JP2008064663A - 検出装置、センサ及び電子機器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】検出装置は、駆動信号により駆動される物理量トランスデューサから検出信号を受け、検出信号から所望信号を検出する検出回路を含む。検出回路は、物理量トランスデューサからの検出信号を増幅する増幅回路と、増幅回路により増幅された信号に対する同期検波を同期信号CLKに基づいて行う同期検波回路100を含み、同期検波回路100は、同期信号CLKに基づいて、ダブルバランス・ミキサ方式で同期検波を行う。
【選択図】図7
Description
図1に本実施形態の検出装置30の構成例を示す。この検出装置30は駆動回路40と検出回路60を含む。なお検出装置30は図1の構成に限定されず、その構成要素の一部を省略したり、他の構成要素を追加するなどの種々の変形実施が可能である。例えば、振動子10からの検出信号に基づいて同期信号を抽出できる場合等には、駆動回路40の構成を省略してもよい。
本実施形態では、同期検波回路100がダブルバランス・ミキサ方式で同期検波を行う。即ち従来の検出装置では、スイッチング・ミキサ方式やシングルバランス・ミキサ方式で同期検波が行われていたが、本実施形態では、これらの方式よりもミキサ・ゲインを大きくできるダブルバランス・ミキサ方式を採用している。
次に、ダブルバランス・ミキサ方式を採用することによるSNRの改善について詳細に説明する。SNR(Signal-to-Noise Ratio)は信号電力と雑音電力の比で表される(SNR=信号電力/雑音電力)。一方、オペアンプ等の増幅器の性能を評価するパラメータとして用いられる雑音指数F(Noise Figure)は、入力のSNRinと出力のSNRoutの比で表される(F=SNRin/SNRout)。増幅器では内部付加雑音が発生し、SNRが劣化するので、出力のSNRoutは入力のSNRinよりも小さくなる。従って、F≧1であり、雑音指数F(NF)が1に近づけば近づくほど、増幅器の雑音が小さく、性能が良いことを意味する。
図7では、差動増幅回路112とLPF(ローパスフィルタ)が別々に設けられている。しかしながら、このような構成にすると、回路の構成要素数が増えるため、増幅器の数が増え、その分だけノイズ源が増えてしまい、SNRの点で不利になる。
さて、図4(A)〜図4(C)で説明した不要信号のうち、離調周波数Δf=|fd−fs|に起因する不要信号は、ジャイロの検出信号に検出側共振周波数fsの信号が混入し、この検出信号が同期検波回路100により同期検波されることにより発生する。例えばジャイロセンサの応答を良くするために、検出用振動子をアイドリング的に微少振幅で固有共振周波数fsにて振動させる場合がある。或いは、ジャイロセンサの外部からの外部振動が振動子に加わることで、検出用振動子が固有共振周波数fsにて振動してしまう場合がある。そしてこのように検出用振動子が周波数fsで振動すると、同期検波回路100に入力される信号VS5に周波数fsの信号が混入される。そして同期検波回路100は、周波数fdの同期信号CLKに基づき同期検波を行うため、周波数fdとfsの差に相当する離調周波数Δf=|fd−fs|の不要信号が生成されてしまう。
図16のようにフィルタ部110にSCFを設けた場合、SCFでは離散時間で信号をサンプリングするため、サンプリングによる周波数の折り返し現象であるエイリアシングが生じる。例えばサンプリング周波数をfspとした場合に、fsp/2(=fd/2)の高調波周波数の信号が、DCの周波数領域等に折り返し、SNRが劣化する。
(A1)ランダム雑音や回路中で発生するパルス性ノイズなどの不要信号が、SCFの通過帯域に折り返すのを防止する。
(A2)同期検波によって生じ、fd、2fdなどのk×fdに必ず存在する不要信号(妨害波)が、SCFでのサンプリングによりDCに折り返し、DCに存在する所望信号(コリオリ力信号)の品質(S/N比)を劣化させるのを防止する。
(B1)ジャイロセンサでは同期検波が行われる。
(B2)同期検波によりfdや2fdに不要信号の強いスペクトラムが現れる。
(B3)SCFのサンプリング周波数がfsp=fdとなるため、fd、2fdなどの不要信号が、所望信号が存在するDCに折り返す。
図21に本実施形態の検出装置30を含むジャイロセンサ510(広義にはセンサ)と、ジャイロセンサ510を含む電子機器500の構成例を示す。なお電子機器500、ジャイロセンサ510は図21の構成に限定されず、その構成要素の一部を省略したり、他の構成要素を追加するなどの種々の変形実施が可能である。また本実施形態の電子機器500としては、デジタルカメラ、ビデオカメラ、携帯電話機、カーナビゲーションシステム、ロボット、ゲーム機、携帯型情報端末等の種々のものが考えられる。
LPF ローパスフィルタ、BUF バッファ回路、
2、4 駆動端子、6、8 検出端子、10 振動子、11、12 駆動側振動子、
16、17 検出側振動子、30 検出装置、40 駆動回路、42 増幅回路、
44 AGC回路、46 2値化回路、60 検出回路、70 増幅回路、
72、74 Q/V変換回路、76 差動増幅回路、100 同期検波回路、
110 フィルタ部、112 差動増幅回路、
500 電子機器、510 ジャイロセンサ、520 処理部、530 メモリ、
540 操作部、550 表示部
Claims (18)
- 駆動信号により駆動される物理量トランスデューサから検出信号を受け、前記検出信号から所望信号を検出する検出回路を含み、
前記検出回路は、
前記物理量トランスデューサからの前記検出信号を増幅する増幅回路と、
前記増幅回路により増幅された信号に対する同期検波を、同期信号に基づいて行う同期検波回路とを含み、
前記同期検波回路は、
前記同期信号に基づいて、ダブルバランス・ミキサ方式で同期検波を行うことを特徴とする検出装置。 - 請求項1において、
前記同期検波回路は、
前記同期信号が第1の電圧レベルとなる第1の期間では、前記増幅回路により増幅された第1の信号に対応する信号を、第1の出力信号として出力し、前記第1の信号の反転信号となる第2の信号に対応する信号を、第2の出力信号として出力し、
前記同期信号が第2の電圧レベルとなる第2の期間では、前記第2の信号に対応する信号を、前記第1の出力信号として出力し、前記第1の信号に対応する信号を、前記第2の出力信号として出力することを特徴とする検出装置。 - 請求項1又は2において、
前記同期検波回路は、
前記増幅回路により増幅された第1の信号に対応する信号が入力される第1の入力ノードと、第1の出力信号が出力される第1の出力ノードとの間に設けられ、前記同期信号が第1の電圧レベルとなる第1の期間においてオンになる第1のスイッチング素子と、
前記第1の信号の反転信号となる第2の信号に対応する信号が入力される第2の入力ノードと、前記第1の出力ノードとの間に設けられ、前記同期信号が第2の電圧レベルとなる第2の期間においてオンになる第2のスイッチング素子と、
前記第2の入力ノードと、第2の出力信号が出力される第2の出力ノードとの間に設けられ、前記第1の期間においてオンになる第3のスイッチング素子と、
前記第1の入力ノードと、前記第2の出力ノードとの間に設けられ、前記第2の期間においてオンになる第4のスイッチング素子とを含むことを特徴とする検出装置。 - 駆動信号により駆動される物理量トランスデューサから検出信号を受け、前記検出信号から所望信号を検出する検出回路を含み、
前記検出回路は、
前記物理量トランスデューサからの前記検出信号を増幅する増幅回路と、
前記増幅回路により増幅された信号に対する同期検波を、同期信号に基づいて行う同期検波回路とを含み、
前記同期検波回路は、
前記同期信号が第1の電圧レベルとなる第1の期間では、前記増幅回路により増幅された第1の信号に対応する信号を、第1の出力信号として出力し、前記第1の信号の反転信号となる第2の信号に対応する信号を、第2の出力信号として出力し、
前記同期信号が第2の電圧レベルとなる第2の期間では、前記第2の信号に対応する信号を、前記第1の出力信号として出力し、前記第1の信号に対応する信号を、前記第2の出力信号として出力することを特徴とする検出装置。 - 請求項1乃至4のいずれかにおいて、
前記同期検波回路の後段側に設けられるフィルタ部を含み、
前記フィルタ部は、
前記同期検波回路からの第1、第2の出力信号が、第1、第2の差動入力信号として入力される差動増幅回路を含むことを特徴とする検出装置。 - 請求項5において、
前記差動増幅回路は、
前記第1、第2の差動入力信号の差動増幅を行う差動アンプとして動作すると共にローパスフィルタとして動作することを特徴とする検出装置。 - 請求項6において、
前記差動増幅回路は、
オペアンプと、
前記第1の差動入力信号が入力される第1の差動入力ノードと前記オペアンプの第1の入力端子との間に設けられる第1の抵抗と、
前記第2の差動入力信号が入力される第2の差動入力ノードと前記オペアンプの第2の入力端子との間に設けられる第2の抵抗と、
前記第1の入力端子と前記オペアンプの出力端子との間に設けられる第3の抵抗と、
前記第2の入力端子と電源ノードとの間に設けられる第4の抵抗と、
前記第2の入力端子と電源ノードとの間に設けられる第1のキャパシタと、
前記第1の入力端子と前記出力端子との間に設けられる第2のキャパシタを含むことを特徴とする検出装置。 - 請求項7において、
前記差動増幅回路は、
前記オペアンプの前記出力端子に設けられる第2のローパスフィルタを含むことを特徴とする検出装置。 - 請求項6において、
前記差動増幅回路は、
オペアンプと、
前記第1の差動入力信号が入力される第1の差動入力ノードと第1のノードとの間に設けられる第1の抵抗と、
前記第1のノードと前記オペアンプの第1の入力端子との間に設けられる第2の抵抗と、
前記第2の差動入力信号が入力される第2の差動入力ノードと第2のノードとの間に設けられる第3の抵抗と、
前記第2のノードと前記オペアンプの第2の入力端子との間に設けられる第4の抵抗と、
前記第1の入力端子と前記オペアンプの出力端子との間に設けられる第5の抵抗と、
前記第2の入力端子と電源ノードとの間に設けられる第6の抵抗と、
前記第1のノードと前記第2のノードとの間に設けられる第1のキャパシタと、
前記第1の入力端子と前記出力ノードとの間に設けられる第2のキャパシタと、
前記第2の入力端子と電源ノードとの間に設けられる第3のキャパシタを含むことを特徴とする検出装置。 - 請求項6において、
前記差動増幅回路は、
オペアンプと、
前記第1の差動入力信号が入力される第1の差動入力ノードと第1のノードとの間に設けられる第1の抵抗と、
前記第1のノードと前記オペアンプの第1の入力端子との間に設けられる第2の抵抗と、
前記第2の差動入力信号が入力される第2の差動入力ノードと第2のノードとの間に設けられる第3の抵抗と、
前記第2のノードと前記オペアンプの第2の入力端子との間に設けられる第4の抵抗と、
前記第1のノードと前記オペアンプの出力端子との間に設けられる第5の抵抗と、
前記第2のノードと電源ノードとの間に設けられる第6の抵抗と、
前記第1のノードと前記第2のノードとの間に設けられる第1のキャパシタと、
前記第1の入力端子と前記出力ノードとの間に設けられる第2のキャパシタと、
前記第2の入力端子と電源ノードとの間に設けられる第3のキャパシタを含むことを特徴とする検出装置。 - 請求項5乃至10のいずれかにおいて、
前記フィルタ部は、
前記差動増幅回路の後段側に設けられた離散時間型フィルタを含むことを特徴とする検出装置。 - 請求項11において、
前記物理量トランスデューサは振動子であり、
前記離散時間型フィルタは、
前記振動子の駆動側共振周波数fdと検出側共振周波数fsとの差に対応する離調周波数Δf=|fd−fs|の成分を除去し、所望信号の周波数成分を通過させる周波数特性を有することを特徴とする検出装置。 - 請求項11又は12において、
前記差動増幅回路は、
前記第1、第2の差動入力信号の差動増幅を行う差動アンプとして動作すると共に、前記離散時間型フィルタのプリフィルタとして動作することを特徴とする検出装置。 - 請求項13において、
前記物理量トランスデューサは振動子であり、
前記プリフィルタは、
前記振動子の駆動側共振周波数をfdとした場合に、前記同期検波回路による同期検波により周波数k×fd(kは自然数)の周波数帯域に現れる不要信号の振幅を、所望信号の振幅以下に減衰する周波数特性を有することを特徴とする検出装置。 - 請求項1乃至14のいずれかにおいて、
前記物理量トランスデューサを駆動すると共に前記同期信号を前記検出回路に供給する駆動回路を含むことを特徴とする検出装置。 - 請求項1乃至15のいずれかにおいて、
前記物理量トランスデューサは振動ジャイロであることを特徴とする検出装置。 - 請求項1乃至16のいずれかに記載の検出装置と、
前記物理量トランスデューサと、
を含むことを特徴とするセンサ。 - 請求項17に記載のセンサと、
前記センサの検出情報に基づいて処理を行う処理部と、
を含むことを特徴とする電子機器。
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JP (1) | JP5055904B2 (ja) |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010252195A (ja) * | 2009-04-17 | 2010-11-04 | Act Lsi:Kk | Cv変換回路 |
JPWO2009125589A1 (ja) * | 2008-04-10 | 2011-07-28 | パナソニック株式会社 | 慣性力センサ |
CN102650521A (zh) * | 2011-02-25 | 2012-08-29 | 精工爱普生株式会社 | 检测电路、物理量检测装置、角速度检测装置 |
JP2013521486A (ja) * | 2010-03-03 | 2013-06-10 | シリコン、センシング、システムズ、リミテッド | センサー |
US8618890B2 (en) | 2011-02-25 | 2013-12-31 | Seiko Epson Corporation | Angular velocity detection apparatus |
JP2014185937A (ja) * | 2013-03-22 | 2014-10-02 | Seiko Epson Corp | 検出装置、センサー、電子機器及び移動体 |
US9046366B2 (en) | 2011-02-25 | 2015-06-02 | Seiko Epson Corporation | Signal processing circuit, physical quantity detection apparatus, angular velocity detection apparatus, integrated circuit device, and electronic instrument |
JP2017067517A (ja) * | 2015-09-29 | 2017-04-06 | 株式会社ミツトヨ | 計測機器用の信号処理回路 |
JP2017076948A (ja) * | 2015-10-16 | 2017-04-20 | アルプス電気株式会社 | アナログ−デジタル変換器 |
JP2020064014A (ja) * | 2018-10-18 | 2020-04-23 | 太陽誘電株式会社 | センサ回路 |
CN113092817A (zh) * | 2021-03-03 | 2021-07-09 | 南京理工大学 | 检测模式可切换的高精度、大量程加速度传感器及其控制方法 |
Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS54139393A (en) * | 1978-04-07 | 1979-10-29 | Raytheon Co | Laser gyroscope device |
JPH03226620A (ja) * | 1990-01-31 | 1991-10-07 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 角速度センサ駆動装置 |
JPH03239911A (ja) * | 1990-02-15 | 1991-10-25 | Litton Syst Inc | 位相変調、強度復調、および回転検知干渉計の制御のための装置 |
JPH04212013A (ja) * | 1990-03-02 | 1992-08-03 | Nippon Soken Inc | 角速度検出装置 |
JPH06241810A (ja) * | 1993-02-01 | 1994-09-02 | General Motors Corp <Gm> | 振動式ジャイロスコープの制御回路 |
JPH0914969A (ja) * | 1995-06-30 | 1997-01-17 | Aisin Seiki Co Ltd | 振動子駆動装置 |
JPH10281773A (ja) * | 1997-04-02 | 1998-10-23 | Yukiharu Watanabe | 振動ジャイロセンサーによる真方位検出 |
JP2002257547A (ja) * | 2001-02-17 | 2002-09-11 | Robert Bosch Gmbh | 多重変調された信号の同期復調のための方法及び装置 |
JP2002372422A (ja) * | 2001-06-15 | 2002-12-26 | Alps Electric Co Ltd | 角速度検出装置 |
JP2003021516A (ja) * | 2001-07-06 | 2003-01-24 | Ngk Insulators Ltd | 物理量の測定装置 |
JP2003087057A (ja) * | 2001-09-12 | 2003-03-20 | Kinseki Ltd | 同期検波回路及びこれを用いた角速度センサ |
JP2003280056A (ja) * | 2002-03-22 | 2003-10-02 | Ricoh Co Ltd | 振動検出装置 |
JP2005241359A (ja) * | 2004-02-25 | 2005-09-08 | Denso Corp | 車両横転検知用振動型角速度センサ |
-
2006
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Patent Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS54139393A (en) * | 1978-04-07 | 1979-10-29 | Raytheon Co | Laser gyroscope device |
JPH03226620A (ja) * | 1990-01-31 | 1991-10-07 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 角速度センサ駆動装置 |
JPH03239911A (ja) * | 1990-02-15 | 1991-10-25 | Litton Syst Inc | 位相変調、強度復調、および回転検知干渉計の制御のための装置 |
JPH04212013A (ja) * | 1990-03-02 | 1992-08-03 | Nippon Soken Inc | 角速度検出装置 |
JPH06241810A (ja) * | 1993-02-01 | 1994-09-02 | General Motors Corp <Gm> | 振動式ジャイロスコープの制御回路 |
JPH0914969A (ja) * | 1995-06-30 | 1997-01-17 | Aisin Seiki Co Ltd | 振動子駆動装置 |
JPH10281773A (ja) * | 1997-04-02 | 1998-10-23 | Yukiharu Watanabe | 振動ジャイロセンサーによる真方位検出 |
JP2002257547A (ja) * | 2001-02-17 | 2002-09-11 | Robert Bosch Gmbh | 多重変調された信号の同期復調のための方法及び装置 |
JP2002372422A (ja) * | 2001-06-15 | 2002-12-26 | Alps Electric Co Ltd | 角速度検出装置 |
JP2003021516A (ja) * | 2001-07-06 | 2003-01-24 | Ngk Insulators Ltd | 物理量の測定装置 |
JP2003087057A (ja) * | 2001-09-12 | 2003-03-20 | Kinseki Ltd | 同期検波回路及びこれを用いた角速度センサ |
JP2003280056A (ja) * | 2002-03-22 | 2003-10-02 | Ricoh Co Ltd | 振動検出装置 |
JP2005241359A (ja) * | 2004-02-25 | 2005-09-08 | Denso Corp | 車両横転検知用振動型角速度センサ |
Cited By (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5494477B2 (ja) * | 2008-04-10 | 2014-05-14 | パナソニック株式会社 | 慣性力センサ |
JPWO2009125589A1 (ja) * | 2008-04-10 | 2011-07-28 | パナソニック株式会社 | 慣性力センサ |
JP2010252195A (ja) * | 2009-04-17 | 2010-11-04 | Act Lsi:Kk | Cv変換回路 |
US9176158B2 (en) | 2010-03-03 | 2015-11-03 | Silicon Sensing Systems Limited | Sensor |
JP2013521486A (ja) * | 2010-03-03 | 2013-06-10 | シリコン、センシング、システムズ、リミテッド | センサー |
US8850887B2 (en) | 2011-02-25 | 2014-10-07 | Seiko Epson Corporation | Detection circuit, physical quantity detection apparatus, angular velocity detection apparatus, integrated circuit device, and electronic instrument |
US8618890B2 (en) | 2011-02-25 | 2013-12-31 | Seiko Epson Corporation | Angular velocity detection apparatus |
JP2012177591A (ja) * | 2011-02-25 | 2012-09-13 | Seiko Epson Corp | 検出回路、物理量検出装置、角速度検出装置、集積回路装置及び電子機器 |
US9046366B2 (en) | 2011-02-25 | 2015-06-02 | Seiko Epson Corporation | Signal processing circuit, physical quantity detection apparatus, angular velocity detection apparatus, integrated circuit device, and electronic instrument |
CN102650521A (zh) * | 2011-02-25 | 2012-08-29 | 精工爱普生株式会社 | 检测电路、物理量检测装置、角速度检测装置 |
JP2014185937A (ja) * | 2013-03-22 | 2014-10-02 | Seiko Epson Corp | 検出装置、センサー、電子機器及び移動体 |
US9602117B2 (en) | 2013-03-22 | 2017-03-21 | Seiko Epson Corporation | Detection device, sensor, electronic apparatus, and moving object |
JP2017067517A (ja) * | 2015-09-29 | 2017-04-06 | 株式会社ミツトヨ | 計測機器用の信号処理回路 |
CN106918353A (zh) * | 2015-09-29 | 2017-07-04 | 株式会社三丰 | 测量机和测量机用的信号处理电路 |
JP2017076948A (ja) * | 2015-10-16 | 2017-04-20 | アルプス電気株式会社 | アナログ−デジタル変換器 |
JP2020064014A (ja) * | 2018-10-18 | 2020-04-23 | 太陽誘電株式会社 | センサ回路 |
CN113092817A (zh) * | 2021-03-03 | 2021-07-09 | 南京理工大学 | 检测模式可切换的高精度、大量程加速度传感器及其控制方法 |
CN113092817B (zh) * | 2021-03-03 | 2023-04-07 | 南京理工大学 | 检测模式可切换的高精度、大量程加速度传感器及其控制方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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