加工工程と、レーザー2による加工部位にフッ素系ガスを含む大気圧プラズマ5を照射して溶融付着物を除去するプラズマ照射工程とを有している。
【選択図】図4
Description
まず、本発明のウエハ加工方法及び装置の第1の実施形態について,図1〜図10を参照して説明する。
次に、本発明のウエハ加工方法及び装置の第2の実施形態について,図11、図12を参照して説明する。なお、以下の実施形態の説明においては、先行する実施形態と同一の構成要素については、 同一の参照符号を付して説明を省略し、主として相違点についてのみ説明する。
次に、本発明のウエハ加工方法及び装置の第3の実施形態について,図13を参照して説明する。
2 レーザー
3 溝
4 溶融付着物
5 大気圧プラズマ
6 大気圧プラズマ発生手段
10 保護膜
11 ウエハ加工装置
12 ウエハ固定手段
13 レーザー発生手段
14 レーザー照射手段
15 三次元移動手段
16 特定ガス供給手段
18 特定ガス雰囲気
20 制御手段
Claims (9)
- シリコンを含むウエハをレーザーにより加工するウエハ加工方法において、ウエハの加工表面上を当該表面に保護膜を形成する特定ガス雰囲気に維持する特定ガス雰囲気維持工程と、特定ガス雰囲気中でウエハにレーザーを照射して加工するレーザー加工工程とを有することを特徴とするウエハ加工方法。
- 特定ガスは、酸素ガス又は窒素ガスであることを特徴とする請求項1記載のウエハ加工方法。
- レーザーによる加工部位にフッ素系ガスを含む大気圧プラズマを照射するプラズマ照射工程を有することを特徴とする請求項1又は2記載のウエハ加工方法。
- レーザー加工工程の後に、プラズマ照射工程を行うことを特徴とする請求項3記載のウエハ加工方法。
- 照射する大気圧プラズマ中にレーザーを照射してレーザー加工工程とプラズマ照射工程を同時に行うことを特徴とする請求項3記載のウエハ加工方法。
- フッ素系ガスを含む大気圧プラズマは、不活性ガスとフッ素系ガスの混合ガスに高周波電界を印加して発生させることを特徴とする請求項3〜5の何れかに記載のウエハ加工方法。
- フッ素系ガスを含む大気圧プラズマは、不活性ガスに高周波電界を印加して発生させたプラズマにフッ素系ガスを含むガスを混合して発生させることを特徴とする請求項3〜5の何れかに記載のウエハ加工方法。
- シリコンを含むウエハをレーザーにより加工するウエハ加工装置において、ウエハの加工表面上に特定ガスを供給して特定ガス雰囲気に維持する特定ガス雰囲気維持手段と、レーザーを発生するレーザー発生手段と、レーザーをウエハの加工線に沿って照射するレーザー照射手段と、特定ガス雰囲気維持手段とレーザー発生手段とレーザー照射手段を制御する制御手段とを備えたことを特徴とするウエハ加工装置。
- フッ素系ガスを含む大気圧プラズマを発生して照射する大気圧プラズマ発生手段と、大気圧プラズマ発生手段を移動する三次元移動手段とを有し、制御手段は大気圧プラズマ発生手段と三次元移動手段をも制御することを特徴とする請求項8記載のウエハ加工装置。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2012063474A1 (ja) * | 2010-11-10 | 2012-05-18 | パナソニック株式会社 | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 |
US11077525B2 (en) * | 2018-04-04 | 2021-08-03 | Infineon Technologies Ag | Method of processing a silicon carbide containing crystalline substrate, silicon carbide chip, and processing chamber |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0845801A (ja) * | 1994-07-26 | 1996-02-16 | Nippon Steel Corp | 半導体装置のマーキング方法 |
JP2002050849A (ja) * | 2000-08-07 | 2002-02-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レーザ加工方法およびレーザ加工装置 |
WO2005062377A1 (en) * | 2003-12-18 | 2005-07-07 | Intel Corporation | Methods and apparatus for laser dicing |
JP2005333122A (ja) * | 2004-04-20 | 2005-12-02 | Showa Denko Kk | 化合物半導体発光素子ウェハーの製造方法 |
-
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- 2006-09-12 JP JP2006246806A patent/JP4748006B2/ja active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0845801A (ja) * | 1994-07-26 | 1996-02-16 | Nippon Steel Corp | 半導体装置のマーキング方法 |
JP2002050849A (ja) * | 2000-08-07 | 2002-02-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レーザ加工方法およびレーザ加工装置 |
WO2005062377A1 (en) * | 2003-12-18 | 2005-07-07 | Intel Corporation | Methods and apparatus for laser dicing |
JP2005333122A (ja) * | 2004-04-20 | 2005-12-02 | Showa Denko Kk | 化合物半導体発光素子ウェハーの製造方法 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2012063474A1 (ja) * | 2010-11-10 | 2012-05-18 | パナソニック株式会社 | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 |
JP5271456B2 (ja) * | 2010-11-10 | 2013-08-21 | パナソニック株式会社 | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 |
US11077525B2 (en) * | 2018-04-04 | 2021-08-03 | Infineon Technologies Ag | Method of processing a silicon carbide containing crystalline substrate, silicon carbide chip, and processing chamber |
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