JP2008034484A - 基板間配線パターンの接続方法及び接続構造 - Google Patents
基板間配線パターンの接続方法及び接続構造 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】表面に導電部となる金属膜を形成した第1の基板11に対し、電極パターン12を形成する金属膜の箇所にレーザ光によって熱エネルギーを照射しその金属膜を溶かして膜表面に盛り上がったバンプ15を形成する。続いて、第1の基板の電極パターンに対し、間に異方導電性接着フィルム31を介在させて第2の基板21の電極パターン22を対向配置させる。この状態で第2の基板の背面から加圧及び加熱して第2の基板の電極パターンを第1の基板の電極パターンのバンプに押圧し、異方導電性接着フィルムを第1の基板と第2の基板との隙間において熱硬化させることで第1の基板の電極パターンと第2の基板の電極パターンを接続する。
【選択図】 図4
Description
(第1の実施の形態)
図1は第1の基板11を示し、この第1の基板11には、配線パターンとして、ピッチP0の間隔で、幅がP10で一定の複数の電極パターン12が形成されている。
図2は第2の基板21を示し、この第2の基板21には、ピッチP0の間隔で、幅がP20(>P10)で一定の複数の電極パターン22が形成されている。
なお、前述した実施の形態と同一の部分には同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。
図6に示すように、第1の基板11の上にバンプ15を形成した電極パターン122を形成している。前記電極パターン122の幅は、これに接続する第2の基板21の電極パターン22の幅P20と略等しいか、大きく形成されている。
なお、前述した実施の形態と同一の部分には同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。
図7及び図8に示すように、第1の基板11として、幅が一定の複数の電極パターン123をレーザ加工によって形成するとともに各電極パターン123の中央にレーザ加工によってスポット状の孔16を形成する。これにより、孔16の周囲にバンプ17を形成する。なお、図8は図7におけるA−A断面図である。
Claims (10)
- 表面に導電部となる金属膜を形成した第1の基板に対し、配線パターンを形成する金属膜の箇所に熱エネルギーを照射しその金属膜を溶かして膜表面に盛り上がったバンプを同時に形成し、
続いて、前記第1の基板の前記配線パターンに対し、間に熱硬化型樹脂接着剤を介在させて、表面に配線パターンを形成した第2の基板の前記配線パターンを対向配置させ、
この状態で加圧及び加熱して前記第2の基板の配線パターンを前記第1の基板の配線パターンのバンプに押圧し、前記熱硬化型樹脂接着剤を前記第1の基板と第2の基板との隙間において熱硬化させることで前記第1の基板の配線パターンと第2の基板の配線パターンを接続することを特徴とする基板間配線パターンの接続方法。 - 熱エネルギーは、レーザ光であることを特徴とする請求項1記載の基板間配線パターンの接続方法。
- 前記第2の基板の配線パターンの幅が前記第1の基板の配線パターンの幅に比べて大きく、前記第2の基板の配線パターンと前記第1の基板の配線パターンを幅方向の中央合わせで接続することを特徴とする基板間配線パターンの接続方法。
- 前記第2の基板の配線パターンの幅方向の中央部が前記第1の基板の配線パターンの幅方向の縁部に位置するように位置をずらして押圧することを特徴とする請求項1記載の基板間配線パターンの接続方法。
- 熱硬化型樹脂接着剤としてフィルム状の熱硬化型樹脂接着剤を使用したことを特徴とする請求項1又は2記載の基板間配線パターンの接続方法。
- フィルム状の熱硬化型樹脂接着剤は、異方導電性接着フィルムであることを特徴とする請求項5記載の基板間配線パターンの接続方法。
- 熱硬化型樹脂接着剤としてペースト状の熱硬化型樹脂接着剤を使用したことを特徴とする請求項1又は2記載の基板間配線パターンの接続方法。
- ペースト状の熱硬化型樹脂接着剤は、導電粒子を含むことを特徴とする請求項7記載の基板間配線パターンの接続方法。
- 配線パターンを形成する金属膜に、その金属膜を溶かして膜表面に盛り上がったバンプを同時に形成した第1の基板と、
表面に形成した配線パターンを前記第1の基板の配線パターンのバンプに押圧接続した第2の基板と、
前記第1の基板と第2の基板との隙間において熱硬化された熱硬化型樹脂接着剤とからなることを特徴とする基板間配線パターンの接続構造。 - 第1の基板は、バンプを配線パターンの中央部に形成したことを特徴とする請求項9記載の基板間配線パターンの接続構造。
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