JP2008066444A - 配線基板の製造方法 - Google Patents
配線基板の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008066444A JP2008066444A JP2006241375A JP2006241375A JP2008066444A JP 2008066444 A JP2008066444 A JP 2008066444A JP 2006241375 A JP2006241375 A JP 2006241375A JP 2006241375 A JP2006241375 A JP 2006241375A JP 2008066444 A JP2008066444 A JP 2008066444A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- hole
- photosensitive resin
- resin film
- wiring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Printing Elements For Providing Electric Connections Between Printed Circuits (AREA)
Abstract
【課題】気泡を発生させずに、スルーホールを充填する。
【解決手段】基板11aの裏面に第一の裏面側樹脂フィルム31を貼付し、スルーホール22内を深さ方向途中まで第一の裏面側樹脂フィルム31で充填して、半充填孔28を形成した後、表面に感光性樹脂液を塗布し、感光性樹脂フィルム26を形成して半充填孔28を充填し、パターニングし、半充填孔28内に充填部27を形成する。スルーホール22の深さを浅くした状態で充填するので、気泡の巻き込みが無い。また、充填部27とは別にカバーフィルムを設け、カバーフィルムによって充填部27や配線膜24aを覆うようにすると、感光性樹脂フィルム26の膜厚は薄くてもよいから、低粘度の感光性樹脂液を用いることができる。
【選択図】 図1
【解決手段】基板11aの裏面に第一の裏面側樹脂フィルム31を貼付し、スルーホール22内を深さ方向途中まで第一の裏面側樹脂フィルム31で充填して、半充填孔28を形成した後、表面に感光性樹脂液を塗布し、感光性樹脂フィルム26を形成して半充填孔28を充填し、パターニングし、半充填孔28内に充填部27を形成する。スルーホール22の深さを浅くした状態で充填するので、気泡の巻き込みが無い。また、充填部27とは別にカバーフィルムを設け、カバーフィルムによって充填部27や配線膜24aを覆うようにすると、感光性樹脂フィルム26の膜厚は薄くてもよいから、低粘度の感光性樹脂液を用いることができる。
【選択図】 図1
Description
本発明は、配線基板の製造方法に係り、特に、両面配線のフレキシブル配線基板に関する。
フレキシブル配線基板は、電子機器の小型化、軽量化の要求に応じ、色々な種類のものが開発されている。
それらのうち、両面フレキシブル配線基板は、実装した回路部品間の配線が容易であり、省面積にできることから小型機器の回路基板として重要である。
それらのうち、両面フレキシブル配線基板は、実装した回路部品間の配線が容易であり、省面積にできることから小型機器の回路基板として重要である。
両面フレキシブル配線基板の表面の配線膜と裏面の配線膜はスルーホールによって電気的に接続されており、配線膜表面にカバーフィルムを形成し、絶縁させるのに加え、スルーホール内を樹脂で充填し、配線基板の強度や信頼性を向上させる技術は重要である。
スルーホール内を樹脂で充填するためには、低粘度の樹脂が望ましく、配線膜を保護するカバーフィルムを形成するためには、膜厚を厚くするために、高粘度のペースト状の樹脂を塗布し、硬化させるのが望ましい。
フレキシブル配線基板製造方法は種々提案されており、一例として下記文献を挙げておく。
特開昭58−124293
特開平2−90697
特開平3−236956
特開平6−69631
フレキシブル配線基板製造方法は種々提案されており、一例として下記文献を挙げておく。
スルーホール内を充填すると共に、膜厚の厚いカバーフィルムによって配線膜を保護するために、先ず、下記のような製造方法が開発された。
その製造方法を説明すると、図3(a)を参照し、符号111は、メッキ工程が終了した状態の基板であり、ベースフィルム121に形成された貫通孔の内周面には、メッキ法で成長された銅薄膜から成る接続層123が配置され、貫通孔と接続層123とでスルーホール122が形成されている。
ベースフィルム121の両面には、それぞれ配線膜124a、124bが配置されており、両面の配線膜124a、124b間は、スルーホール122によって接続されている。
その製造方法を説明すると、図3(a)を参照し、符号111は、メッキ工程が終了した状態の基板であり、ベースフィルム121に形成された貫通孔の内周面には、メッキ法で成長された銅薄膜から成る接続層123が配置され、貫通孔と接続層123とでスルーホール122が形成されている。
ベースフィルム121の両面には、それぞれ配線膜124a、124bが配置されており、両面の配線膜124a、124b間は、スルーホール122によって接続されている。
この状態では、配線膜124a、124bの表面は露出されており、他の部品や電子回路と接触して短絡しないように、先ず、裏面を作業台に向けて基板111を作業台上にを乗せ、感光性樹脂液を塗布し、スルーホール122内を感光性樹脂液で充填する。このとき、感光性樹脂液は基板111の表面側の配線膜124aにも塗布される。
その状態で乾燥させ、同図(b)に示すように、感光性樹脂フィルム126を形成する。
感光性樹脂液は、微細なスルーホール122を充填するため低粘度であり、感光性樹脂フィルム126の配線膜124a上の膜厚は薄くなってしまう。
その状態で乾燥させ、同図(b)に示すように、感光性樹脂フィルム126を形成する。
感光性樹脂液は、微細なスルーホール122を充填するため低粘度であり、感光性樹脂フィルム126の配線膜124a上の膜厚は薄くなってしまう。
そこで一旦露光、現像によって感光性樹脂フィルム126をパターニングし、同図(c)に示すように、スルーホール122を覆うパターニングされた感光性樹脂フィルム127を形成する。他の部分は現像時に除去し、表面側の配線膜124aは露出させる。
次いで、図3(d)に示すように、基板111の表面に感光性樹脂から成るカバーフィルム134を形成した後、カバーフィルム134を露光、現像によってパターニングし、同図(e)に示すように、配線膜124a上にパターニングされたカバーフィルム135を配置する。
そして、同図(f)に示すように、裏面側にもカバーフィルム132を配置し、必要に応じてパターニングした後、基板111を加熱し、感光性樹脂フィルム127、表面と裏面のカバーフィルム135、132が硬化させると、配線膜124a、124bがカバーフィルム135、132によって保護され、スルーホールが感光性樹脂フィルム127によって充填された両面フレキシブル配線基板112が得られる。
しかしながら上記のような製造方法では、スルーホール122が微細化し、スルーホールのアスペクト比が大きくなると、感光性樹脂液を塗布してスルーホール122を充填する際、スルーホール122内に空気が巻き込まれ、スルーホール122内に気泡130が生じるという不都合がある。
この気泡130が発生すると、リフロー時に気泡が破裂することによって回路が断線したり、レジストが剥がれてショートを引き起こしたりする等、両面フレキシブル配線基板112の回路の接続信頼性を低下させる原因となる。
また、基板111の表面側に感光性樹脂液を塗布してスルーホール122を充填する際、スルーホール122を通り抜けた可能性樹脂液が基板111の裏面側にしみ出し、基板111を乗せる台に感光性樹脂液が付着すると、他の基板を汚染する、という問題がある。
上記課題を解決するため、本発明は、ベースフィルムと、前記ベースフィルムの表面に配置された第一の配線膜と、前記ベースフィルムの裏面に配置された第二の配線膜と、前記ベースフィルムを貫通し、前記第一、第二の配線膜を電気的に接続するスルーホールとを有する配線基板の前記裏面側に第一の裏面側樹脂フィルムを貼付し、前記第一の裏面側樹脂フィルムによって前記スルーホールを厚み方向途中まで充填して半充填孔を形成し、前記配線基板の前記表面側に流動性を有する感光性樹脂液を塗布し、前記半充填孔を前記感光性樹脂液で充填した状態で前記感光性樹脂液から感光性樹脂フィルムを形成する配線基板の製造方法である。
また、本発明は、前記スルーホール内に嵌入された前記第一の裏面側樹脂フィルムの、前記スルーホール内の厚みは、前記スルーホールの深さの30%以上70%以下の範囲にされた配線基板の製造方法である。
また、本発明は、前記半充填孔の底面の前記第一の裏面側樹脂フィルム上の前記感光性樹脂フィルムの厚みHは、前記半充填孔の深さdよりも大きく、且つ、前記スルーホールの深さDよりも小さくされた配線基板の製造方法である。
また、本発明は、前記感光性樹脂フィルムを露光、現像によって所定の平面形状にパターニングする配線基板の製造方法である。
また、本発明は、パターニングされた前記感光性樹脂フィルムを保護フィルムで覆う配線基板の製造方法である。
また、本発明は、前記第一の裏面側樹脂フィルムをエッチング除去した後、前記配線基板の裏面側に第二の裏面側樹脂フィルムを配置する配線基板の製造方法である。
また、本発明は、前記第一の裏面側樹脂フィルムを、前記感光性樹脂フィルムを現像する際に現像液によってエッチング除去する配線基板の製造方法である。
また、本発明は、前記スルーホール内に嵌入された前記第一の裏面側樹脂フィルムの、前記スルーホール内の厚みは、前記スルーホールの深さの30%以上70%以下の範囲にされた配線基板の製造方法である。
また、本発明は、前記半充填孔の底面の前記第一の裏面側樹脂フィルム上の前記感光性樹脂フィルムの厚みHは、前記半充填孔の深さdよりも大きく、且つ、前記スルーホールの深さDよりも小さくされた配線基板の製造方法である。
また、本発明は、前記感光性樹脂フィルムを露光、現像によって所定の平面形状にパターニングする配線基板の製造方法である。
また、本発明は、パターニングされた前記感光性樹脂フィルムを保護フィルムで覆う配線基板の製造方法である。
また、本発明は、前記第一の裏面側樹脂フィルムをエッチング除去した後、前記配線基板の裏面側に第二の裏面側樹脂フィルムを配置する配線基板の製造方法である。
また、本発明は、前記第一の裏面側樹脂フィルムを、前記感光性樹脂フィルムを現像する際に現像液によってエッチング除去する配線基板の製造方法である。
深いスルーホールを裏面側から深さ方向途中まで第一の裏面側樹脂フィルムで充填し、浅い半充填孔を形成し、半充填孔を充填するようにしているので、気泡が発生しない。また、充填の際にも感光性樹脂液が裏面側にしみ出さず、他の基板を汚染しない。
また、配線膜とスルーホール上の感光性樹脂フィルムを覆うカバーフィルムを感光性樹脂フィルムとは別に設けるため、カバーフィルムの熱履歴が少なく、エッチング精度を高くすることができる。
また、感光性樹脂液のスルーホール外部の配線膜24a上やベースフィルム21上の厚みをスルーホールの深さDよりも浅くすることができるので、感光性樹脂フィルムのパターニングが容易である。
図1を参照し、図1(a)の符号11aは本発明に用いることができる基板であり、ベースフィルム21を有している。ベースフィルム21の表面と裏面には、配線膜24a、24bがそれぞれ形成されている。
ベースフィルム21は、ポリイミド等の樹脂フィルムであり、配線膜24a、24bは、エッチングによる銅箔のパターニングによって形成されている。ベースフィルム21と配線膜24a、24bは、厚みが数μm〜数十μmであり、それぞれ柔軟であり、基板11aが可撓性を有するように構成されている。
ベースフィルム21には、ベースフィルム21を厚み方向に貫通する貫通孔が形成されており、その貫通孔の内周面にはメッキ法によって、導電性の接続層23が形成され、貫通孔と接続層23によってスルーホール22が構成されている。接続層23は、例えば銅を析出させることによって形成することができる。
ベースフィルム21の表面の配線膜24aと裏面の配線膜24bは、この接続層23と連なっており、ベースフィルム21の表面と裏面の配線膜24a、24bの間は、スルーホール22によって電気的に接続されている。同図(a)の符号Dはスルーホール22の深さであり、ベースフィルム21の厚みと、表面と裏面の配線膜24a、24bの厚みを合計した値になる。
次に、この基板11aの裏面を、同図(b)に示すように、接着性を有する第一の裏面側樹脂フィルム31と密着させ、押圧して基板11aの裏面に第一の裏面側樹脂フィルム31を貼付する。
このとき、基板11aと第一の裏面側樹脂フィルム31とを押圧し、第一の裏面側樹脂フィルム31の表面をスルーホール22内に嵌入させる。同図(b)の符号11bはこの状態の基板を示している。
押圧量や押圧力を制御し、第一の裏面側樹脂フィルム31がスルーホール22内に、厚み方向途中まで嵌入させ、半充填孔28を形成する。
このとき、基板11aと第一の裏面側樹脂フィルム31とを押圧し、第一の裏面側樹脂フィルム31の表面をスルーホール22内に嵌入させる。同図(b)の符号11bはこの状態の基板を示している。
押圧量や押圧力を制御し、第一の裏面側樹脂フィルム31がスルーホール22内に、厚み方向途中まで嵌入させ、半充填孔28を形成する。
スルーホール22内に嵌入された部分の厚みtは限定されるものではないが、少なくとも裏面側の配線膜24bの厚み以上にしておき、ベースフィルム22の内部に確実に位置させるとよい。
また、後で半充填孔28を充填する際に気泡が形成されないようにするためには、スルーホール22内に嵌入させる厚みtは、スルーホールの深さDの30%以上70%以下の範囲、即ち、D/2±D×20%の範囲にすることが望ましい。
この状態の半充填孔28は、底面に第一の裏面側樹脂フィルム31の嵌入部分の先端が露出されており、半充填孔28の深さdは、D−tの大きさである。
また、後で半充填孔28を充填する際に気泡が形成されないようにするためには、スルーホール22内に嵌入させる厚みtは、スルーホールの深さDの30%以上70%以下の範囲、即ち、D/2±D×20%の範囲にすることが望ましい。
この状態の半充填孔28は、底面に第一の裏面側樹脂フィルム31の嵌入部分の先端が露出されており、半充填孔28の深さdは、D−tの大きさである。
次に、基板11bの表面を上方に向け、半充填孔28を含む領域内に第一の感光性樹脂液を塗布すると、底面に第一の裏面側樹脂フィルム31の表面が露出する半充填孔28が充填される。半充填孔28が形成されているスルーホール22の底面は第一の裏面側樹脂フィルム31で閉塞されており、半充填孔28内に塗布された第一の感光性樹脂液が、基板11bの裏面側に漏れ出すことはない。
なお、スルーホール22は複数形成されており、その裏面に1枚の第一の裏面側樹脂フィルム31が貼付されると、複数の半充填孔28が一緒に形成される。複数の半充填孔28に対しては、第一の感光性樹脂液は、基板11表面の全部に塗布し、複数の半充填孔28を一緒に充填してもよいし、一乃至複数の半充填孔28を含む領域毎に、部分的に塗布してもよい。
塗布された第一の感光性樹脂液を乾燥すると、第一の感光性樹脂液はフィルム化し、同図(c)に示すように、感光性樹脂フィルム26が形成された基板11cが得られる。
ここで、基板11b上に第一の感光性樹脂液を塗布する際、半充填孔28の底面には、第一の裏面側樹脂フィルム31の表面が露出されており、塗布された第一の感光性樹脂液の、半充填孔28の底面に位置する第一の裏面側樹脂フィルム31上の厚みHが、半充填孔28の深さdよりも大きくされており、半充填孔28の内周面の接続層23や開口周囲の配線膜24aが露出しないようにされている。
ここで、基板11b上に第一の感光性樹脂液を塗布する際、半充填孔28の底面には、第一の裏面側樹脂フィルム31の表面が露出されており、塗布された第一の感光性樹脂液の、半充填孔28の底面に位置する第一の裏面側樹脂フィルム31上の厚みHが、半充填孔28の深さdよりも大きくされており、半充填孔28の内周面の接続層23や開口周囲の配線膜24aが露出しないようにされている。
この厚みHは、半充填孔28を深さ方向全部充填するために、半充填孔28の深さdよりも大きくされている(d<H)。乾燥によって形成された感光性樹脂フィルム26の厚さが、塗布された第一の感光性樹脂液の半充填孔28の底面上の厚さHと等しいとすると、半充填孔28の開口に位置する接続層23や配線膜24aは、感光性樹脂フィルム26によって覆われているが、気泡を巻き込まないように、また、パターニングし易いように薄く塗布するのが望ましい。
塗布する第一の感光性樹脂液は、微細な半充填孔28内にも流れ込むように、後述するカバーフィルム用の樹脂ペーストよりも低粘度で流動性が高いのものを用いることができる。
塗布する第一の感光性樹脂液は、微細な半充填孔28内にも流れ込むように、後述するカバーフィルム用の樹脂ペーストよりも低粘度で流動性が高いのものを用いることができる。
半充填孔を形成せずにスルーホールを深さ方向全部充填する場合には、第一の感光性樹脂液をスルーホールの深さDよりも厚く塗布塗布する必要がある。それに対し、本発明では、塗布時のスルーホール22は第一の裏面側樹脂フィルム31によって浅い半充填孔28にされ、第一の感光性樹脂液は半充填孔28を充填すればよいように構成されており、スルーホールを充填する場合に比べ、第一の感光性樹脂液の塗布層の膜厚Hを薄くすることができる(H<D)。第一の感光性樹脂液は、後述するように、感光性樹脂フィルム26を露光・現像によってパターニングする為に、表面を平坦に塗布することが望ましい。
感光性樹脂フィルム26を薄くした場合、パターニングは容易であるが、配線膜24aのカバーフィルムとして用いるのは不十分である。
感光性樹脂フィルム26を薄くした場合、パターニングは容易であるが、配線膜24aのカバーフィルムとして用いるのは不十分である。
本発明では、感光性樹脂フィルム26上に遮光部と透光部を有するマスクを配置し、露光、現像によって感光性樹脂フィルム26をパターニングしている。
感光性樹脂フィルム26が光硬化型樹脂の場合、透光部を透過した露光光が照射された部分が硬化し、現像液に不溶になり、露光光が遮光部で照射されなかった部分が硬化せず、現像液に溶解する。感光性樹脂フィルム26が光分解型樹脂の場合、透光部を透過した露光光が照射された部分が分解し、現像液に可溶になり、露光光が遮光部で照射されなかった部分が分解せず、現像液に不溶のままとなる。
感光性樹脂フィルム26が光硬化型樹脂の場合、透光部を透過した露光光が照射された部分が硬化し、現像液に不溶になり、露光光が遮光部で照射されなかった部分が硬化せず、現像液に溶解する。感光性樹脂フィルム26が光分解型樹脂の場合、透光部を透過した露光光が照射された部分が分解し、現像液に可溶になり、露光光が遮光部で照射されなかった部分が分解せず、現像液に不溶のままとなる。
いずれの型の樹脂であっても、感光性樹脂フィルム26を露光、現像によりパターニングし、同図(d)に示すように、感光性樹脂フィルム26の残した部分から成る充填部27を少なくとも形成し、この充填部27によって半充填孔28の内部を充填する。ここでは、半充填孔28の開口に位置する接続層23及び、その周囲近傍の配線膜24aも残されている。同図(d)の符号11dはこの状態の基板を示している。
第一の裏面側樹脂フィルム31は、感光性樹脂フィルム26の可溶部分を溶解させる現像液に溶解する樹脂であり、第一の裏面側樹脂フィルム31は、感光性樹脂フィルム26を現像する際に溶解され、感光性樹脂フィルム26がパターニングされると、スルーホール22内の第一の裏面側樹脂フィルム31も除去され、基板11dの裏面は、スルーホール22の裏面側も含めて露出し、裏面側には、底面に充填部27が位置する浅穴29が形成される。表面側は、配線膜24aやベースフィルム21が露出する。
第一の裏面側樹脂フィルム31は、感光性樹脂フィルム26の現像液でエッチングされない樹脂を用い、感光性樹脂フィルム26を露光、現像した後、剥離させてもよいが、ベースフィルム21や裏面側配線膜24bを損傷させる虞があるので、感光性樹脂フィルム26を現像する際に、感光性樹脂フィルム26の可溶部分と一緒にエッチング除去することが望ましい。
第一の裏面側樹脂フィルム31は感光性アクリル系樹脂フィルムであり、感光性樹脂フィルム26は感光性のエポキシ樹脂である。現像液は、アルカリ性溶液である。
第一の裏面側樹脂フィルム31は感光性アクリル系樹脂フィルムであり、感光性樹脂フィルム26は感光性のエポキシ樹脂である。現像液は、アルカリ性溶液である。
次に、基板11dの表面に、感光性樹脂フィルム26の第一の感光性樹脂液と同じ種類の樹脂から成る第二の感光性樹脂液を塗布、乾燥すると、感光性のカバーフィルム34が形成される。
図2(e)の符号11eは、このカバーフィルム34が形成された状態の基板を示している。カバーフィルム34は、スルーホール22を覆う充填部27を覆う膜厚にされている。カバーフィルム34の表面は平坦に形成される。
図2(e)の符号11eは、このカバーフィルム34が形成された状態の基板を示している。カバーフィルム34は、スルーホール22を覆う充填部27を覆う膜厚にされている。カバーフィルム34の表面は平坦に形成される。
カバーフィルム34を形成する第二の感光性樹脂液は、微細なスルーホールを充填する必要が無く、図1(c)の感光性樹脂フィルム26を形成した感光性樹脂液よりも高粘度のものを用いることができる。カバーフィルム34の膜厚を、感光性樹脂フィルム26の配線膜24a上の膜厚よりも厚くすることができる。
なお、感光性樹脂フィルム26をパターニングせずにカバーフィルム34を形成し、感光性樹脂フィルム26とカバーフィルム34を一緒にパターニングしようとすると、感光性樹脂フィルム26が、パターニング前に、二回加熱処理されてしまい、微細なパターニングができなくなる。従って、感光性樹脂フィルム26は、第二の感光性樹脂液を塗布する前に、パターニングしておくことが望ましい。
カバーフィルム34上に、マスクを配置し、露光、現像し、パターニングすると、同図(f)に示すように、パターニングされたカバーフィルム35を有する基板11fが得られる。
カバーフィルム34上に、マスクを配置し、露光、現像し、パターニングすると、同図(f)に示すように、パターニングされたカバーフィルム35を有する基板11fが得られる。
次に、基板11fの裏面側に、同図(g)に示すように、樹脂液を塗布し、浅穴29を樹脂液によって充填し、その状態で乾燥させ、裏面を覆う樹脂フィルム32を形成する。
次いで、露光、現像によって樹脂フィルム32をパターニングし、熱処理によって硬化させると、図2(h)に示すように、第二の裏面側樹脂フィルム33が形成される。図2(h)の符号12は、その状態の配線基板12を示している。
次いで、露光、現像によって樹脂フィルム32をパターニングし、熱処理によって硬化させると、図2(h)に示すように、第二の裏面側樹脂フィルム33が形成される。図2(h)の符号12は、その状態の配線基板12を示している。
充填部27と、カバーフィルム35は、第二の裏面側樹脂フィルム33を硬化する際に一緒に硬化されている。
この配線基板12のベースフィルム21、配線膜24a、24b、充填部27、カバーフィルム35、及び第二の裏面側樹脂フィルム33は柔軟性を有しており、従って、配線基板12は曲げが可能な可撓性を有している。
この配線基板12のベースフィルム21、配線膜24a、24b、充填部27、カバーフィルム35、及び第二の裏面側樹脂フィルム33は柔軟性を有しており、従って、配線基板12は曲げが可能な可撓性を有している。
なお、上記感光性樹脂液は、液体状の他、ペースト状のものも含まれる。また、各フィルムは、一緒に加熱硬化させてもよいし、パターニング後に個別に加熱硬化させてもよい。
11a〜11g……基板
12……配線基板
21……ベースフィルム
22……スルーホール
24a、24b……第一、第二の配線膜
26……感光性樹脂フィルム
27……充填部
31……第一の裏面側樹脂フィルム
33……第二の裏面側樹脂フィルム
D……内部が充填されていない状態のスルーホールの深さ
d……内部が第一の裏面側樹脂フィルムによって深さ方向途中まで充填された状態のスルーホールの深さ
H……スルーホール内の感光性樹脂フィルムの厚さ
12……配線基板
21……ベースフィルム
22……スルーホール
24a、24b……第一、第二の配線膜
26……感光性樹脂フィルム
27……充填部
31……第一の裏面側樹脂フィルム
33……第二の裏面側樹脂フィルム
D……内部が充填されていない状態のスルーホールの深さ
d……内部が第一の裏面側樹脂フィルムによって深さ方向途中まで充填された状態のスルーホールの深さ
H……スルーホール内の感光性樹脂フィルムの厚さ
Claims (7)
- ベースフィルムと、
前記ベースフィルムの表面に配置された第一の配線膜と、
前記ベースフィルムの裏面に配置された第二の配線膜と、
前記ベースフィルムを貫通し、前記第一、第二の配線膜を電気的に接続するスルーホールとを有する配線基板の前記裏面側に第一の裏面側樹脂フィルムを貼付し、前記第一の裏面側樹脂フィルムによって前記スルーホールを厚み方向途中まで充填して半充填孔を形成し、
前記配線基板の前記表面側に流動性を有する感光性樹脂液を塗布し、前記半充填孔を前記感光性樹脂液で充填した状態で前記感光性樹脂液から感光性樹脂フィルムを形成する配線基板の製造方法。 - 前記スルーホール内に嵌入された前記第一の裏面側樹脂フィルムの、前記スルーホール内の厚みは、前記スルーホールの深さの30%以上70%以下の範囲にされた請求項1記載の配線基板の製造方法。
- 前記半充填孔の底面の前記第一の裏面側樹脂フィルム上の前記感光性樹脂フィルムの厚みHは、前記半充填孔の深さdよりも大きく、且つ、前記スルーホールの深さDよりも小さくされた請求項1又は請求項2のいずれか1項記載の配線基板の製造方法。
- 前記感光性樹脂フィルムを露光、現像によって所定の平面形状にパターニングする請求項1乃至請求項3のいずれか1項記載の配線基板の製造方法。
- パターニングされた前記感光性樹脂フィルムを保護フィルムで覆う請求項4記載の配線基板の製造方法。
- 前記第一の裏面側樹脂フィルムをエッチング除去した後、前記配線基板の裏面側に第二の裏面側樹脂フィルムを配置する請求項4又は請求項5のいずれか1項記載の配線基板の製造方法。
- 前記第一の裏面側樹脂フィルムを、前記感光性樹脂フィルムを現像する際に現像液によってエッチング除去する請求項6記載の配線基板の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006241375A JP2008066444A (ja) | 2006-09-06 | 2006-09-06 | 配線基板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006241375A JP2008066444A (ja) | 2006-09-06 | 2006-09-06 | 配線基板の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008066444A true JP2008066444A (ja) | 2008-03-21 |
Family
ID=39288895
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006241375A Pending JP2008066444A (ja) | 2006-09-06 | 2006-09-06 | 配線基板の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2008066444A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010028111A (ja) * | 2008-07-16 | 2010-02-04 | Samsung Electronics Co Ltd | 印刷回路基板の製造方法 |
JP2018037541A (ja) * | 2016-08-31 | 2018-03-08 | 大日本印刷株式会社 | 有孔基板の製造方法及び有孔基板 |
WO2020031521A1 (ja) * | 2018-08-10 | 2020-02-13 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 配線基板およびその製造方法 |
-
2006
- 2006-09-06 JP JP2006241375A patent/JP2008066444A/ja active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010028111A (ja) * | 2008-07-16 | 2010-02-04 | Samsung Electronics Co Ltd | 印刷回路基板の製造方法 |
JP4728417B2 (ja) * | 2008-07-16 | 2011-07-20 | 三星電子株式会社 | 印刷回路基板の製造方法 |
US8474135B2 (en) | 2008-07-16 | 2013-07-02 | Samsung Electronics Co., Ltd | Method for fabricating printed circuit board |
JP2018037541A (ja) * | 2016-08-31 | 2018-03-08 | 大日本印刷株式会社 | 有孔基板の製造方法及び有孔基板 |
WO2020031521A1 (ja) * | 2018-08-10 | 2020-02-13 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 配線基板およびその製造方法 |
JPWO2020031521A1 (ja) * | 2018-08-10 | 2021-08-12 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 配線基板およびその製造方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3666955B2 (ja) | 可撓性回路基板の製造法 | |
TW591987B (en) | Circuit substrate and manufacturing method of circuit substrate | |
JP5254775B2 (ja) | 配線基板の製造方法 | |
TW201446084A (zh) | 電路板及其製作方法 | |
JP2008066444A (ja) | 配線基板の製造方法 | |
JP2015043408A (ja) | 印刷回路基板及び印刷回路基板の製造方法 | |
KR20160001827A (ko) | 인쇄회로기판 제조방법 | |
KR20150024161A (ko) | 인쇄회로기판 및 인쇄회로기판 제조 방법 | |
JP2009182284A (ja) | プリント基板の穴埋め方法 | |
US8227175B2 (en) | Method for smoothing printed circuit boards | |
US9288902B2 (en) | Printed circuit board and method of manufacturing the same | |
KR100498977B1 (ko) | E-bga 인쇄회로기판의 공동 내벽을 도금하는 방법 | |
KR20100055801A (ko) | 인쇄회로기판 제조방법 | |
JP4079099B2 (ja) | 両面配線フィルムキャリアおよびその製造方法 | |
JP2004328006A (ja) | 配線基板及び配線基板の製造方法 | |
JP3686717B2 (ja) | はんだペースト印刷用マスク | |
JP2004274071A (ja) | 半導体装置用基板並びに半導体装置及びそれらの製造方法 | |
JP2006216901A (ja) | プリント配線基板及び該プリント配線基板の部品実装方法 | |
JP2622848B2 (ja) | プリント配線板の製造方法 | |
JP2018163905A (ja) | プリント配線板の製造方法 | |
KR20230152433A (ko) | 미세패턴의 회로기판 제조방법 | |
JP2006108352A (ja) | 配線基板及びその製造方法 | |
KR20120024288A (ko) | 인쇄회로기판의 도금층 형성 방법 | |
WO2018096649A1 (ja) | メタルマスク及びその製造方法 | |
KR20090051494A (ko) | 도금 인입선이 없는 반도체 패키지 기판 제조 방법 |