JP2008058182A - 変位量検出可能性判定装置、その方法、および、変位検出装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】ワークの相対変位量の検出可能性を測定効率の低下を招くことなく適切にかつ簡単な構成で判定できる変位検出装置の提供。
【解決手段】変位検出装置は、ワーク変位前の基準画像から基準テンプレートT1に含まれる基準領域画像を取得して、この基準領域画像の基準散乱光強度を検出する。検出画像取得領域に対して判定用領域E1を設定し、この判定用領域E1内で判定用テンプレートT3を移動させつつ、この判定用テンプレートT3に含まれる判定用部分画像を取得して、この判定用部分画像の判定用部分散乱光強度を検出する。基準散乱光強度および判定用部分散乱光強度に基づいて、ワーク基準領域J1およびワーク基準以外領域J2の表面状態の差異を認識し、この差異が所定の状態以上であると判断すると、基準画像を利用して変位量を検出可能であると判定する。
【選択図】図4
【解決手段】変位検出装置は、ワーク変位前の基準画像から基準テンプレートT1に含まれる基準領域画像を取得して、この基準領域画像の基準散乱光強度を検出する。検出画像取得領域に対して判定用領域E1を設定し、この判定用領域E1内で判定用テンプレートT3を移動させつつ、この判定用テンプレートT3に含まれる判定用部分画像を取得して、この判定用部分画像の判定用部分散乱光強度を検出する。基準散乱光強度および判定用部分散乱光強度に基づいて、ワーク基準領域J1およびワーク基準以外領域J2の表面状態の差異を認識し、この差異が所定の状態以上であると判断すると、基準画像を利用して変位量を検出可能であると判定する。
【選択図】図4
Description
本発明は、光が照射されたワークの表面を撮像した変位前画像、および、前記表面の法線に略直交する方向への相対変位した前記ワークの表面を撮像した変位後画像に基づいて、ワークの相対変位量の検出可能性を判定する変位量検出可能性判定装置、その方法、および、変位検出装置に関する。
従来、スペックル像を利用して、ワークの微小変位を検出する構成が知られている(例えば、特許文献1参照)。
この特許文献1に記載のものは、測定軸に沿って移動する光学粗面の第1の画像を取り込むとともに、光学粗面が移動した後の第2の画像を取り込む。そして、第1および第2の画像に関する差の絶対値相関関数に基づく相関値を求め、この相関値に基づいて、光学粗面の変位を推定する構成が採られている。
ここで、上述した特許文献1に記載のもののような構成における変位を推定する方法の一例について説明する。
図11に示すように、変位検出装置10は、内部に収納空間12を有する筐体部11と、ワークWにレーザ光を照射する照明光学系13と、ワークWからの散乱光の干渉によって生成されるスペックル像を撮像するCCDカメラ16と、CCDカメラ16からの出力画像を画像処理する画像処理部19と、を備えている。
照明光学系13は、レーザ光源14と、コリメートレンズ15と、を備え、レーザ光をワークWに対して斜め方向から照射している。
照明光学系13は、レーザ光源14と、コリメートレンズ15と、を備え、レーザ光をワークWに対して斜め方向から照射している。
さらに、ワークWとCCDカメラ16との間には、ワーク表面Hにて散乱される光による像をCCDカメラ16に向けて拡大する拡大レンズ17と、拡大レンズ17とCCDカメラ16との間に配設されたアパーチャ18と、が配設されており、ワークWに対して略垂直な方向に光軸を有するように拡大レンズ17、アパーチャ18およびCCDカメラ16が配設されている。
そして、ワークWと変位検出装置10とはワークWの法線に直交する方向に相対変位可能であって、変位検出装置10は、ワークWの法線に直交する方向へのワークWの変位量を検出する。
ワーク表面Hは光学的に粗い面(光学粗面)であり、ワークWからの散乱光によって白黒の斑点模様であるスペックル像が形成される。
そして、ワークWと変位検出装置10とはワークWの法線に直交する方向に相対変位可能であって、変位検出装置10は、ワークWの法線に直交する方向へのワークWの変位量を検出する。
ワーク表面Hは光学的に粗い面(光学粗面)であり、ワークWからの散乱光によって白黒の斑点模様であるスペックル像が形成される。
このような構成において、レーザ光源14から発射された光L40は、コリメートレンズ15によって平行光とされてワークWに照射される。すると、ワーク表面Hで反射される光のうち0次光L41はレーザ光の入射方向とは反対側へ反射していく。その一方、ワークWの光学粗面によりワークWに垂直な方向に向けて散乱された散乱光L42が拡大レンズ17に入射し、アパーチャ18を介してCCDカメラ16にて受光される(L43)。すると、CCDカメラ16によりスペックル像が撮像される。
ここで、ワークWの基準位置において、図12(A)に示すようなスペックル像を撮像し、基準画像F1として画像処理部19に記憶しておく。次に、ワークWが微小変位したときの図12(B)に示すようなスペックル像を撮像して、測定画像F2として画像処理部19に出力する。ここで、基準画像F1および測定画像F2における領域G1,G2は、ワークWにおける同一部分を表している。つまり、測定画像F2は、ワークWの位置が基準画像F1における位置よりも左側に変位している状態を表している。そして、基準画像F1および測定画像F2を画像処理部19において比較して、画像中においてマッチングするパターンの変位に基づいてワークWの変位量を検出する。
具体的には、図13に示すように、ワークWの基準画像を取得する(ステップS91)。このとき、図14(A)に示すように、あらかじめ設定された検出画像取得領域Dに含まれる基準画像を取得する。そして、検出画像取得領域Dの中央にあらかじめ設定された基準テンプレートT1内、つまりワークWのワーク基準領域J1内の基準散乱光強度I1を記憶する。この基準テンプレートT1は、m方向(横方向)の大きさが(M−l)、n方向(縦方向)の大きさが(N−k)に設定されている。
さらに、例えば図14(B)に示すように、ワーク基準領域J1が検出画像取得領域Dの左下隅部近傍に位置するようにワークWが変位した後に、検出画像取得領域Dに含まれる測定画像を取得して測定処理を開始する(ステップS92)。具体的には、図15に示すように、検出画像取得領域D内に基準テンプレートT1と同形状の測定テンプレートT2を設定する。そして、この測定テンプレートT2を検出画像取得領域D内で移動させつつ、各位置における測定テンプレートT2内の測定散乱光強度I2を検出する。この後、以下の式(1)に基づいて、相関値Ra(p、q)(以下、単に相関値Raと適宜称す)を算出する(ステップS93)。
つまり、各位置における測定テンプレートT2内の測定散乱光強度I2と、基準テンプレートT1内の基準散乱光強度I1と、の差分の絶対値を相関値Raとして算出する。
このように算出される相関値Raは、検出画像取得領域D内にワーク基準領域J1が存在する場合、このワーク基準領域J1と、測定テンプレートT2と、が一致した際に、理想的には0となる。一方、検出画像取得領域D内にワーク基準領域J1が存在しない場合、測定テンプレートT2がワーク基準領域J1と一致することがないので、相関値の最小ピークがなくなり、周囲の値に埋もれてしまう。このため、相関値Raの最小値が、周囲の値に比べて十分小さくなった場合、そのときのpおよびqの値に基づいて変位量を求めることができ、最小値が周囲の値と差異がないような場合、変位量を求めることができないことを判断できる。
このように算出される相関値Raは、検出画像取得領域D内にワーク基準領域J1が存在する場合、このワーク基準領域J1と、測定テンプレートT2と、が一致した際に、理想的には0となる。一方、検出画像取得領域D内にワーク基準領域J1が存在しない場合、測定テンプレートT2がワーク基準領域J1と一致することがないので、相関値の最小ピークがなくなり、周囲の値に埋もれてしまう。このため、相関値Raの最小値が、周囲の値に比べて十分小さくなった場合、そのときのpおよびqの値に基づいて変位量を求めることができ、最小値が周囲の値と差異がないような場合、変位量を求めることができないことを判断できる。
そして、ステップS93における相関値Raの計算の後、結果を検討する(ステップS94)。このステップS94において、相関値Raの最小値が、周囲の値に比べて十分小さくなっていた場合、ワークWの変位量を求めることができるため測定可能(OK)と判断し、変位量を出力して処理を終了する。一方、ステップS94において、相関値Raの最小値が周囲の値とほとんど変わらないような場合、変位量を求めることができないため測定不可能(NG)と判断して、ステップS91に戻る。
ところで、上述したような相関値Raを求める構成では、光学系の収差や干渉条件の変化などにより、ワークWの移動量が大きいほど、つまりワーク基準領域J1が検出画像取得領域Dの端部に近づくほど相関性が悪くなるので、相関値Raの最小値も大きくなるおそれがある。具体的には、ワークWが位置C1から位置C1まで移動して、図16(A)に示すように、移動量が0つまりワーク基準領域J1が検出画像取得領域Dの中央に位置する際に、基準散乱光強度I1および測定散乱光強度I2が等しい値になるため相関値Raが0となる。また、ワークWが位置C1から位置C2,C3までそれぞれ移動して、図16(B),(C)に示すように、移動量が60μm、120μmと大きくなるほど、測定散乱光強度I2と基準散乱光強度I1の相関性が悪くなるため相関値Raが大きくなるおそれがある。このため、ワーク基準領域J1に対応する相関値Raが、他の領域に対応する相関値Raと略等しくなってしまい、ワーク基準領域J1が検出画像取得領域D内に位置する場合であっても、ワークWの変位量を検出できないと判断してしまうおそれがある。
なお、図16(A),(B),(C)において、横軸の測定位置は、測定テンプレートT2の移動位置を表している。つまり、横軸の中央は、検出画像取得領域Dの中央を表している。
なお、図16(A),(B),(C)において、横軸の測定位置は、測定テンプレートT2の移動位置を表している。つまり、横軸の中央は、検出画像取得領域Dの中央を表している。
また、図17(A)に示すように、ワークWに略等しい形状の丸模様Y1,Y2が存在する場合、基準テンプレートT1内に丸模様Y2が位置する際の基準散乱光強度I1と、図17(B)に示すようにワークWが移動されて測定テンプレートT2内に丸模様Y1が存在する際の測定散乱光強度I2と、が等しくなったときに、移動前の丸模様Y2の位置と、移動後の丸模様Y1の位置と、に基づいてワークWの変位量が検出されてしまうおそれがある。
さらに、図18(A)に示すように、ワークWに略等しい形状の長方形模様Vu(uは自然数)が存在する場合、基準テンプレートT1内に長方形模様Vu,V(u+1),V(u+2)が位置する際の基準散乱光強度I1と、図18(B)に示すようにワークWが移動されて測定テンプレートT2内に長方形模様V(u+16),V(u+17),V(u+18)が存在する際の測定散乱光強度I2と、が等しくなったときに、移動前の長方形模様Vu,V(u+1),V(u+2)の位置と、移動後の長方形模様V(u+16),V(u+17),V(u+18)の位置と、に基づいてワークWの変位量が検出されてしまうおそれがある。
これら図17(A),(B)、図18(A),(B)に示すような場合には、ワークWの移動前後で変位量の測定基準が異なってしまい、変位量を正確に検出できないおそれがある。
さらに、図18(A)に示すように、ワークWに略等しい形状の長方形模様Vu(uは自然数)が存在する場合、基準テンプレートT1内に長方形模様Vu,V(u+1),V(u+2)が位置する際の基準散乱光強度I1と、図18(B)に示すようにワークWが移動されて測定テンプレートT2内に長方形模様V(u+16),V(u+17),V(u+18)が存在する際の測定散乱光強度I2と、が等しくなったときに、移動前の長方形模様Vu,V(u+1),V(u+2)の位置と、移動後の長方形模様V(u+16),V(u+17),V(u+18)の位置と、に基づいてワークWの変位量が検出されてしまうおそれがある。
これら図17(A),(B)、図18(A),(B)に示すような場合には、ワークWの移動前後で変位量の測定基準が異なってしまい、変位量を正確に検出できないおそれがある。
上述したようなワークWの変位量を適切に検出できないような現象は、実際に測定をしなくては把握できない。このため、一度、測定画像を撮像した後にチェックして、このような現象が生じていた場合に基準画像を再度取得したり、別の相関計算アルゴリズムに変更して再度測定を行ったりするなどの試行錯誤を行う必要があり、ワークWの測定効率に悪影響を及ぼすおそれがあるという問題点が一例として挙げられる。
また、上述したような現象を防ぐためには、基準画像を取得する段階で、ユーザが基準画像を直接見て最適な基準画像を判断することなどが考えられる。しかしながら、測定可能か否かを基準画像から直感的に判断することは難しく、CCDカメラ16からの画像をモニタ表示する必要があり、装置の構成の複雑化を招くおそれがあるという問題点も一例として挙げられる。
また、上述したような現象を防ぐためには、基準画像を取得する段階で、ユーザが基準画像を直接見て最適な基準画像を判断することなどが考えられる。しかしながら、測定可能か否かを基準画像から直感的に判断することは難しく、CCDカメラ16からの画像をモニタ表示する必要があり、装置の構成の複雑化を招くおそれがあるという問題点も一例として挙げられる。
本発明の目的は、このような実情などに鑑みて、ワークの相対変位量の検出可能性を測定効率の低下を招くことなく適切にかつ簡単な構成で判定可能な変位量検出可能性判定装置、その方法、および、変位検出装置を提供することである。
本発明の変位量検出可能性判定装置は、光が照射されたワークの表面を撮像した変位前画像、および、前記表面の法線に略直交する方向への相対変位した前記ワークの表面を撮像した変位後画像に基づいて、前記ワークの相対変位量の検出可能性を判定する変位量検出可能性判定装置であって、前記変位前画像の一部分を基準領域画像として取得する基準領域画像取得手段と、この基準領域画像取得手段で取得した前記基準領域画像に基づいて、前記ワークにおける基準領域画像に対応するワーク基準領域の前記光の状態を基準光状態として検出する基準光状態検出手段と、前記変位前画像から前記基準領域画像を含む部分を判定用領域画像として取得する判定用領域画像取得手段と、この判定用領域画像取得手段で取得した前記判定用領域画像に基づいて、前記ワークにおける前記判定用領域画像に対応するワーク判定用領域の前記光の状態を判定用光状態として検出する判定用光状態検出手段と、前記基準光状態検出手段で検出した前記基準光状態、および、前記判定用光状態検出手段で検出した前記判定用光状態に基づいて、前記ワーク基準領域、および、前記ワーク判定用領域のうち前記ワーク基準領域以外のワーク基準以外領域の表面状態の差異を認識する差異認識手段と、この差異認識手段で認識した前記表面状態の差異が所定の状態以上であると判断すると、前記相対変位量を検出可能であると判定する可能性判定手段と、を具備したことを特徴とする。
この発明によれば、ワークの相対変位前の変位前画像の一部分を基準領域画像として取得し、ワーク基準領域の光の状態を基準光状態として検出する。また、変位前画像から基準領域画像を含む部分を判定用領域画像として取得し、ワーク判定用領域の光の状態を判定用光状態として検出する。そして、これら基準光状態および判定用光状態に基づいて、ワーク基準領域、および、ワーク判定用領域のうちワーク基準領域以外のワーク基準以外領域の表面状態の差異を認識し、この差異が所定の状態以上であると判断すると、相対変位量を検出可能であると判定する。つまり、ワークの相対変位後の変位後画像を取得することなく、ワーク基準領域およびワーク基準以外領域の表面状態の差異が所定の状態以上の場合にのみ、相対変位量を検出可能と判定する。ここで、基準領域画像に対応する位置に位置した際に相対変位量を検出可能と判定されるワークの部分を可能判定領域と、この可能判定領域以外の部分を可能判定以外領域と適宜称して説明する。
このため、相対変位量を検出可能であると判定された場合、可能判定領域がワークの変位によりずれて、光学系の収差や干渉条件により、この可能判定領域の光の状態の相関性が悪くなったとしても、可能判定以外領域の光の状態との差を所定の状態以上にすることが可能となる。したがって、従来の構成のように、可能判定領域の光の状態の検出状態が、可能判定以外領域と略等しくなることがなく、ワークの変位量を適切に検出させることが可能となる。
また、例えば図17(A)に示すように、ワークWに可能判定領域である略等しい形状の複数の丸模様Y1,Y2が存在する場合には、変位後画像を取得することなく、つまり測定を実施することなく、相対変位量を検出不可能と判定することが可能となる。したがって、測定後の試行錯誤を実施する必要がなくなり、ワークの測定効率の低下が抑制される。
さらに、変位前画像をモニタ表示させて、ユーザに直接見て判断させる必要がなくなり、構成の複雑化を招くことがない。
よって、ワークの相対変位量の検出可能性を測定効率の低下を招くことなく適切にかつ簡単な構成で判定できる。
このため、相対変位量を検出可能であると判定された場合、可能判定領域がワークの変位によりずれて、光学系の収差や干渉条件により、この可能判定領域の光の状態の相関性が悪くなったとしても、可能判定以外領域の光の状態との差を所定の状態以上にすることが可能となる。したがって、従来の構成のように、可能判定領域の光の状態の検出状態が、可能判定以外領域と略等しくなることがなく、ワークの変位量を適切に検出させることが可能となる。
また、例えば図17(A)に示すように、ワークWに可能判定領域である略等しい形状の複数の丸模様Y1,Y2が存在する場合には、変位後画像を取得することなく、つまり測定を実施することなく、相対変位量を検出不可能と判定することが可能となる。したがって、測定後の試行錯誤を実施する必要がなくなり、ワークの測定効率の低下が抑制される。
さらに、変位前画像をモニタ表示させて、ユーザに直接見て判断させる必要がなくなり、構成の複雑化を招くことがない。
よって、ワークの相対変位量の検出可能性を測定効率の低下を招くことなく適切にかつ簡単な構成で判定できる。
本発明の変位量検出可能性判定装置では、前記ワークの相対変位量は、前記変位前画像および前記変位後画像におけるあらかじめ設定された検出画像取得領域に含まれる変位前検出画像および変位後検出画像に基づいて検出され、前記基準領域画像取得手段は、前記変位前画像における前記変位前検出画像に含まれる部分を前記基準領域画像として取得し、前記判定用領域画像取得手段は、前記変位前画像における、前記ワーク基準領域が前記検出画像取得領域の周縁に沿った位置に位置する状態に前記ワークが相対変位したと仮定した際に前記変位後検出画像として設定される部分と、前記変位前検出画像と、を含む部分を前記判定用領域画像として取得することが好ましい。
この発明によれば、ワークの相対変位量を、変位前画像および変位後画像における検出画像取得領域に含まれる変位前検出画像および変位後検出画像に基づいて検出される構成としている。また、変位前画像における変位前検出画像に含まれる部分を、基準領域画像として取得する。そして、変位前画像から、ワーク基準領域が検出画像取得領域の周縁に沿った位置に位置する状態(以下、測定範囲限界と称す)までワークが相対変位したと仮定した際に、変位後検出画像として設定される部分と、変位前検出画像と、を含む部分を判定用領域画像として取得する。
このため、判定用領域画像として、ワークが測定範囲限界まで変位したと仮定した際に変位後検出画像として設定される部分を含めることにより、変位後画像を取得することなく、ワークが測定範囲限界まで変位した際の相対変位量の検出可能性を適切に判定できる。
このため、判定用領域画像として、ワークが測定範囲限界まで変位したと仮定した際に変位後検出画像として設定される部分を含めることにより、変位後画像を取得することなく、ワークが測定範囲限界まで変位した際の相対変位量の検出可能性を適切に判定できる。
本発明の変位量検出可能性判定装置では、前記検出画像取得領域は、前記変位前検出画像および前記変位後検出画像が前記変位前画像および前記変位後画像の略中央部分に位置する状態に設定され、前記基準領域画像取得手段は、前記変位前検出画像の略中央部分を前記基準領域画像として取得することが好ましい。
この発明によれば、検出画像取得領域を、変位前検出画像および変位後検出画像が変位前画像および変位後画像の略中央部分に位置する状態に設定している。そして、変位前検出画像の略中央部分、つまり検出画像取得領域の略中央部分を基準領域画像として取得する。
ここで、基準領域画像として、検出画像取得領域の周縁に沿った部分を取得する場合、相対変位量を検出可能と判断したとしても、可能判定領域がこの部分よりも外側に変位すると、相対変位量を検出不可能な状態となってしまう。一方、基準領域画像として、検出画像取得領域の略中央部分を取得する場合、相対変位量を検出可能と判断した際に、可能判定領域がこの部分よりも外側に変位したとしても、周縁に沿った部分を取得する構成と比べて、可能判定領域が検出画像取得領域内に存在する可能性を高めることができ、検出可能な状態を維持することができる。したがって、相対変位量の検出可能性をさらに適切に判定できる。
ここで、基準領域画像として、検出画像取得領域の周縁に沿った部分を取得する場合、相対変位量を検出可能と判断したとしても、可能判定領域がこの部分よりも外側に変位すると、相対変位量を検出不可能な状態となってしまう。一方、基準領域画像として、検出画像取得領域の略中央部分を取得する場合、相対変位量を検出可能と判断した際に、可能判定領域がこの部分よりも外側に変位したとしても、周縁に沿った部分を取得する構成と比べて、可能判定領域が検出画像取得領域内に存在する可能性を高めることができ、検出可能な状態を維持することができる。したがって、相対変位量の検出可能性をさらに適切に判定できる。
本発明の変位量検出可能性判定装置では、前記判定用領域画像取得手段は、前記判定用領域画像から互いに異なる複数の判定用部分画像を取得し、前記判定用光状態検出手段は、前記判定用光状態を検出する処理として、前記複数の判定用部分画像に基づいて、前記ワークにおける前記判定用部分画像に対応するワーク判定用部分領域のそれぞれの前記光の状態を複数の判定用部分光状態として検出する処理を実施し、前記差異認識手段は、前記複数の判定用部分光状態ごとに前記基準光状態との比較処理を実施して、前記表面状態の差異を認識することが好ましい。
この発明によれば、判定用領域画像から複数の判定用部分画像を取得して、これらに対応するワーク判定用部分領域のそれぞれの判定用部分光状態を検出する。そして、複数の判定用部分光状態ごとに基準光状態との比較処理を実施して、表面状態の差異を認識する。
このため、ワーク判定用領域に含まれる複数のワーク判定用部分領域のそれぞれと、ワーク基準領域と、の光の状態を順次比較することにより、ワーク基準以外領域に含まれる各部分ごとのワーク基準領域との表面状態の差異を把握しつつ、相対変位量の検出可能性を判定できる。
このため、ワーク判定用領域に含まれる複数のワーク判定用部分領域のそれぞれと、ワーク基準領域と、の光の状態を順次比較することにより、ワーク基準以外領域に含まれる各部分ごとのワーク基準領域との表面状態の差異を把握しつつ、相対変位量の検出可能性を判定できる。
本発明の変位量検出可能性判定装置では、前記ワークの相対変位量は、前記変位前画像および前記変位後画像におけるあらかじめ設定された検出画像取得領域に含まれる変位前検出画像および変位後検出画像に基づいて検出され、前記基準領域画像取得手段は、前記変位前画像における前記変位前検出画像に対応する部分から互いに異なる複数の前記基準領域画像を取得し、前記基準光状態検出手段は、前記複数の基準領域画像のそれぞれに対応する前記ワーク基準領域の複数の前記基準光状態を検出し、前記判定用領域画像取得手段は、前記判定用領域画像から互いに異なる複数の判定用部分画像を取得し、前記判定用光状態検出手段は、前記判定用光状態を検出する処理として、前記ワークにおける前記判定用部分画像に対応するワーク判定用部分領域のそれぞれの前記光の状態を複数の判定用部分光状態として検出する処理を実施し、前記差異認識手段は、前記複数の判定用部分光状態ごとに前記複数の基準光状態のそれぞれとの比較処理を実施して、前記表面状態の差異を認識することが好ましい。
この発明によれば、ワークの相対変位量を、変位前画像および変位後画像における検出画像取得領域に含まれる変位前検出画像および変位後検出画像に基づいて検出される構成としている。また、変位前画像の変位前検出画像に対応する部分から複数の基準領域画像を取得して、これらに対応するワーク基準領域のそれぞれの基準光状態を検出する。さらに、判定用領域画像から複数の判定用部分画像を取得して、これらに対応するワーク判定用部分領域のそれぞれの判定用部光状態を検出する。そして、複数の判定用部分光状態ごとに複数の基準光状態のそれぞれとの比較処理を実施して、表面状態の差異を認識する。
ここで、複数の判定用部分光状態ごとに、1つの基準光状態との比較処理を実施する場合、可能判定領域がワーク基準領域に含まれない状態では、相対変位量を検出不可能であると判定されてしまう。一方、複数の判定用部分光状態ごとに複数の基準光状態のそれぞれとの比較処理を実施する場合、可能判定領域が変位前検出画像に対応する位置に位置する限り、相対変位量を検出可能であると判定することが可能となる。したがって、複数の判定用部分光状態ごとに、1つの基準光状態との比較処理を実施する構成と比べて、相対変位量の検出可能性をさらに適切に判定できる。
ここで、複数の判定用部分光状態ごとに、1つの基準光状態との比較処理を実施する場合、可能判定領域がワーク基準領域に含まれない状態では、相対変位量を検出不可能であると判定されてしまう。一方、複数の判定用部分光状態ごとに複数の基準光状態のそれぞれとの比較処理を実施する場合、可能判定領域が変位前検出画像に対応する位置に位置する限り、相対変位量を検出可能であると判定することが可能となる。したがって、複数の判定用部分光状態ごとに、1つの基準光状態との比較処理を実施する構成と比べて、相対変位量の検出可能性をさらに適切に判定できる。
本発明の変位量検出可能性判定装置では、前記基準光状態検出手段は、前記基準光状態を検出する処理として、前記ワーク基準領域に前記光が照射された際の散乱光の強度を基準散乱光強度として検出する処理を実施し、前記判定用光状態検出手段は、前記判定用部分光状態を検出する処理として、前記ワーク判定用部分領域に前記光が照射された際の散乱光の強度を判定用部分散乱光強度として検出する処理を実施し、前記差異認識手段は、前記比較処理として、前記基準散乱光強度および前記判定用部分散乱光強度の差分の算出処理を実施することが好ましい。
この発明によれば、基準光状態、判定用部分光状態を検出する処理として、ワーク基準領域、ワーク判定用部分領域に光を照射した際の散乱光の強度を、基準散乱光強度、判定用部分散乱光強度としてそれぞれ検出する処理を実施する。そして、上述した比較処理として、基準散乱光強度および判定用部分散乱光強度の差分の算出処理を実施する。
このため、光の状態として、容易に数値化可能な散乱光の強度を検出するので、光の状態の検出処理が容易になる。また、差分の算出処理の代わりに、比の算出処理を実施する構成と比べて、比較処理が容易になる。
このため、光の状態として、容易に数値化可能な散乱光の強度を検出するので、光の状態の検出処理が容易になる。また、差分の算出処理の代わりに、比の算出処理を実施する構成と比べて、比較処理が容易になる。
本発明の変位量検出可能性判定装置では、前記可能性判定手段は、前記差異認識手段で算出した差分の絶対値の最小値および2番目に小さい値の差分が所定値以上であると判断すると、前記表面状態の差異が所定の状態以上であると判断することが好ましい。
この発明によれば、差分の絶対値の最小値および2番目に小さい値の差分が所定値以上であると判断すると、表面状態の差異が所定の状態以上であると判断する。
このため、差分の絶対値の最小値および2番目に小さい値を特定して、差分を算出するだけの簡単な処理で表面状態の差異を判断できる。
このため、差分の絶対値の最小値および2番目に小さい値を特定して、差分を算出するだけの簡単な処理で表面状態の差異を判断できる。
本発明の変位量検出可能性判定装置では、前記可能性判定手段は、前記差異認識手段で算出した差分の絶対値の最小値およびこの最小値を除いた平均値の差分を、前記最小値を除いた標準偏差で除した値が所定値以上であると判断すると、前記表面状態の差異が所定の状態以上であると判断することが好ましい。
この発明によれば、差分の絶対値の最小値およびこの最小値を除いた平均値の差分を、最小値を除いた標準偏差で除した値が所定値以上であると判断すると、表面状態の差異が所定の状態以上であると判断する。
このため、絶対値の最小値以外のばらつきを考慮に入れて表面状態の差異を判断するので、より適切に相対変位量の検出可能性を判定できる。
このため、絶対値の最小値以外のばらつきを考慮に入れて表面状態の差異を判断するので、より適切に相対変位量の検出可能性を判定できる。
本発明の変位量検出可能性判定装置では、前記判定用領域画像取得手段は、前記基準領域画像と等しい大きさの前記判定用部分画像を取得することが好ましい。
この発明によれば、基準領域画像と等しい大きさの判定用部分画像を取得する。
このため、基準領域画像と等しい大きさの判定用部分画像を取得することにより、基準領域画像および判定用部分画像が一致した際に、判定用部分散乱光強度および基準散乱光強度の比を算出する場合には、その比を1に、差分を算出する場合には、その差分を0にそれぞれすることが可能となる。したがって、散乱光の強度に基づいて、表面状態の差異の判断を容易にできる。
このため、基準領域画像と等しい大きさの判定用部分画像を取得することにより、基準領域画像および判定用部分画像が一致した際に、判定用部分散乱光強度および基準散乱光強度の比を算出する場合には、その比を1に、差分を算出する場合には、その差分を0にそれぞれすることが可能となる。したがって、散乱光の強度に基づいて、表面状態の差異の判断を容易にできる。
本発明の変位量検出可能性判定装置では、前記可能性判定手段での判定結果に関する判定結果情報を報知手段で報知させる報知制御手段を具備したことが好ましい。
この発明によれば、相対変位量の検出可能性の判定結果に関する判定結果情報を、報知手段で報知させる制御をする。
このため、ワークの位置が相対変位量の検出に適しているか否かをユーザに認識させることが可能となり、適宜適切な位置に微調整する作業を実施させることができる。
このため、ワークの位置が相対変位量の検出に適しているか否かをユーザに認識させることが可能となり、適宜適切な位置に微調整する作業を実施させることができる。
本発明の変位量検出可能性判定装置では、前記ワークに照射される光は、レーザ光であり、前記変位前画像および前記変位後画像は、前記ワークの表面に前記レーザ光が照射された際の散乱光により生成されるスペックルの画像であることが好ましい。
この発明によれば、ワークにレーザ光を照射する構成としている。そして、変位前画像および変位後画像を、ワークにレーザ光が照射された際の散乱光により生成されるスペックルの画像を適用している。
このため、スペックルの画像を利用することにより、ワーク基準領域およびワーク基準以外領域の表面状態の差異をより精密に認識できる。
このため、スペックルの画像を利用することにより、ワーク基準領域およびワーク基準以外領域の表面状態の差異をより精密に認識できる。
本発明の変位検出装置は、ワークが載置される載置部と、この載置部に載置された前記ワークの表面に光を照射する照明光学系と、前記ワークの表面を撮像する撮像手段と、前記照明光学系からの光が照射された前記ワークの表面を撮像した変位前画像、および、前記表面の法線に略直交する方向への相対変位した前記ワークの表面を撮像した変位後画像に基づいて、前記ワークの相対変位量の検出可能性を判定する請求項1ないし請求項11のいずれかに記載の変位量検出可能性判定装置と、この変位量検出可能性判定装置の前記可能性判定手段で前記相対変位量を検出可能であると判定されると、前記撮像手段にて撮像された前記変位後画像を取得する変位後画像取得手段と、この変位後画像取得手段で取得した前記変位後画像に基づいて、前記ワークにおける前記変位後画像に対応する領域の前記光の状態を測定光状態として検出する測定光状態検出手段と、前記基準光状態検出手段で検出した前記基準光状態、および、前記測定光状態検出手段で検出した前記測定光状態に基づいて、前記ワークの相対変位量を検出する変位検出手段と、を具備したことを特徴とする。
この発明によれば、上述した変位量検出可能性判定装置でワークの相対変位量を検出可能であるか否かを判定する。さらに、検出可能であると判定すると、ワークの相対変位後の変位後画像を取得して、ワークにおける変位後画像に対応する領域の光の状態を測定光状態として検出する。そして、基準光状態および測定光状態に基づいて、ワークの相対変位量を検出する。
このため、ワークの相対変位量の検出可能性を測定効率の低下を招くことなく適切にかつ簡単な構成で判定しつつ、相対変位量を検出できる変位検出装置を提供可能となる。
このため、ワークの相対変位量の検出可能性を測定効率の低下を招くことなく適切にかつ簡単な構成で判定しつつ、相対変位量を検出できる変位検出装置を提供可能となる。
本発明の変位検出装置では、前記基準領域画像取得手段は、前記可能性判定手段で前記相対変位量を検出不可能と判定された場合、直前に取得した前記基準領域画像よりも大きい基準領域画像を新たに取得し、前記基準光状態検出手段は、前記新たに取得された基準領域画像に基づいて前記基準光状態を新たに検出し、前記変位検出手段は、前記基準光状態検出手段で新たに検出された前記基準光状態、および、前記測定光状態に基づいて、前記ワークの相対変位量を検出することが好ましい。
この発明によれば、相対変位量を検出不可能であると判定すると、つまり基準領域画像に可能判定領域が含まれていないと判定すると、直前に取得した基準領域画像よりも大きい基準領域画像における基準光状態を新たに検出する。そして、この新たに検出した基準光状態に基づいて、ワークの相対変位量を検出する。
このため、相対変位量を検出不可能であると判定した際に、可能判定領域を含まない基準領域画像よりも大きい基準領域画像を新たに取得するので、この新たな基準領域画像に可能判定領域を含めることが可能となる。したがって、ユーザにワークを移動させる作業を実施させることなく、相対変位量の検出可能性を高めることができる。
このため、相対変位量を検出不可能であると判定した際に、可能判定領域を含まない基準領域画像よりも大きい基準領域画像を新たに取得するので、この新たな基準領域画像に可能判定領域を含めることが可能となる。したがって、ユーザにワークを移動させる作業を実施させることなく、相対変位量の検出可能性を高めることができる。
本発明の変位量検出可能性判定方法は、演算手段により、光が照射されたワークの表面を撮像した変位前画像、および、前記表面の法線に略直交する方向への相対変位した前記ワークの表面を撮像した変位後画像に基づいて、前記ワークの相対変位量の検出可能性を判定する変位量検出可能性判定方法であって、前記演算手段は、前記変位前画像の一部分を基準領域画像として取得し、この取得した前記基準領域画像に基づいて、前記ワークにおける基準領域画像に対応するワーク基準領域の前記光の状態を基準光状態として検出し、前記変位前画像から前記基準領域画像を含む部分を判定用領域画像として取得し、この取得した前記判定用領域画像に基づいて、前記ワークにおける前記判定用領域画像に対応するワーク判定用領域の前記光の状態を判定用光状態として検出し、前記検出した前記基準光状態、および、前記検出した前記判定用光状態に基づいて、前記ワーク基準領域、および、前記ワーク判定用領域のうち前記ワーク基準領域以外のワーク基準以外領域の表面状態の差異を認識し、この認識した前記表面状態の差異が所定の状態以上であると判断すると、前記相対変位量を検出可能であると判定することを特徴とする。
この発明によれば、演算手段により、上述したような変位量検出可能性判定装置と同様の処理を実施する。
このため、演算手段、すなわちCPU(Central Processing Unit)やマイクロコンピュータなどの素子、あるいは複数の電子部品が搭載された回路基板などを取り付けるだけの簡単な構成で、ワークの相対変位量の検出可能性を測定効率の低下を招くことなく適切にかつ簡単な構成で判定可能となり、利用拡大を容易に図れる。
このため、演算手段、すなわちCPU(Central Processing Unit)やマイクロコンピュータなどの素子、あるいは複数の電子部品が搭載された回路基板などを取り付けるだけの簡単な構成で、ワークの相対変位量の検出可能性を測定効率の低下を招くことなく適切にかつ簡単な構成で判定可能となり、利用拡大を容易に図れる。
[第1実施形態]
以下に、本発明の第1実施形態を図面に基づいて説明する。
以下に、本発明の第1実施形態を図面に基づいて説明する。
〔変位検出装置の構成〕
まず、本発明の第1実施形態に係る変位検出装置の構成について説明する。なお、上述した従来の変位検出装置と同一の構成については、同一符号を付し説明を省略する。
図1は、本発明の第1実施形態および後述する第2実施形態に係る変位検出装置の概略構成を示す模式図である。図2は、画像処理部の概略構成を示すブロック図である。図3は、判定用領域の設定状態を表す模式図であり、(A)は判定用領域設定後の状態を表し、(B)は判定用領域設定のために利用する仮定取得領域を設定した状態を表す。図4は、判定用部分散乱光強度の検出状態を表す模式図である。図5は、測定位置と相関値との関係を表すグラフであり、(A)はワーク基準領域およびワーク基準以外領域の表面状態の差異が比較的小さい場合の関係を表し、(B)はワーク基準領域およびワーク基準以外領域の表面状態の差異が比較的大きい場合の関係を表す。図6は、基準画像を利用した変位量検出可能性の判定方法を説明するための模式図である。
まず、本発明の第1実施形態に係る変位検出装置の構成について説明する。なお、上述した従来の変位検出装置と同一の構成については、同一符号を付し説明を省略する。
図1は、本発明の第1実施形態および後述する第2実施形態に係る変位検出装置の概略構成を示す模式図である。図2は、画像処理部の概略構成を示すブロック図である。図3は、判定用領域の設定状態を表す模式図であり、(A)は判定用領域設定後の状態を表し、(B)は判定用領域設定のために利用する仮定取得領域を設定した状態を表す。図4は、判定用部分散乱光強度の検出状態を表す模式図である。図5は、測定位置と相関値との関係を表すグラフであり、(A)はワーク基準領域およびワーク基準以外領域の表面状態の差異が比較的小さい場合の関係を表し、(B)はワーク基準領域およびワーク基準以外領域の表面状態の差異が比較的大きい場合の関係を表す。図6は、基準画像を利用した変位量検出可能性の判定方法を説明するための模式図である。
変位検出装置100は、図1に示すように、内部に収納空間12を有する筐体部11と、レーザ光源14およびコリメートレンズ15を有し光としてレーザ光を照射する照明光学系13と、撮像手段としてのCCDカメラ16と、拡大レンズ17と、アパーチャ18と、ワークWが載置される載置部120と、各種情報を表示させる報知手段としての表示手段140と、変位量検出可能性判定装置および演算手段としての画像処理部160と、などを備えている。
載置部120は、例えば筐体部11の外部に配置されている。
表示手段140は、画像処理部160に接続されている。この表示手段140は、画像処理部160の制御により、各種情報を適宜画面表示させる。この画面表示させる情報としては、ワークWのスペックル像、ワークWの表面性状の画像や数値データ、ワークWの変位量検出可能性の判定結果に関する判定結果情報などが例示できる。
表示手段140は、画像処理部160に接続されている。この表示手段140は、画像処理部160の制御により、各種情報を適宜画面表示させる。この画面表示させる情報としては、ワークWのスペックル像、ワークWの表面性状の画像や数値データ、ワークWの変位量検出可能性の判定結果に関する判定結果情報などが例示できる。
画像処理部160は、各種プログラムとして、図2に示すように、変位後画像取得手段としての撮像画像取得手段161と、検出画像取得手段162と、基準領域画像取得手段としても機能する基準光状態検出手段としての基準散乱光強度検出手段163と、判定用領域画像取得手段としても機能する判定用光状態検出手段としての判定用散乱光強度検出手段164と、差異認識手段としての相関値算出手段165と、可能性判定手段166と、報知制御手段としての表示制御手段167と、測定光状態検出手段としての測定散乱光強度検出手段168と、変位検出手段169と、などを備えている。
撮像画像取得手段161は、CCDカメラ16にて撮像され、図3(A)に示すような長方形の撮像領域16Aに含まれるスペックル像を、変位前画像としての基準撮像画像や、変位後画像としての測定撮像画像として取得する。ここで、撮像領域16Aは、後述する判定用領域E1(図3(A)参照)が収められるように、縦横のピクセル数がそれぞれ496個以上に設定されている。
検出画像取得手段162は、撮像画像取得手段161で取得した基準撮像画像から、図3(A)に示すような正方形の検出画像取得領域Dに含まれる変位前検出画像としての基準画像を取得する。ここで、検出画像取得領域Dは、撮像領域16Aの中央に設定されている。また、この検出画像取得領域Dは、縦横のピクセル数がそれぞれ256個に設定されている。また、検出画像取得手段162は、撮像画像取得手段161で取得した測定撮像画像から、検出画像取得領域Dに含まれる変位後検出画像としての測定画像を取得する。
基準散乱光強度検出手段163は、検出画像取得手段162で取得した基準画像から、図3(A)に示すような正方形の基準テンプレートT1に含まれる基準領域画像を取得する。ここで、基準テンプレートT1は、検出画像取得領域Dの中央に設定されている。すなわち、基準テンプレートT1は、基準画像の中央部分を基準領域画像として取得可能な構成を有している。また、基準テンプレートT1は、縦横のピクセル数がそれぞれ16個に設定されている。
そして、基準散乱光強度検出手段163は、ワークWにおける基準領域画像として撮像されたワーク基準領域J1の基準光状態としての基準散乱光強度I1を検出する。
そして、基準散乱光強度検出手段163は、ワークWにおける基準領域画像として撮像されたワーク基準領域J1の基準光状態としての基準散乱光強度I1を検出する。
判定用散乱光強度検出手段164は、検出画像取得領域Dに対して、図3(A)に示すような正方形の判定用領域E1を設定する。具体的には、判定用散乱光強度検出手段164は、ワーク基準領域J1が検出画像取得領域Dの右上隅部に位置する位置(以下、右上の測定範囲限界と称す)までワークWが変位したと仮定した際に、例えば図3(B)に示すように、この仮定における検出画像取得領域Dの位置を仮定取得領域Dk1として認識する。また、左下の測定範囲限界までワークWが変位したと仮定した際に、例えば図3(B)に示すように、この仮定における検出画像取得領域Dの位置を仮定取得領域Dk2として認識する。さらに、ここでは図示しないが、右下、左上の測定範囲限界まで変位したと仮定した際の仮定取得領域を認識し、これらの仮定取得領域の外縁で囲まれる領域を判定用領域E1として設定する。
ここで、上述したように、仮定取得領域Dk1,Dk2、基準テンプレートT1の縦方向のピクセル数は、それぞれ256個、256個、16個に設定されている。このため、判定用領域E1の縦方向のピクセル数は、496(=256+256−16)個となる。また、判定用領域E1の横方向のピクセル数も496個となる。したがって、縦横のピクセル数がそれぞれ496個以上に設定された撮像領域16Aは、判定用領域E1を収めることができる。
なお、以下において、ワークWにおける判定用領域E1に含まれかつワーク基準領域J1以外の領域を、ワーク基準以外領域J2と適宜称して説明する。また、ワークWにおける判定用領域E1に含まれる部分は、本発明のワーク判定用領域を構成している。
なお、以下において、ワークWにおける判定用領域E1に含まれかつワーク基準領域J1以外の領域を、ワーク基準以外領域J2と適宜称して説明する。また、ワークWにおける判定用領域E1に含まれる部分は、本発明のワーク判定用領域を構成している。
また、判定用散乱光強度検出手段164は、判定用領域E1内に、図4に示すような、基準テンプレートT1と同一の正方形を有する判定用テンプレートT3を設定する。そして、この判定用テンプレートT3を判定用領域E1内で移動させつつ、基準画像から判定用テンプレートT3に含まれる判定用部分画像を取得して、ワークWにおける判定用部分画像として撮像されたワーク判定用部分領域J3の判定用部分光状態としての判定用部分散乱光強度I3を検出する。ここで、基準撮像画像のうち、判定用領域E1に含まれる部分は、本発明の判定用領域画像を構成している。つまり、判定用散乱光強度検出手段164は、判定用領域画像から異なる複数の判定用部分画像を取得して、これらの判定用部分散乱光強度I3を検出する。また、複数の判定用部分散乱光強度I3は、本発明の判定用光状態を構成している。
相関値算出手段165は、基準散乱光強度検出手段163で検出された基準散乱光強度I1と、判定用散乱光強度検出手段164で検出された判定用部分散乱光強度I3と、を取得する。そして、以下の式(2)に基づいて、相関値Rb(p、q)(以下、単に相関値Rbと称す)を算出する。
つまり、相関値算出手段165は、複数の判定用部分散乱光強度I3ごとの基準散乱光強度I1との差分の絶対値を相関値Rbとして算出する。
可能性判定手段166は、相関値算出手段165で算出した相関値Rbに基づいて、ワークWの変位量の検出可能性を判定する。具体的には、可能性判定手段166は、図5(A),(B)に示すように、相関値Rbをグラフ化する。なお、図5(A),(B)において、横軸の測定位置は、判定用テンプレートT3の移動位置を表している。つまり、横軸の中央は、検出画像取得領域Dの中央すなわち基準テンプレートT1と一致する位置を表している。
ここで、相関値Rbは、判定用テンプレートT3が基準テンプレートT1と一致した場合に0(以下、ピークと称す)となり、一致しない場合に0以外の値となる。さらに、相関値Rbは、ワークWのワーク基準領域J1と、ワーク基準以外領域J2と、の表面状態の差異が大きいほど大きくなる。つまり、相関値Rbは、ワーク基準領域J1およびワーク基準以外領域J2の表面状態の差異が比較的小さい場合に、図5(A)に示すような関係になり、差異が比較的大きい場合に、図5(B)に示すような関係になる。
そして、可能性判定手段166は、図6に示すように、相関値Rbのピークと、2番目に小さい値と、の差分Aを算出し、この差分Aが所定値以上であると判断すると、基準画像を利用して変位量を検出可能であると判定する。一方、所定値未満であると判断すると、検出不可能であると判定する。つまり、ワーク基準領域J1およびワーク基準以外領域J2の表面状態の差異が所定値以上の場合に、基準画像を利用して変位量を検出可能であると判定する。
なお、ワーク基準領域J1およびワーク基準以外領域J2の表面状態の差異が所定値以上となる状態としては、ワーク基準領域J1に突起や溝が形成されている状態が例示できる。また、この突起や溝は、ワークWの仕様にあらかじめ含まれているものであってもよいし、異物に衝突した際に形成された傷などであってもよい。
ここで、相関値Rbは、判定用テンプレートT3が基準テンプレートT1と一致した場合に0(以下、ピークと称す)となり、一致しない場合に0以外の値となる。さらに、相関値Rbは、ワークWのワーク基準領域J1と、ワーク基準以外領域J2と、の表面状態の差異が大きいほど大きくなる。つまり、相関値Rbは、ワーク基準領域J1およびワーク基準以外領域J2の表面状態の差異が比較的小さい場合に、図5(A)に示すような関係になり、差異が比較的大きい場合に、図5(B)に示すような関係になる。
そして、可能性判定手段166は、図6に示すように、相関値Rbのピークと、2番目に小さい値と、の差分Aを算出し、この差分Aが所定値以上であると判断すると、基準画像を利用して変位量を検出可能であると判定する。一方、所定値未満であると判断すると、検出不可能であると判定する。つまり、ワーク基準領域J1およびワーク基準以外領域J2の表面状態の差異が所定値以上の場合に、基準画像を利用して変位量を検出可能であると判定する。
なお、ワーク基準領域J1およびワーク基準以外領域J2の表面状態の差異が所定値以上となる状態としては、ワーク基準領域J1に突起や溝が形成されている状態が例示できる。また、この突起や溝は、ワークWの仕様にあらかじめ含まれているものであってもよいし、異物に衝突した際に形成された傷などであってもよい。
表示制御手段167は、可能性判定手段166での判定結果に関する判定結果情報、例えば基準画像を利用して変位量を検出可能である旨、変位量を検出不可能なためワークWの移動を促す旨を表示手段140で表示させる制御をする。また、表示制御手段167は、基準撮像画像、測定撮像画像、変位検出手段169で検出した変位量などを適宜表示させる。
測定散乱光強度検出手段168は、可能性判定手段166で変位量を検出可能であると判定されたことを認識すると、従来の構成と同様に、検出画像取得手段162で取得された測定画像に対して、図15に示すような測定テンプレートT2を設定する。そして、この測定テンプレートT2を検出画像取得領域D内で移動させつつ、測定光状態としての測定散乱光強度I2を検出する。
変位検出手段169は、変位量を検出可能であると判定されたときの基準散乱光強度I1と、測定散乱光強度検出手段168で検出された測定散乱光強度I2と、を取得する。そして、従来の構成と同様に、上述した式(1)に基づいて、相関値Raを算出し、この相関値Raに基づいて、変位量を求める。
〔変位検出装置の動作〕
次に、変位検出装置100の動作について説明する。
図7は、変位量検出処理を示すフローチャートである。
次に、変位検出装置100の動作について説明する。
図7は、変位量検出処理を示すフローチャートである。
まず、ユーザは、載置部120にワークWを載置して、処理を開始する旨の設定入力を実施する。
この後、変位検出装置100は、基準画像を取得して(ステップS11)、変位量の検出可能性を判定する処理、すなわち基準画像の良否を判別する(ステップS12)。具体的には、判定用領域E1の設定処理、基準散乱光強度I1および判定用部分散乱光強度I3の検出処理を実施する。そして、相関値Rbを算出し、この相関値Rbに基づいて、変位量の検出可能性を判定する。
この後、変位検出装置100は、基準画像を取得して(ステップS11)、変位量の検出可能性を判定する処理、すなわち基準画像の良否を判別する(ステップS12)。具体的には、判定用領域E1の設定処理、基準散乱光強度I1および判定用部分散乱光強度I3の検出処理を実施する。そして、相関値Rbを算出し、この相関値Rbに基づいて、変位量の検出可能性を判定する。
このステップS12において、NGつまり検出不可能であると判定した場合、その旨を表示手段140で表示させる。そして、例えばユーザがワークWを移動させた後に、ステップS11の処理を実施する。一方、ステップS12において、OKつまり検出可能であると判定した場合、その旨を表示手段140で表示させ、測定を開始する(ステップS13)。具体的には、測定画像の取得、測定散乱光強度I2の検出処理を実施する。そして、相関値Raを算出して(ステップS14)、この相関値Raに基づいて、変位量を検出する。この後、例えば検出結果を表示手段140で表示させて、処理を終了する。
〔第1実施形態の作用効果〕
上述したように、上記第1実施形態では、画像処理部160は、ワークWの変位前の基準撮像画像を取得する。そして、この基準撮像画像から、検出画像取得領域Dに対して設定された基準テンプレートT1に含まれる基準領域画像を取得して、この基準領域画像の散乱光強度を基準散乱光強度I1として検出する。また、検出画像取得領域Dに対して設定された判定用領域E1内で判定用テンプレートT3を移動させつつ、基準撮像画像から、判定用テンプレートT3に含まれる判定用部分画像を取得して、この判定用部分画像の散乱光強度を、判定用部分散乱光強度I3として検出する。この後、基準散乱光強度I1および判定用部分散乱光強度I3に基づいて、ワーク基準領域J1およびワーク基準以外領域J2の表面状態の差異を認識し、この差異が所定の状態以上であると判断すると、基準画像を利用して変位量を検出可能であると判定する。ここで、基準テンプレートT1内に位置した際に変位量を検出可能と判定されるワークの部分を可能判定領域と、この可能判定領域以外の部分を可能判定以外領域と称して説明する。
このため、変位量を検出可能であると判定された場合、可能判定領域がワークWの変位によりずれて、光学系の収差や干渉条件より、この可能判定領域の散乱光強度が小さい値として検出されたとしても、可能判定以外領域の散乱光強度との差を所定値以上にすることができる。つまり、光学系の収差や干渉条件より、可能判定領域の光の状態の相関性が悪くなったとしても、可能判定以外領域の光の状態との差を所定の状態以上にすることができる。したがって、従来の構成のように、可能判定領域の散乱光強度が可能判定以外領域と略等しくなることがなく、ワークWの変位量を適切に検出させることができる。
また、例えば図17(A)に示すように、ワークWに可能判定領域である複数の丸模様Y1,Y2が存在する場合には、測定撮像画像を取得することなく、つまり測定を実施することなく、変位量を検出不可能と判定することができる。したがって、測定後の試行錯誤を実施する必要がなくなり、ワークWの測定効率の低下を抑制できる。
さらに、基準撮像画像をモニタ表示させて、ユーザに直接見て判断させる必要がなくなり、構成の複雑化を招くことがない。
よって、ワークWの相対変位量の検出可能性を測定効率の低下を招くことなく適切にかつ簡単な構成で判定できる。
上述したように、上記第1実施形態では、画像処理部160は、ワークWの変位前の基準撮像画像を取得する。そして、この基準撮像画像から、検出画像取得領域Dに対して設定された基準テンプレートT1に含まれる基準領域画像を取得して、この基準領域画像の散乱光強度を基準散乱光強度I1として検出する。また、検出画像取得領域Dに対して設定された判定用領域E1内で判定用テンプレートT3を移動させつつ、基準撮像画像から、判定用テンプレートT3に含まれる判定用部分画像を取得して、この判定用部分画像の散乱光強度を、判定用部分散乱光強度I3として検出する。この後、基準散乱光強度I1および判定用部分散乱光強度I3に基づいて、ワーク基準領域J1およびワーク基準以外領域J2の表面状態の差異を認識し、この差異が所定の状態以上であると判断すると、基準画像を利用して変位量を検出可能であると判定する。ここで、基準テンプレートT1内に位置した際に変位量を検出可能と判定されるワークの部分を可能判定領域と、この可能判定領域以外の部分を可能判定以外領域と称して説明する。
このため、変位量を検出可能であると判定された場合、可能判定領域がワークWの変位によりずれて、光学系の収差や干渉条件より、この可能判定領域の散乱光強度が小さい値として検出されたとしても、可能判定以外領域の散乱光強度との差を所定値以上にすることができる。つまり、光学系の収差や干渉条件より、可能判定領域の光の状態の相関性が悪くなったとしても、可能判定以外領域の光の状態との差を所定の状態以上にすることができる。したがって、従来の構成のように、可能判定領域の散乱光強度が可能判定以外領域と略等しくなることがなく、ワークWの変位量を適切に検出させることができる。
また、例えば図17(A)に示すように、ワークWに可能判定領域である複数の丸模様Y1,Y2が存在する場合には、測定撮像画像を取得することなく、つまり測定を実施することなく、変位量を検出不可能と判定することができる。したがって、測定後の試行錯誤を実施する必要がなくなり、ワークWの測定効率の低下を抑制できる。
さらに、基準撮像画像をモニタ表示させて、ユーザに直接見て判断させる必要がなくなり、構成の複雑化を招くことがない。
よって、ワークWの相対変位量の検出可能性を測定効率の低下を招くことなく適切にかつ簡単な構成で判定できる。
また、画像処理部160は、ワークWが右上、右下、左上、左下右上隅部の測定範囲限界まで変位したと仮定した際の検出画像取得領域Dの位置を仮定取得領域として認識し、これらの外縁を判定用領域E1として設定する。そして、この判定用領域E1に含まれる判定用部分画像の判定用部分散乱光強度I3を検出する。
このため、判定用部分画像として、ワークWが測定範囲限界まで変位したと仮定した際に測定画像として取得される部分を含めることにより、測定画像を取得することなく、ワークWが測定範囲限界まで変位した際の相対変位量の検出可能性を適切に判定できる。
このため、判定用部分画像として、ワークWが測定範囲限界まで変位したと仮定した際に測定画像として取得される部分を含めることにより、測定画像を取得することなく、ワークWが測定範囲限界まで変位した際の相対変位量の検出可能性を適切に判定できる。
そして、画像処理部160は、基準画像の中央部分、つまり検出画像取得領域Dの中央部分を基準領域画像として取得する。
ここで、基準領域画像として、検出画像取得領域Dの周縁に沿った部分を取得する場合、変位量を検出可能と判断したとしても、可能判定領域がこの部分よりも外側に変位すると、変位量を検出不可能な状態となってしまう。
一方、上記第1実施形態のように、基準領域画像として、検出画像取得領域Dの中央部分を取得する場合、変位量を検出可能と判断した際に、可能判定領域がこの部分よりも外側に変位したとしても、周縁に沿った部分を取得する構成と比べて、可能判定領域が検出画像取得領域D内に存在する可能性を高めることができ、検出可能な状態を維持することができる。したがって、変位量の検出可能性をさらに適切に判定できる。
ここで、基準領域画像として、検出画像取得領域Dの周縁に沿った部分を取得する場合、変位量を検出可能と判断したとしても、可能判定領域がこの部分よりも外側に変位すると、変位量を検出不可能な状態となってしまう。
一方、上記第1実施形態のように、基準領域画像として、検出画像取得領域Dの中央部分を取得する場合、変位量を検出可能と判断した際に、可能判定領域がこの部分よりも外側に変位したとしても、周縁に沿った部分を取得する構成と比べて、可能判定領域が検出画像取得領域D内に存在する可能性を高めることができ、検出可能な状態を維持することができる。したがって、変位量の検出可能性をさらに適切に判定できる。
また、画像処理部160は、基準画像の判定用領域画像から複数の判定用部分画像を取得して、これらにそれぞれ対応する判定用部分散乱光強度I3を検出する。さらに、複数の判定用部分散乱光強度I3ごとに基準散乱光強度I1との差分算出処理を実施して、これらの差分の絶対値を相関値Rbとして算出する。そして、この相関値Rbに基づいて、表面状態の差異を認識する。
このため、ワーク基準以外領域J2に含まれる複数の部分のそれぞれと、ワーク基準領域J1と、の散乱光の強度を順次比較することにより、ワーク基準以外領域J2に含まれる各部分ごとのワーク基準領域J1との表面状態の差異を把握しつつ、相対変位量の検出可能性を判定できる。
さらに、複数の判定用部分散乱光強度I3ごとに、複数の基準散乱光強度I1との差分算出処理を実施する構成と比べて、算出処理負荷を低減できる。したがって、交換頻度が多いワークWに対する判定処理に特に有効である。
このため、ワーク基準以外領域J2に含まれる複数の部分のそれぞれと、ワーク基準領域J1と、の散乱光の強度を順次比較することにより、ワーク基準以外領域J2に含まれる各部分ごとのワーク基準領域J1との表面状態の差異を把握しつつ、相対変位量の検出可能性を判定できる。
さらに、複数の判定用部分散乱光強度I3ごとに、複数の基準散乱光強度I1との差分算出処理を実施する構成と比べて、算出処理負荷を低減できる。したがって、交換頻度が多いワークWに対する判定処理に特に有効である。
さらに、画像処理部160は、ワーク判定用部分領域J3およびワーク基準領域J1の光の状態として、判定用部分散乱光強度I3および基準散乱光強度I1を検出する。そして、判定用部分散乱光強度I3および基準散乱光強度I1の比較処理として、差分の算出処理を実施する。
このため、光の状態として、容易に数値化可能な散乱光の強度を検出するので、光の状態の検出処理を容易にできる。また、差分の算出処理の代わりに、比の算出処理を実施する構成と比べて、比較処理を容易にできる。
このため、光の状態として、容易に数値化可能な散乱光の強度を検出するので、光の状態の検出処理を容易にできる。また、差分の算出処理の代わりに、比の算出処理を実施する構成と比べて、比較処理を容易にできる。
そして、画像処理部160は、相関値Rbの最小値および2番目に小さい値の差分Aが所定値以上であると判断すると、ワーク基準領域J1およびワーク基準以外領域J2の表面状態の差異が所定の状態以上であると判断する。
このため、相関値Rbの最小値および2番目に小さい値を特定して、これらの差分Aを算出するだけの簡単な処理で表面状態の差異を判断できる。
このため、相関値Rbの最小値および2番目に小さい値を特定して、これらの差分Aを算出するだけの簡単な処理で表面状態の差異を判断できる。
また、画像処理部160は、基準テンプレートT1および判定用テンプレートT3の大きさを等しい大きさに設定し、基準領域画像と等しい大きさの判定用部分画像を取得する。
このため、基準領域画像と等しい大きさの判定用部分画像を取得することにより、基準領域画像および判定用部分画像が一致した際に、判定用部分散乱光強度I3および基準散乱光強度I1の差分に基づき求められる相関値Rbを0にすることができる。したがって、散乱光の強度に基づく表面状態の差異の判断を容易にできる。
このため、基準領域画像と等しい大きさの判定用部分画像を取得することにより、基準領域画像および判定用部分画像が一致した際に、判定用部分散乱光強度I3および基準散乱光強度I1の差分に基づき求められる相関値Rbを0にすることができる。したがって、散乱光の強度に基づく表面状態の差異の判断を容易にできる。
さらに、画像処理部160は、基準画像を利用した変位量検出可能性の判定結果を表示手段140で表示させる。
このため、ワークWの位置が変位量の検出に適しているか否かをユーザに認識させることができ、適宜適切な位置に微調整する作業を実施させることができる。
このため、ワークWの位置が変位量の検出に適しているか否かをユーザに認識させることができ、適宜適切な位置に微調整する作業を実施させることができる。
そして、ワークWにレーザ光を照射する構成とし、基準撮像画像および測定撮像画像を、ワークWにレーザ光が照射された際の散乱光により生成されるスペックルの画像を適用している。
このため、スペックルの画像を利用することにより、ワーク基準領域J1およびワーク基準以外領域J2の表面状態の差異をより精密に認識できる。
このため、スペックルの画像を利用することにより、ワーク基準領域J1およびワーク基準以外領域J2の表面状態の差異をより精密に認識できる。
また、変位検出装置100に、上述した機能を有する画像処理部160を設けている。そして、ワークWの変位量を検出可能であると判定すると、ワークWの変位後の測定撮像画像を取得する。さらに、この測定撮像画像から測定画像を取得し、この測定画像における測定散乱光強度I2を検出する。そして、基準散乱光強度I1および測定散乱光強度I2に基づいて、ワークWの変位量を検出する。
このため、ワークの変位量の検出可能性を測定効率の低下を招くことなく適切にかつ簡単な構成で判定しつつ、変位量を検出できる変位検出装置100を提供できる。
このため、ワークの変位量の検出可能性を測定効率の低下を招くことなく適切にかつ簡単な構成で判定しつつ、変位量を検出できる変位検出装置100を提供できる。
[第2実施形態]
次に、本発明の第2実施形態を図面に基づいて説明する。
次に、本発明の第2実施形態を図面に基づいて説明する。
〔変位検出装置の構成〕
まず、本発明の第2実施形態に係る変位検出装置の構成について説明する。
なお、上述した第1実施形態と同一の構成については、同一名称および同一符号を付し、説明を適宜省略する。また、第1実施形態と略等しい構成については、同一名称を付し、説明を適宜簡略にする。
図8は、判定用領域の設定状態を表す模式図であり、(A)は判定用領域設定後の状態を表し、(B)は判定用領域設定のために利用する仮定取得領域を設定した状態を表す。図9は、基準散乱光強度および判定用部分散乱光強度の検出状態を表す模式図である。
まず、本発明の第2実施形態に係る変位検出装置の構成について説明する。
なお、上述した第1実施形態と同一の構成については、同一名称および同一符号を付し、説明を適宜省略する。また、第1実施形態と略等しい構成については、同一名称を付し、説明を適宜簡略にする。
図8は、判定用領域の設定状態を表す模式図であり、(A)は判定用領域設定後の状態を表し、(B)は判定用領域設定のために利用する仮定取得領域を設定した状態を表す。図9は、基準散乱光強度および判定用部分散乱光強度の検出状態を表す模式図である。
変位検出装置200は、図1に示すように、第1実施形態の変位検出装置100の画像処理部160を、変位量検出可能性判定装置および演算手段としての画像処理部260に変更した構成を有し、第1実施形態の画像処理部160と異なる方法で基準画像を利用した変位量検出可能性の判定処理を実施する。
画像処理部260は、各種プログラムとして、図2に示すように、撮像画像取得手段161と、検出画像取得手段162と、基準領域画像取得手段としても機能する基準光状態検出手段としての基準散乱光強度検出手段263と、判定用領域画像取得手段としても機能する判定用光状態検出手段としての判定用散乱光強度検出手段264と、差異認識手段としての相関値算出手段265と、可能性判定手段266と、表示制御手段167と、測定散乱光強度検出手段168と、変位検出手段269と、などを備えている。
基準散乱光強度検出手段263は、検出画像取得領域Dに対して、正方形の基準テンプレートT1(図9参照)を設定する。そして、この基準テンプレートT1を検出画像取得領域D内で移動させつつ、基準画像から基準テンプレートT1に含まれるワーク基準領域J1の基準散乱光強度I1を検出する。つまり、第1実施形態の基準散乱光強度検出手段163が検出画像取得領域Dの中央に固定された基準テンプレートT1に対応する1箇所の基準散乱光強度I1を検出するのに対し、基準散乱光強度検出手段263は、検出画像取得領域D内で移動する基準テンプレートT1に対応する複数箇所の基準散乱光強度I1を検出する。
判定用散乱光強度検出手段264は、検出画像取得領域Dに対して、図8(A)に示すような正方形の判定用領域E2を設定する。具体的には、判定用散乱光強度検出手段264は、第1実施形態の判定用散乱光強度検出手段164と同様に、図8(B)に示すように、ワークWが測定範囲限界まで移動したと仮定した場合の仮定取得領域Dk1,Dk2などを認識する。さらに、これら仮定取得領域Dk1,Dk2などの中央に、基準テンプレートT1と同一の正方形を有する判定用テンプレートT3を設定したと仮定し、これら各仮定取得領域Dk1,Dk2などにおける判定用テンプレートT3の外縁で囲まれる領域を判定用領域E2として設定する。なお、図8(A)では、構成をわかりやすくするために判定用領域E2および検出画像取得領域Dが一致していない状態を示しているが、実際には、これら判定用領域E2および検出画像取得領域Dは、一致している。
また、判定用散乱光強度検出手段264は、判定用領域E2内に判定用テンプレートT3を設定して、この判定用テンプレートT3を判定用領域E2内で移動させつつ、基準画像から判定用テンプレートT3に含まれるワーク判定用部分領域J3の判定用部分散乱光強度I3を検出する。つまり、判定用散乱光強度検出手段264は、第1実施形態の判定用領域E1よりも小さく、かつ、検出画像取得領域Dと同一の判定用領域E2内で移動する、判定用テンプレートT3に対応する判定用部分散乱光強度I3を検出する。
相関値算出手段265は、基準散乱光強度検出手段263で検出された基準散乱光強度I1と、判定用散乱光強度検出手段264で検出された判定用部分散乱光強度I3と、を取得する。そして、以下の式(3)に基づいて、特定の基準散乱光強度I1に対して、相関値Rc(p、q)(以下、単に相関値Rcと称す)を算出する。
つまり、相関値算出手段265は、複数の判定用部分散乱光強度I3ごとの基準散乱光強度I1との差分の絶対値を相関値Rcとして算出する。また、相関値算出手段265は、複数の基準散乱光強度I1ごとに、式(3)に基づく相関値Rcを算出する。すなわち、全ての判定用部分散乱光強度I3および全ての基準散乱光強度I1の組み合わせについて、相関値Rcを算出する。
可能性判定手段266は、相関値算出手段265で算出した相関値Rcに基づいて、変位量検出可能性を判定する。具体的には、可能性判定手段266は、第1実施形態の可能性判定手段166と同様に、相関値Rcをグラフ化する。そして、相関値Rcのピークと、2番目に小さい値と、の差分Aが所定値以上であると判断すると、基準画像を利用して変位量を検出可能であると判定する。一方、所定値未満であると判断すると、検出不可能であると判定する。
変位検出手段269は、基準散乱光強度検出手段263で検出された複数の基準散乱光強度I1のうち、可能性判定手段266で変位量を検出可能であると判定されたときの基準散乱光強度I1と、測定散乱光強度検出手段168で検出された測定散乱光強度I2と、を取得する。そして、従来の構成と同様に、上述した式(1)に基づいて、相関値Raを算出し、この相関値Raに基づいて、変位量を求める。
〔変位検出装置の動作〕
次に、変位検出装置200の動作について説明する。
なお、この変位検出装置200の動作は、第1実施形態の変位検出装置100と同様のため、図7を用いて説明する。また、第1実施形態と同一の動作については、説明を適宜省略する。
次に、変位検出装置200の動作について説明する。
なお、この変位検出装置200の動作は、第1実施形態の変位検出装置100と同様のため、図7を用いて説明する。また、第1実施形態と同一の動作については、説明を適宜省略する。
まず、変位検出装置200は、ワークWの基準画像を取得して(ステップS11)、基準画像の良否を判別する(ステップS12)。具体的には、判定用領域E2の設定処理、基準散乱光強度I1および判定用部分散乱光強度I3の検出処理を実施する。そして、相関値Rcを算出し、この相関値Rcに基づいて、変位量の検出可能性を判定する。
そして、このステップS12において、NGであると判定した場合、その旨を表示手段140で表示させて、ステップS11の処理を実施する。一方、ステップS12において、OKであると判定した場合、その旨を表示手段140で表示させ、測定を開始する(ステップS13)。そして、相関値Raに基づいて、変位量を検出する(ステップS14)。
そして、このステップS12において、NGであると判定した場合、その旨を表示手段140で表示させて、ステップS11の処理を実施する。一方、ステップS12において、OKであると判定した場合、その旨を表示手段140で表示させ、測定を開始する(ステップS13)。そして、相関値Raに基づいて、変位量を検出する(ステップS14)。
〔第2実施形態の作用効果〕
上述した第2実施形態によれば、上記第1実施形態と同様の作用効果に加え、以下のような作用効果を奏することができる。
上述した第2実施形態によれば、上記第1実施形態と同様の作用効果に加え、以下のような作用効果を奏することができる。
すなわち、画像処理部260は、判定用領域画像から複数の判定用部分画像を取得して、これらにそれぞれ対応する複数の判定用部分散乱光強度I3を検出する。また、基準画像から複数の基準領域画像を取得して、これらにそれぞれ対応する複数の基準散乱光強度I1を検出する。そして、複数の判定用部分散乱光強度I3ごとに複数の基準散乱光強度I1のそれぞれとの差分算出処理を実施して、これらの差分の絶対値を相関値Rcとして算出する。そして、この相関値Rcに基づいて、表面状態の差異を認識する。
ここで、第1実施形態の構成、つまり、複数の判定用部分散乱光強度I3ごとに1つの基準散乱光強度I1との比較処理を実施する構成の場合、可能判定領域がワーク基準領域J1に含まれない状態では、変位量を検出不可能であると判定されてしまう。一方、第2実施形態の構成、つまり複数の判定用部分散乱光強度I3ごとに複数の基準散乱光強度I1のそれぞれとの比較処理を実施する構成の場合、可能判定領域が基準画像に対応する位置に位置する限り、変位量を検出可能であると判定することができる。したがって、第1実施形態の構成と比べて、相対変位量の検出可能性をさらに適切に判定できる。
ここで、第1実施形態の構成、つまり、複数の判定用部分散乱光強度I3ごとに1つの基準散乱光強度I1との比較処理を実施する構成の場合、可能判定領域がワーク基準領域J1に含まれない状態では、変位量を検出不可能であると判定されてしまう。一方、第2実施形態の構成、つまり複数の判定用部分散乱光強度I3ごとに複数の基準散乱光強度I1のそれぞれとの比較処理を実施する構成の場合、可能判定領域が基準画像に対応する位置に位置する限り、変位量を検出可能であると判定することができる。したがって、第1実施形態の構成と比べて、相対変位量の検出可能性をさらに適切に判定できる。
また、画像処理部260は、第1実施形態の判定用領域E1よりも基準取得画像の中央近傍に判定用領域E2を設定している。
ここで、光学系の収差や干渉条件の影響を考慮に入れると、基準取得画像の中央近傍のみの判定用部分散乱光強度I3および基準散乱光強度I1を利用する構成が好ましい。このため、第1実施形態と比べて影響を最小限に抑えた状態で判定でき、判定の信頼性をより高めることができる。
ここで、光学系の収差や干渉条件の影響を考慮に入れると、基準取得画像の中央近傍のみの判定用部分散乱光強度I3および基準散乱光強度I1を利用する構成が好ましい。このため、第1実施形態と比べて影響を最小限に抑えた状態で判定でき、判定の信頼性をより高めることができる。
[実施形態の変形]
なお、本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲で以下に示される変形をも含むものである。
なお、本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲で以下に示される変形をも含むものである。
すなわち、例えば第1実施形態において、図10に示すような変位量検出処理を実施する構成としてもよい。
この図10に示す変位量検出処理では、ステップS12において、NGであると判定した場合、アルゴリズムの手動または自動による選択処理を実施する(ステップS21)。このステップS21における処理では、基準散乱光強度検出手段163にて、NGと判定された基準領域画像よりも大きい基準領域画像における基準散乱光強度I1を新たに検出する。また、例えば、この新たな基準領域画像と同じ大きさの画像における測定散乱光強度I2を検出し、これら検出した基準散乱光強度I1、測定散乱光強度I2に基づいて、ワークWの変位量を検出する構成としてもよい。
このような構成にすれば、基準画像に基づいて変位量を検出不可能であると判定した際に、可能判定領域を含まない基準領域画像よりも大きい基準領域画像を新たに取得するので、この新たな基準領域画像に可能判定領域を含めることが可能となる。したがって、ユーザにワークWを移動させる作業を実施させることなく、変位量の検出可能性を高めることができる。
この図10に示す変位量検出処理では、ステップS12において、NGであると判定した場合、アルゴリズムの手動または自動による選択処理を実施する(ステップS21)。このステップS21における処理では、基準散乱光強度検出手段163にて、NGと判定された基準領域画像よりも大きい基準領域画像における基準散乱光強度I1を新たに検出する。また、例えば、この新たな基準領域画像と同じ大きさの画像における測定散乱光強度I2を検出し、これら検出した基準散乱光強度I1、測定散乱光強度I2に基づいて、ワークWの変位量を検出する構成としてもよい。
このような構成にすれば、基準画像に基づいて変位量を検出不可能であると判定した際に、可能判定領域を含まない基準領域画像よりも大きい基準領域画像を新たに取得するので、この新たな基準領域画像に可能判定領域を含めることが可能となる。したがって、ユーザにワークWを移動させる作業を実施させることなく、変位量の検出可能性を高めることができる。
そして、第1実施形態において、判定用テンプレートT3を検出画像取得領域D内のみで移動させつつ、この判定用テンプレートT3に対応する判定用部分散乱光強度I3を検出する構成としてもよい。
このような構成にしても、従来の構成と比べて、ワークWの相対変位量の検出可能性を測定効率の低下を招くことなく適切にかつ簡単な構成で判定できる。さらに、判定用領域E1を設定する必要がなく、判定処理時の処理負荷を低減できる。
このような構成にしても、従来の構成と比べて、ワークWの相対変位量の検出可能性を測定効率の低下を招くことなく適切にかつ簡単な構成で判定できる。さらに、判定用領域E1を設定する必要がなく、判定処理時の処理負荷を低減できる。
また、第1実施形態において、基準テンプレートT1を検出画像取得領域Dの周縁に沿った位置に設定し、基準領域画像として、検出画像取得領域Dの側縁近傍部分の画像を取得する構成としてもよい。
そして、第1,第2実施形態において、相関値Rb,Rcのピークと、2番目に小さい値と、の比に基づいて、検出可能性を判定する構成としてもよい。
これらのような構成にしても、従来の構成と比べて、ワークWの相対変位量の検出可能性を測定効率の低下を招くことなく適切にかつ簡単な構成で判定できる。
そして、第1,第2実施形態において、相関値Rb,Rcのピークと、2番目に小さい値と、の比に基づいて、検出可能性を判定する構成としてもよい。
これらのような構成にしても、従来の構成と比べて、ワークWの相対変位量の検出可能性を測定効率の低下を招くことなく適切にかつ簡単な構成で判定できる。
さらに、第1,第2実施形態において、相関値Rb,Rcのピークと、2番目に小さい値と、の差分Aに基づいて、検出可能性を判定したが、例えば以下のような処理を実施する構成としてもよい。
すなわち、ピークを除いた部分の標準偏差σを算出する。さらに、ピークを除いた部分の平均値と、ピークと、の差分Bを算出する。そして、差分Bを標準偏差σで除した値が所定一以上であると判断した場合に、基準画像を利用して変位量を検出可能であると判定し、所定値未満であると判断した場合に、検出不可能であると判定する構成としてもよい。
このような構成にすれば、絶対値の最小値以外のばらつきを考慮に入れて表面状態の差異を判断するので、より適切に変位量の検出可能性を判定できる。
すなわち、ピークを除いた部分の標準偏差σを算出する。さらに、ピークを除いた部分の平均値と、ピークと、の差分Bを算出する。そして、差分Bを標準偏差σで除した値が所定一以上であると判断した場合に、基準画像を利用して変位量を検出可能であると判定し、所定値未満であると判断した場合に、検出不可能であると判定する構成としてもよい。
このような構成にすれば、絶対値の最小値以外のばらつきを考慮に入れて表面状態の差異を判断するので、より適切に変位量の検出可能性を判定できる。
また、第1,第2実施形態において、基準テンプレートT1および判定用テンプレートT3の大きさを異なる大きさに設定し、基準領域画像と異なる大きさの判定用部分画像を取得する構成としてもよい。このような構成の場合、例えば基準散乱光強度I1に、基準テンプレートT1および判定用テンプレートT3の大きさの比率を乗じて、判定用部分散乱光強度I3との差分の絶対値をRb,Rcとして算出することにより、第1,第2実施形態と同様に、検出可能性を判定できる。
そして、第1,第2実施形態において、変位量検出可能性の判定結果を表示させない構成としてもよい。また、変位量検出可能性の判定結果を、表示ではなく音声にて報知する構成としてもよい。
さらに、ワークWにレーザ光以外の光を照射して、このときの光の反射状態を本発明の光の状態として検出する。そして、この反射状態に基づいて、ワーク基準領域J1およびワーク基準以外領域J2の表面状態の差異を認識するとともに、ワークWの変位量を検出する構成としてもよい。さらに、このレーザ光以外の光を照射した構成において、例えば、ワークWの一部に着色により目印を設け、この着色部分と非着色部分における光の反射状態に基づいて、ワーク基準領域J1およびワーク基準以外領域J2の表面状態の差異を認識するとともに、ワークWの変位量を検出する構成としてもよい。
また、基準テンプレートT1、測定テンプレートT2、判定用テンプレートT3の形状としては、四角形に限らず、円形や楕円形、あるいは三角形や六角形など多角形にしてもよい。
さらに、画像処理部160,260を、演算手段、すなわちCPU(Central Processing Unit)やマイクロコンピュータなどの素子、あるいは複数の電子部品が搭載された回路基板などに設ければ、これらを取り付けるだけの簡単な構成で、ワークの相対変位量の検出可能性を測定効率の低下を招くことなく適切にかつ簡単な構成で判定可能となり、利用拡大を容易に図れる。
本発明は、光が照射されたワークの表面を撮像した変位前画像、および、前記表面の法線に略直交する方向への相対変位した前記ワークの表面を撮像した変位後画像に基づいて、ワークの相対変位量の検出可能性を判定する変位量検出可能性判定装置、その方法、および、変位検出装置に好適である。
100,200…変位検出装置
13…照明光学系
16…撮像手段としてのCCDカメラ
120…載置部
140…報知手段としての表示手段
160,260…変位量検出可能性判定装置および演算手段としての画像処理部
161…変位後画像取得手段としての撮像画像取得手段
163,263…基準領域画像取得手段としても機能する基準光状態検出手段としての基準散乱光強度検出手段
164,264…判定用領域画像取得手段としても機能する判定用光状態検出手段としての判定用散乱光強度検出手段
165,265…差異認識手段としての相関値算出手段
166,266…可能性判定手段
167…報知制御手段としての表示制御手段
168…測定光状態検出手段としての測定散乱光強度検出手段
169,269…変位検出手段
D…検出画像取得領域
J1…ワーク基準領域
J2…ワーク基準以外領域
J3…ワーク判定用部分領域
W…ワーク
13…照明光学系
16…撮像手段としてのCCDカメラ
120…載置部
140…報知手段としての表示手段
160,260…変位量検出可能性判定装置および演算手段としての画像処理部
161…変位後画像取得手段としての撮像画像取得手段
163,263…基準領域画像取得手段としても機能する基準光状態検出手段としての基準散乱光強度検出手段
164,264…判定用領域画像取得手段としても機能する判定用光状態検出手段としての判定用散乱光強度検出手段
165,265…差異認識手段としての相関値算出手段
166,266…可能性判定手段
167…報知制御手段としての表示制御手段
168…測定光状態検出手段としての測定散乱光強度検出手段
169,269…変位検出手段
D…検出画像取得領域
J1…ワーク基準領域
J2…ワーク基準以外領域
J3…ワーク判定用部分領域
W…ワーク
Claims (14)
- 光が照射されたワークの表面を撮像した変位前画像、および、前記表面の法線に略直交する方向への相対変位した前記ワークの表面を撮像した変位後画像に基づいて、前記ワークの相対変位量の検出可能性を判定する変位量検出可能性判定装置であって、
前記変位前画像の一部分を基準領域画像として取得する基準領域画像取得手段と、
この基準領域画像取得手段で取得した前記基準領域画像に基づいて、前記ワークにおける基準領域画像に対応するワーク基準領域の前記光の状態を基準光状態として検出する基準光状態検出手段と、
前記変位前画像から前記基準領域画像を含む部分を判定用領域画像として取得する判定用領域画像取得手段と、
この判定用領域画像取得手段で取得した前記判定用領域画像に基づいて、前記ワークにおける前記判定用領域画像に対応するワーク判定用領域の前記光の状態を判定用光状態として検出する判定用光状態検出手段と、
前記基準光状態検出手段で検出した前記基準光状態、および、前記判定用光状態検出手段で検出した前記判定用光状態に基づいて、前記ワーク基準領域、および、前記ワーク判定用領域のうち前記ワーク基準領域以外のワーク基準以外領域の表面状態の差異を認識する差異認識手段と、
この差異認識手段で認識した前記表面状態の差異が所定の状態以上であると判断すると、前記相対変位量を検出可能であると判定する可能性判定手段と、
を具備したことを特徴とした変位量検出可能性判定装置。 - 請求項1に記載の変位量検出可能性判定装置であって、
前記ワークの相対変位量は、前記変位前画像および前記変位後画像におけるあらかじめ設定された検出画像取得領域に含まれる変位前検出画像および変位後検出画像に基づいて検出され、
前記基準領域画像取得手段は、前記変位前画像における前記変位前検出画像に含まれる部分を前記基準領域画像として取得し、
前記判定用領域画像取得手段は、前記変位前画像における、前記ワーク基準領域が前記検出画像取得領域の周縁に沿った位置に位置する状態に前記ワークが相対変位したと仮定した際に前記変位後検出画像として設定される部分と、前記変位前検出画像と、を含む部分を前記判定用領域画像として取得する
ことを特徴とした変位量検出可能性判定装置。 - 請求項2に記載の変位量検出可能性判定装置であって、
前記検出画像取得領域は、前記変位前検出画像および前記変位後検出画像が前記変位前画像および前記変位後画像の略中央部分に位置する状態に設定され、
前記基準領域画像取得手段は、前記変位前検出画像の略中央部分を前記基準領域画像として取得する
ことを特徴とした変位量検出可能性判定装置。 - 請求項1ないし請求項3のいずれかに記載の変位量検出可能性判定装置であって、
前記判定用領域画像取得手段は、前記判定用領域画像から互いに異なる複数の判定用部分画像を取得し、
前記判定用光状態検出手段は、前記判定用光状態を検出する処理として、前記複数の判定用部分画像に基づいて、前記ワークにおける前記判定用部分画像に対応するワーク判定用部分領域のそれぞれの前記光の状態を複数の判定用部分光状態として検出する処理を実施し、
前記差異認識手段は、前記複数の判定用部分光状態ごとに前記基準光状態との比較処理を実施して、前記表面状態の差異を認識する
ことを特徴とした変位量検出可能性判定装置。 - 請求項1に記載の変位量検出可能性判定装置であって、
前記ワークの相対変位量は、前記変位前画像および前記変位後画像におけるあらかじめ設定された検出画像取得領域に含まれる変位前検出画像および変位後検出画像に基づいて検出され、
前記基準領域画像取得手段は、前記変位前画像における前記変位前検出画像に対応する部分から互いに異なる複数の前記基準領域画像を取得し、
前記基準光状態検出手段は、前記複数の基準領域画像のそれぞれに対応する前記ワーク基準領域の複数の前記基準光状態を検出し、
前記判定用領域画像取得手段は、前記判定用領域画像から互いに異なる複数の判定用部分画像を取得し、
前記判定用光状態検出手段は、前記判定用光状態を検出する処理として、前記ワークにおける前記判定用部分画像に対応するワーク判定用部分領域のそれぞれの前記光の状態を複数の判定用部分光状態として検出する処理を実施し、
前記差異認識手段は、前記複数の判定用部分光状態ごとに前記複数の基準光状態のそれぞれとの比較処理を実施して、前記表面状態の差異を認識する
ことを特徴とした変位量検出可能性判定装置。 - 請求項4または請求項5に記載の変位量検出可能性判定装置であって、
前記基準光状態検出手段は、前記基準光状態を検出する処理として、前記ワーク基準領域に前記光が照射された際の散乱光の強度を基準散乱光強度として検出する処理を実施し、
前記判定用光状態検出手段は、前記判定用部分光状態を検出する処理として、前記ワーク判定用部分領域に前記光が照射された際の散乱光の強度を判定用部分散乱光強度として検出する処理を実施し、
前記差異認識手段は、前記比較処理として、前記基準散乱光強度および前記判定用部分散乱光強度の差分の算出処理を実施する
ことを特徴とした変位量検出可能性判定装置。 - 請求項6に記載の変位量検出可能性判定装置であって、
前記可能性判定手段は、前記差異認識手段で算出した差分の絶対値の最小値および2番目に小さい値の差分が所定値以上であると判断すると、前記表面状態の差異が所定の状態以上であると判断する
ことを特徴とした変位量検出可能性判定装置。 - 請求項6に記載の変位量検出可能性判定装置であって、
前記可能性判定手段は、前記差異認識手段で算出した差分の絶対値の最小値およびこの最小値を除いた平均値の差分を、前記最小値を除いた標準偏差で除した値が所定値以上であると判断すると、前記表面状態の差異が所定の状態以上であると判断する
ことを特徴とした変位量検出可能性判定装置。 - 請求項6ないし請求項8のいずれかに記載の変位量検出可能性判定装置であって、
前記判定用領域画像取得手段は、前記基準領域画像と等しい大きさの前記判定用部分画像を取得する
ことを特徴とした変位量検出可能性判定装置。 - 請求項1ないし請求項9のいずれかに記載の変位量検出可能性判定装置であって、
前記可能性判定手段での判定結果に関する判定結果情報を報知手段で報知させる報知制御手段を具備した
ことを特徴とした変位量検出可能性判定装置。 - 請求項1ないし請求項10のいずれかに記載の変位量検出可能性判定装置であって、
前記ワークに照射される光は、レーザ光であり、
前記変位前画像および前記変位後画像は、前記ワークの表面に前記レーザ光が照射された際の散乱光により生成されるスペックルの画像である
ことを特徴とした変位量検出可能性判定装置。 - ワークが載置される載置部と、
この載置部に載置された前記ワークの表面に光を照射する照明光学系と、
前記ワークの表面を撮像する撮像手段と、
前記照明光学系からの光が照射された前記ワークの表面を撮像した変位前画像、および、前記表面の法線に略直交する方向への相対変位した前記ワークの表面を撮像した変位後画像に基づいて、前記ワークの相対変位量の検出可能性を判定する請求項1ないし請求項11のいずれかに記載の変位量検出可能性判定装置と、
この変位量検出可能性判定装置の前記可能性判定手段で前記相対変位量を検出可能であると判定されると、前記撮像手段にて撮像された前記変位後画像を取得する変位後画像取得手段と、
この変位後画像取得手段で取得した前記変位後画像に基づいて、前記ワークにおける前記変位後画像に対応する領域の前記光の状態を測定光状態として検出する測定光状態検出手段と、
前記基準光状態検出手段で検出した前記基準光状態、および、前記測定光状態検出手段で検出した前記測定光状態に基づいて、前記ワークの相対変位量を検出する変位検出手段と、
を具備したことを特徴とした変位検出装置。 - 請求項12に記載の変位検出装置であって、
前記基準領域画像取得手段は、前記可能性判定手段で前記相対変位量を検出不可能と判定された場合、直前に取得した前記基準領域画像よりも大きい基準領域画像を新たに取得し、
前記基準光状態検出手段は、前記新たに取得された基準領域画像に基づいて前記基準光状態を新たに検出し、
前記変位検出手段は、前記基準光状態検出手段で新たに検出された前記基準光状態、および、前記測定光状態に基づいて、前記ワークの相対変位量を検出する
ことを特徴とした変位検出装置。 - 演算手段により、光が照射されたワークの表面を撮像した変位前画像、および、前記表面の法線に略直交する方向への相対変位した前記ワークの表面を撮像した変位後画像に基づいて、前記ワークの相対変位量の検出可能性を判定する変位量検出可能性判定方法であって、
前記演算手段は、
前記変位前画像の一部分を基準領域画像として取得し、
この取得した前記基準領域画像に基づいて、前記ワークにおける基準領域画像に対応するワーク基準領域の前記光の状態を基準光状態として検出し、
前記変位前画像から前記基準領域画像を含む部分を判定用領域画像として取得し、
この取得した前記判定用領域画像に基づいて、前記ワークにおける前記判定用領域画像に対応するワーク判定用領域の前記光の状態を判定用光状態として検出し、
前記検出した前記基準光状態、および、前記検出した前記判定用光状態に基づいて、前記ワーク基準領域、および、前記ワーク判定用領域のうち前記ワーク基準領域以外のワーク基準以外領域の表面状態の差異を認識し、
この認識した前記表面状態の差異が所定の状態以上であると判断すると、前記相対変位量を検出可能であると判定する
ことを特徴とする変位量検出可能性判定方法。
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