JP2008052469A - 画像補正装置、画像検査装置、及び画像補正方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】検査基準画像に対して複数の周波数領域に分割して複数の周波数分割画像を作成する画像分割部と、少なくとも1つの周波数分割画像内の離間した複数箇所に基準点を設け、各基準点を基準に周波数分割画像に重みを付与して、基準点の個数分の分解画像を生成する分解画像生成部と、被検査画像、基準点の個数分の分解画像、及び分解画像を生成しない周波数分割画像の2次元線形予測モデルを用いてモデルパラメータを同定するモデルパラメータ同定部と、同定されたパラメータを用いてモデル画像を生成するモデル画像生成部と、を備える、画像補正装置、画像検査装置、及び画像補正方法。
【選択図】 図1
Description
Die比較)と、ダイとデータベースとの比較(Die to Database比較)がある。ダイとダイとの比較(DD比較)は、レチクル上の2つのダイを比較して欠陥を検出する方法であり、ダイとデータベース比較(DB比較)は、ダイとLSI設計用CADデータから発生させたデータベースを比較して欠陥を検出する方法である。
図1は、画像検査装置10と画像補正装置11のブロック図を示している。画像検査装置10は、画像補正装置11を利用して、モデル画像を生成し、そのモデル画像と被検査画像14とを比較処理して、画像の欠陥、不具合を検出するものである。画像補正装置11は、検査基準画像12を複数の空間周波数領域の画像に分割し、複数の周波数分割画像を作成する。図1の例は、検査基準画像12について複数の周波数分割画像を作成する。画像補正装置11は、検査基準画像12の周波数分割画像の1つについて、複数の基準点に対して複数の分解画像を作成する。画像補正装置11は、これらの複数の分解画像と残りの周波数分割画像について2次元線形予測モデルを用いて、画像の画素位置ズレや伸縮ノイズ、センシングノイズを吸収(フィッティング)したモデルパラメータを求める。画像補正装置11は、このモデルパラメータによってモデル画像を生成し、画像を補正する。画像検査装置10は、このモデル画像と被検査画像14とを比較処理し、被検査画像14の欠陥を検出するものである。なお、検査基準画像12と被検査画像14の比較は、ダイとダイとの比較、又はダイとデータベースによって行う。2つの比較対象画像の一方を検査基準画像12とし、他方を被検査画像14とし、どちらを基準画像とするかは、任意に決めてよい。
画像分割部60は、画像を複数の空間周波数領域に分割し、複数の周波数分割画像を作成するものである。画像を分割する方法は、サブバンド符号化や離散ウェーブレット変換などの方法が知られており、例えばサブバンド符号化は、画像を低周波から高周波の複数のフィルタにより複数の帯域に分割するものである。ウェーブレット変換は、画像の低周波成分を次々に分解して画像を分割するものである。
分解画像生成部61は、画像に複数の基準点を設け、各基準点を中心に重み付けを付与して、画像を基準点の個数分の画像に分解するものである。画像のひずみ等、離間した画像の大きな変動を補正の対象とするものであり、画像内の離間した画素位置に基準点を設ける。基準点は、画像の変動の差異が大きい周辺部が好ましい。画像に複数の基準点を設け、各基準点を中心に重み付けする方法は、種々の方法があり、例えば以下に示す線形補間の方法がよく知られている(例:コンピュータ画像処理、田村秀行著、オーム社、pp.126−127、2002年)。
モデルパラメータ同定部62は、モデル画像を生成するためにモデルパラメータを求めるものである。モデル画像が、目的とする補正画像である。モデル画像は、補正対象画像の1画素未満の画素位置ズレや伸縮・うねりノイズ、リサイズ処理、センシングノイズの低減、画像全体のひずみの補正、高周波成分の補正などを実現でき、4隅線形重み付けの分割なし方式の汎用性を持ちながら、更に高周波成分を補正できる。モデルパラメータ同定部62は、連立方程式生成部620と連立方程式解法部622などを備えている。
連立方程式生成部620は、図5に示すように、分解画像生成部61で生成した基準点の個数の分解画像(a)〜(d)、画像分割部60で作成した高周波分割画像122の画像を2次元入力データとし、被検査画像14を2次元出力データと見なして2次元線形予測モデル(2次元入出力線形予測モデル)を設定する。なお、入力データと出力データは、各画素の諧調や輝度とする。図5は、5×5画素の領域を用いた5×5×5の2次元線形予測モデルを説明するためのものである。このモデルで用いるサフィックス(5×5の画素の位置に対応)を表1に示す。なお、5×5画素を利用しているが、画素数は、これより多くても、又は、少なくても良い。
連立方程式解法部622は、式(2)の連立方程式を解き、モデルパラメータを求めるものである。検査基準画像12の4個の分解画像(a)〜(d)と1個の高周波分割画像122と被検査画像14の座標i,jを走査して125組のデータを連立させれば、モデルパラメータを同定できることになる。実際には統計的観点から、n(>125)組のデータを用意して、最小2乗法に基づいて125次元の連立方程式を解き、モデルパラメータを求める。これらの方程式の解法としては、最小2乗法の他に最尤推定法などがあり、どのような方法を使用しても良い。
モデル画像生成部64は、同定されたモデルパラメータと、同定に用いた入力画像データを式(2)に代入し、画素の座標i,jを走査するシミュレーション演算を行うことによって、モデル画像を生成する。このモデル画像は、最小2乗法に基づくフィッティングによって、1画素未満の画素位置ズレや伸縮・うねりノイズ、リサイズ処理、センシングノイズの低減、画像全体のひずみの補正、高周波成分の補正などを実現でき、4隅線形重み付けの分割なし方式の汎用性を持ちながら、更に高周波成分を補正できる。このモデル画像は、アライメントと画像補正を統合化した、画像劣化が少なく、設定パラメータも少ない。このモデル画像を用いることにより、効果的な画像補正を得ることができる。ここで、モデルパラメータを求めるためのデータには当然、欠陥画素が含まれることになるが、同定に用いた全データ数に比べてごく少数であるため、最小2乗法ではフィッティングされず、モデル画像には欠陥画素は、現れない。しかも、モデル画像は、周囲のS/N比が向上しているので、欠陥画素が強調される効果もある。このように、4隅線形重み付けに周波数分割の手法を併用することにより、画素値の線形補間だけではフィッティングできないような周波数成分の画像ひずみ補正をすることができる。
比較処理部66は、図2に示しように、各周波数分割画像について、被検査画像14とモデル画像を比較アルゴリズムにより比較して、欠陥を見つけることができる。このように、周波数分割画像と分解画像を利用することにより、周波数特性に関係する欠陥が見出しやすくなる。比較アルゴリズムは、モデル画像と被検査画像それぞれを、例えば、よく知られた3×3画素の特徴フィルタ(平均値フィルタ、縦エッジ抽出フィルタ、横エッジ抽出フィルタ、斜めエッジ抽出フィルタ、ラプラシアンフィルタ、メディアンフィルタなど)にかけ、それらの差画像を比較することによって、様々な形の画像の欠陥部分を見出すことができる。
図5は、検査基準画像12と被検査画像14を利用して、モデル画像を生成し、モデル画像を用いて被検査画像14の欠陥を検査する方法を示している。先ず、検査基準画像12と被検査画像14について、サブバンド符号化や離散ウェーブレット変換などの手法により各周波数領域の画像に分割して周波数分割画像を作成する(画像分割ステップS1)。次に、分解画像生成部61により、基準点の個数分の分解画像を生成する(分解画像生成ステップS2)。次に、図5、表1、式2を利用してモデルパラメータを同定する(モデルパラメータ同定ステップS3)。モデルパラメータ同定ステップS2は、連立方程式を生成するステップ(連立方程式生成ステップS31)と、生成された連立方程式を解法するステップ(連立方程式解法ステップS32)を有している。連立方程式生成ステップS31は、モデルパラメータを含む連立方程式を生成する。連立方程式解法ステップS32は、連立方程式を解いて、モデルパラメータを求める。求めたモデルパラメータを用いて、モデル画像(補正画像)を生成する(モデル画像生成ステップS4)。以上述べたように、本実施の形態によれば、アライメントと画像補正を統合化した、画像劣化が少なく、設定モデルパラメータも少ない、効果的な画像補正方法を提供することができる。画像検査方法は、このようにして生成されたモデル画像と被検査画像14を比較アルゴリズムにより比較処理して、画像の欠陥部分を見出す(比較処理ステップS5)。
画像検査のプログラムを記載した記録媒体は、画像検査方法のプログラムを記録した媒体であり、図8のステップを有するプログラムを記憶している。コンピュータでこのプログラムを実行することにより、コンピュータが本発明の画像検査装置10の構成要件となり、又は、本発明の画像検査方法を実行することができる。
図6は、画像検査装置10の詳細な構成例を示している。画像検査装置10は、被検査試料30からの反射光または透過光を検出して画像を取得する光学画像取得部20、画像データなどのデータを記憶し、処理するデータ処理部50などを備えている。
レチクルなど被検査試料30に描かれた光学画像の取得は、ラインセンサで走査することによって行うことができる。ここでは、便宜上、図7に示すX軸方向(レチクル2の一辺の方向)に細長く切った短冊の画像(2048画素幅)300を1ストライプと呼び、1ストライプをさらにY軸方向(X軸方向に垂直な方向)に細かく切った正方形の画像302を1サブストライプと呼ぶ。1サブストライプは、例えば、2048×2048画素とし、欠陥の有無の検査は、1サブストライプ毎に行うことにする。なお、1画素は256階調のグレースケールとする。
11・・・画像補正装置
12・・・検査基準画像
120・・低周波分割画像
122・・高周波分割画像
14・・・被検査画像
20・・・光学画像取得部
22・・・オートローダ
24・・・光源
26・・・照射部
28・・・レーザ測長システム
30・・・被検査試料(レチクル)
300・・ストライプ
302・・サブストライプ
32・・・XYθテーブル
34・・・XYθモータ
36・・・拡大光学系
38・・・フォトダイオード
40・・・センサ回路
50・・・データ処理部
52・・・中央演算処理部(CPU)
54・・・オートローダ制御部
56・・・テーブル制御部
58・・・参照画像作成部
60・・・画像分割部
61・・・分解画像生成部
62・・・モデルパラメータ同定部
620・・連立方程式生成部
622・・連立方程式解法部
64・・・モデル画像生成部
66・・・比較処理部
68・・・バッファメモリ
70・・・位置測定部
72・・・外部記憶装置
74・・・主記憶装置
76・・・プリンタ
78・・・CRT
80・・・バス
Claims (5)
- 検査基準画像と被検査画像からモデル画像を生成する画像補正装置において、
検査基準画像に対して複数の周波数領域に分割して複数の周波数分割画像を作成する画像分割部と、
少なくとも1つの周波数分割画像内の離間した複数箇所に基準点を設け、各基準点を基準に周波数分割画像に重みを付与して、基準点の個数分の分解画像を生成する分解画像生成部と、
被検査画像、基準点の個数分の分解画像、及び分解画像を生成しない周波数分割画像の2次元線形予測モデルを用いてモデルパラメータを同定するモデルパラメータ同定部と、
同定されたパラメータを用いてモデル画像を生成するモデル画像生成部と、を備える、画像補正装置。 - 請求項1に記載の画像補正装置において、
モデルパラメータ同定部は、被検査画像の各1画素を出力とし、基準点の個数分の分解画像及び分解画像を生成しない周波数分割画像について該各1画素の周囲の画素群の線形結合を入力とした2次元線形予測モデルを用いた入出力関係を記述する連立方程式からモデルパラメータを同定する、画像補正装置。 - 請求項1に記載の画像補正装置において、
画像分割部は、検査基準画像に対して高周波数領域と低周波数領域に分割して2つの周波数分割画像を作成し、
分解画像生成部は、低周波数領域の周波数分割画像の各頂点に基準点を設け、各基準点を基準に周波数分割画像に線形重み付けをして、基準点の個数分の分解画像を生成し、
モデルパラメータ同定部は、被検査画像の各1画素を出力とし、基準点の個数分の分解画像及び分解画像を生成しない基準周波数分割画像について該各1画素の周囲の画素群の線形結合を入力とした2次元線形予測モデルを用いた入出力関係を記述する連立方程式からモデルパラメータを同定する、画像補正装置。 - 検査基準画像と被検査画像を比較検査する画像検査装置において、
検査基準画像に対して複数の周波数領域に分割して複数の周波数分割画像を作成する画像分割部と、
少なくとも1つの周波数分割画像内の離間した複数箇所に基準点を設け、各基準点を基準に周波数分割画像に重みを付与して、基準点の個数分の分解画像を生成する分解画像生成部と、
被検査画像、基準点の個数分の分解画像、及び分解画像を生成しない周波数分割画像の2次元線形予測モデルを用いてモデルパラメータを同定するモデルパラメータ同定部と、
同定されたパラメータからモデル画像を生成するモデル画像生成部と、
モデル画像と被検査画像とを比較検査する比較処理部と、を備える、画像検査装置。 - 検査基準画像と被検査画像からモデル画像を生成する画像補正方法において、
検査基準画像に対して複数の周波数領域に分割して複数の周波数分割画像を作成する画像分割ステップと、
少なくとも1つの周波数分割画像内の離間した複数箇所に基準点を設け、各基準点を基準に周波数分割画像に重みを付与して、基準点の個数分の分解画像を生成する分解画像生成ステップと、
被検査パターン画像の各1画素を出力とし、基準点の個数分の分解画像、及び分解画像を生成しない周波数分割画像について該各1画素の周囲の画素群の線形結合を入力とした2次元線形予測モデルを用いた入出力関係を記述する連立方程式を生成する連立方程式生成ステップと、
該連立方程式を用いて2次元線形予測モデルのパラメータを生成する連立方程式解法ステップと、
推定されたパラメータを用いてモデル画像を生成するモデル画像生成ステップと、を備える、画像補正方法。
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Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4203498B2 (ja) | 2005-09-22 | 2009-01-07 | アドバンスド・マスク・インスペクション・テクノロジー株式会社 | 画像補正装置、パターン検査装置、画像補正方法、及び、パターン欠陥検査方法 |
US8380003B2 (en) * | 2007-11-07 | 2013-02-19 | The Board of Trustees of the Lenard Stanford Junior University | Image reconstruction with incomplete fourier-space magnitude data combined with real-space information |
JP5525739B2 (ja) * | 2008-09-16 | 2014-06-18 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | パターン検査装置及びパターン検査方法 |
US8363922B2 (en) * | 2009-02-12 | 2013-01-29 | International Business Machines Corporation | IC layout pattern matching and classification system and method |
AU2009251147B2 (en) * | 2009-12-23 | 2012-09-06 | Canon Kabushiki Kaisha | Dynamic printer modelling for output checking |
JP2011163766A (ja) * | 2010-02-04 | 2011-08-25 | Omron Corp | 画像処理方法および画像処理システム |
EP3211887B1 (en) * | 2014-11-13 | 2020-07-01 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Method and device for generating metadata including frequency characteristic information of image |
US9952039B2 (en) | 2015-06-26 | 2018-04-24 | Glasstech, Inc. | System and method for measuring reflected optical distortion in contoured panels having specular surfaces |
US9952037B2 (en) | 2015-06-26 | 2018-04-24 | Glasstech, Inc. | System and method for developing three-dimensional surface information corresponding to a contoured sheet |
US9851200B2 (en) | 2015-06-26 | 2017-12-26 | Glasstech, Inc. | Non-contact gaging system and method for contoured panels having specular surfaces |
US9841276B2 (en) * | 2015-06-26 | 2017-12-12 | Glasstech, Inc. | System and method for developing three-dimensional surface information corresponding to a contoured glass sheet |
US9470641B1 (en) | 2015-06-26 | 2016-10-18 | Glasstech, Inc. | System and method for measuring reflected optical distortion in contoured glass sheets |
US9933251B2 (en) | 2015-06-26 | 2018-04-03 | Glasstech, Inc. | Non-contact gaging system and method for contoured glass sheets |
US10522376B2 (en) * | 2017-10-20 | 2019-12-31 | Kla-Tencor Corporation | Multi-step image alignment method for large offset die-die inspection |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3849817B2 (ja) | 1996-11-21 | 2006-11-22 | ソニー株式会社 | 画像処理装置および画像処理方法 |
JPH1096613A (ja) | 1997-08-04 | 1998-04-14 | Hitachi Ltd | 欠陥検出方法及びその装置 |
JP2000105832A (ja) | 1998-09-29 | 2000-04-11 | Toshiba Corp | パターン検査装置、パターン検査方法およびパターン検査プログラムを格納した記録媒体 |
JP2000241136A (ja) | 1999-02-22 | 2000-09-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | パターン検査方法とパターン検査装置 |
JP2000348177A (ja) | 1999-06-09 | 2000-12-15 | Nec Corp | 欠陥検出装置及びその欠陥検出方法並びにその制御プログラムを記録した記録媒体 |
JP3672884B2 (ja) | 2002-03-27 | 2005-07-20 | 株式会社東芝 | パターン検査方法、パターン検査装置およびマスクの製造方法 |
JP4533689B2 (ja) | 2004-07-15 | 2010-09-01 | 株式会社東芝 | パターン検査方法 |
JP4174487B2 (ja) | 2005-03-24 | 2008-10-29 | アドバンスド・マスク・インスペクション・テクノロジー株式会社 | 画像補正方法 |
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