JP2008028144A - 窒化ガリウム系半導体発光素子の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】発光素子の共振器長手方向に高転位/低転位領域5をストライプ状に設けた基板61から、高転位/低転位領域5上に共振器長手方向に沿って定めたチップ分割線上を全長にわたり同一加工条件で複数回スクライブ加工後、チップ状に分割する。
【選択図】図3
Description
実施の形態1を図に基づいて説明する。
図1は実施の形態1による窒化ガリウム系半導体発光素子(以後、GaN系発光素子と称す)50が、エリア基板60上に縦、横列に複数個配置された模式図である。このエリア基板60は、前工程で例えば2インチ径の丸ウエハから図1に示すような方形のエリア基板60に加工されたものである。このエリア基板60上にはGaN系発光素子50の転位密度の高い領域を共振器L方向に選択成長させた高転位領域1がストライプ状に設けてある。この高転位領域1以外は低転位領域2である。低転位領域2内にはリッジ3が設けてある。PHは前記ストライプ状に設けられた高転位領域1の配置のピッチである。Lは後述するチップ状GaN系発光素子50の共振器長を示す。図1に示すエリア基板60は、一次へき開面4に沿ってへき開され、図2に示すような短冊状のバー基板61となる。
選択成長した高転位領域1は多方向に転移面を有するので割れやすい。さらに低転位領域2は図1の一次へき開面4に対し、その直角方向つまり図1では共振器長L方向にへき開性を有さないため割れにくい(へき開できない)。従って、図2のバー基板61からチップ状に分割する際、従来方法では分割性を向上させるため、分割箇所の材料特性を合せるように高転位領域1のみや低転位領域2のみにスクライブ加工を施し高転位領域1と同じ幅のチップを得ていた。
この実施の形態1のGaN系発光素子50aのチップ厚さは110um、高転位領域ピッチPHは400um、スクライブ加工ピッチp1は、図4に示すチップ分割後のチップ幅Wとほぼ同じの200umである。高転位領域1上のスクライブ加工5aと、低転位領域2上のスクライブ加工5bの加工条件は同一である。最適なスクライブ条件を見い出すために、ダイヤモンド性の先端角69°±2°を有するスクライブツールを用い、約120um厚の粘着性シート上にバー基板61を貼り付けて同一スクライブ加工線上を1〜3回スクライブ加工し、スクライブ荷重を10〜40gfまで変化させた。その結果を図5に示す。
スクライブ荷重については、2〜3回スクライブ加工について〜15gf程度まではスクライブが浅いため、チップ分割にて未分割が多発、もしくは分割しにくいチップを無理に分割しようとするため、チップ割れが多発する。20gf〜30gfでは良好にチップ分割でき、35gf〜になると、スクライブ加工することでスクライブ部にてチップ欠けが多発する。従って、2〜3回スクライブではスクライブ荷重を20gf〜30gfとすることが好ましい。
また、同一加工条件であるのでスクライブ加工装置動作を簡略化でき、またスクライブツールやスクライブ荷重設定の作業効率が向上し、タクトタイムの短縮化、コスト低減等の効果を奏する。さらに本工法は、へき開性を有していない材料であれば、これに限らずGaNに限定されるものではない。
この実施の形態2はチップ分割性をより向上させるため、スクライブ工程にてチップ全長(共振器長L方向の全長)をスクライブ加工する方法の詳細について述べる。
バー基板61をスクライブ加工する際、従来例えば赤色レーザに用いているGaAs等のスクライブ方向にへき開性のある材料は図7(a)のように発光端面側Aと反発光端面側Bの両端をスクライブ加工せず、途中から船形にスクライブツール9を入れることで端面の割れ欠けを低減させている。しかし、この発明のようなGaN等の硬い材質ではバー基板61の発光端面側Aと反発光端面側Bを残してスクライブ加工し、分割すると、非スクライブ部の剛性が高いため、チップ状に分割しにくく、未分割・もしくは割れにくいチップを無理に割ることで割れ欠けが多発していた。前述した実施の形態1は、図7(b)のようにチップ全長をスクライブ加工することで、非スクライブ部を無くし、チップの分割性を向上させているが、この実施の形態2では先の実施の形態1にさらに加えて、図7(b)に示すようにスクライブ加工方向を発光端面側Aから反発光端面側Bである他端面に向けて行うことで発光端面側Aの欠けを抑制している。欠けが抑制可能な理由は、スクライブツールをバー基板61から引き抜く端面では、スクライブツール9の荷重がツール先端に集中するためバー基板61の端面が欠けやすい。それに対し、スクライブツール9がバー基板61に当たり始める端面、つまり発光端面側Aではツール稜線がバー基板61に当るため、バー基板61に発生する欠けは少ない。つまりスクライブ加工開始側の発光端面側Aは欠けが少ない。したがって、発光端面側Aからスクライブを開始することで、発光端面の欠けを抑制することができる。
実施の形態1に示したように、高転位領域1と低転位領域2を複数回、同一加工条件でスクライブ加工した後のチップ分割行程にて高歩留りにて分割が可能である。そこでこの実施の形態3では、図8(b)のようにスクライブヘッド14を2個並列に図示省略した同一機構上に設置し、スクライブヘッド14に取り付けられた一方のスクライブツール9aが高転位領域1をスクライブ加工し、他方のツール9bが低転位領域2を同時にスクライブ加工する。なお図8(a)は側面図、図8(b)は平面図を示す。このようなスクライブツール9a、9bを複数個使用すると一度のスクライブ加工で各領域を同時にスクライブ加工でき、さらにダイヤモンドツールの種類やツール角度・スクライブ荷重をそれぞれの領域の最適加工条件に合わせることができるため、チップ割れ欠けや未分割を低減させ、分割歩留りを向上できる。
例えば、スクライブヘッド14を2個並列に並べ、それぞれを高転位領域1、高転位領域幅の半分の位置の低転位領域2をスクライブ加工するように調整する場合、高転位領域1のピッチをPH、nを自然数(ゼロ含む)としたとき、それぞれのスクライブヘッド14先端のツール9a、9bの先端の間隔をPH/2×(2n+1)とすることで、片方のツール9aが高転位領域1をスクライブ加工するとき、もう片方は低転位領域2をスクライブ加工できる。
また、上記スクライブヘッド14はそれぞれ独立してスクライブ荷重を調整ネジ13で調整可能とするとともに、チップ共振器方向・幅方向・厚さ方向に微調整できるような構成とし、微調整することでスクライブ加工開始位置をそれぞれのスクライブヘッド14で合わすことができるため、適正なスクライブ加工条件が設定可能となりその結果、分割品質が安定し分割歩留りを向上できる。さらに、スクライブ加工の1動作で2箇所スクライブ加工するため、装置タクトを向上できる。また、スクライブヘッド14を2個以上取付けることで、さらに装置タクトを向上できる。例えばスクライブヘッド14を3個取付け、ツール9先端の間隔をそれぞれPH/3×(3n+1)とすることで、高転位領域ピッチの1/3の幅でスクライブでき、高価なGaN系ウエハから多数のGaN発光素子を取り出すことができ、コスト低減がはかれる。
9,9a,9b スクライブツール、14 スクライブヘッド、
50 GaN系発光素子、50a GaN系発光素子チップ、60 エリア基板、
61 バー基板、L 共振器長。
Claims (5)
- 次のステップを備えたことを特徴とする窒化ガリウム系半導体発光素子の製造方法。
ステップ1.発光素子の共振器長手方向に、高転位領域と低転位領域がストライプ状に設けられたエリア基板から、前記共振器長手方向に直角な方向をへき開して、該へき開部を前記共振器端面とするバー基板を形成するステップ。
ステップ2.前記バー基板の前記高転位領域上と低転位領域上に、前記共振器長手方向に沿って定めたスクライブ加工線上を同一加工条件で、複数回のスクライブ加工するステップ。
ステップ3.引き続き前記スクライブ線に沿って分割してチップ状の発光素子に分割するステップ。 - 前記ステップ2におけるスクライブ加工を、前記スクライブ加工線上を全長にわたり同一加工条件で、複数回行うものとする請求項1に記載の窒化ガリウム系半導体発光素子の製造方法。
- 前記ステップ2におけるスクライブ加工を、前記スクライブ加工線上を前記共振器端面のうちの発光面端側から、他端面に到る全長にわたり同一加工条件で複数回行うものとする請求項1に記載の窒化ガリウム系半導体発光素子の製造方法。
- 前記ステップ2におけるスクライブ加工を、スクライブツールを取付けた複数のスクライブヘッドを使用して行うものとする請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載の窒化ガリウム系半導体発光素子の製造方法。
- 前記ステップ2における加工条件を、スクライブツール角度69°±2°、スクライブ荷重20gf〜30gfとする請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載の窒化ガリウム系半導体発光素子の製造方法。
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