JP2008028069A - 外部接合電極付き基板およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 セラミック又はフェライトからなる基材1と、該基材に形成した外部接続電極部3と、該外部接続電極部の表面上に形成したニッケルあるいはニッケル合金を主体とする金属膜よりなる下地層5と、該下地層の表面上に形成したパラジウムあるいはパラジウム合金よりなる中間層6と、該中間層の表面上に形成した金あるいは金合金よりなる表面被覆層7とを備えてなる外部接合電極付き基板。
【選択図】図1
Description
該下地層の表面上に還元型パラジウムめっきによりパラジウムあるいはパラジウム合金よりなる中間層と形成し、
該中間層の表面上に置換型金めっきにより金あるいは金合金を主体とする表面被覆層を形成することを特徴とする外部接合電極付き基板の製造方法である。
還元型めっき液および置換型めっき液は市販されているめっき液を使用することができ、限定されるものではない。また、めっき条件は各市販めっき液の取扱い条件に準じることができる。
前記フェライト基材を40℃に加温した脱脂液(商品名:Z-200、ワールドメタル社製)に1分間浸漬した。そして3段水洗槽を用いた洗浄後、10%硫酸水溶液に室温で1分浸漬した。そして3段水洗槽で洗浄後、外部接続電極部3表面の活性化のために、活性化液(商品名:PB-300、荏原ユージライト社製)に室温で1分間浸漬した。そして3段水洗槽で洗浄した。
前記前処理を施したフェライト基材を、無電解ニッケル−リンめっき液(商品名:エニパックLV、荏原ユージライト社製)に90℃で浸漬し、約2μmのニッケル−リン皮膜を形成した。そして3段水洗槽で洗浄後、還元型無電解パラジウムめっき液(商品名:パレットII、小島化学薬品社製)に70℃で浸漬し、約0.05μmのパラジウム皮膜を形成した。直ちに3段水洗槽で洗浄後、置換型無電解金めっき液(商品名:NCゴールドMP、小島化学薬品社製)に75℃で浸漬し、約0.03μmの金皮膜を形成した。最表面層が置換型金めっき膜であるにも拘わらずニッケルの金めっき表面層への偏析は認められなかった。また、何れの界面においても界面腐食は認められなかった。そして温風乾燥後、金ワイヤボンディング評価およびはんだボールシェア試験をおこなった。金ワイヤボンディング装置は、新川社製(UTC-100)を使用し、φ27μm金線11を用いてステージ温度170℃で超音波振動によりボンディングした。またボンディング後の引張り試験機はレスカ社製(PRT-1000)を使用し、引張り速度0.5mm/secで測定した(図2参照)。一方ボールシェア試験は、電極10に対応する位置に共晶はんだボール12を搭載後225℃でリフローし接続した。そしてボンドテスタ13にてはんだボール12の端部に接合面と平行にせん断応力を印加して破断し、はんだボール破断部分を実体顕微鏡にて観察して破断モードを確認した(図3参照)。
実施例1と同様のフェライト基材1を用いて、実施例1と同様の手順で外部接続電極部3の表面にニッケル−リン皮膜を約8μm、パラジウム皮膜を約1.0μmそして金皮膜を約0.1μm形成した。ニッケルの金めっき表面層への偏析は認められなかった。また、何れの界面においても界面腐食は認められなかった。そして実施例1と同様の手順で金ワイヤボンディング試験およびボールシェア試験を実施した。
実施例1と同様のフェライト基材1を用いて、実施例1と同様の手順で外部接続電極部3の表面にニッケル−リン皮膜を約15μm、パラジウム皮膜を約0.4μmそして金皮膜を約0.2μm形成した。ニッケルの金めっき表面層への偏析は認められなかった。また、何れの界面においても界面腐食は認められなかった。そして実施例1と同様の手順で金ワイヤボンディング試験およびボールシェア試験を実施した。
前記前処理を施したフェライト基材1を、無電解ニッケル−リンめっき液(商品名:エニパックLV、荏原ユージライト社製)に90℃で浸漬し、約2μmの皮膜を形成した。そして3段水洗槽で洗浄後、置換型無電解金めっき液(商品名:スーパーメックス#250、エヌ・イー・ケムキャット社製)に70℃で浸漬し、約0.03μmの皮膜を形成した。局部電池反応によるニッケルの金めっき表面層への偏析が認められた。金めっきを行っている間にニッケル溶出によるニッケル膜と金膜との界面腐食が進行した。そして温風乾燥後金ワイヤボンディング評価およびはんだボールシェア試験をおこなった。金ワイヤボンディング装置は、新川社製(UTC-100)を使用し、27μm金線を用いてステージ温度170℃でボンディングした。またボンディング後の引張り試験機はレスカ社製(PRT-1000)を使用し、引張り速度0.5mm/secで測定した。一方ボールシェア試験は、電極10に対応する位置に共晶はんだボールを搭載後225℃でリフローし接続した。そしてボンドテスタにて破断し、はんだボール破壊部分を実体顕微鏡にて観察して破断モードを確認した。
比較例1と同様のフェライト基材1を用いて、実施例1と同様の手順で外部接続電極部3の表面にニッケル−リン皮膜を約8μm形成した。そして3段水洗槽で洗浄後、置換型無電解金めっき液(商品名:スーパーメックス#250、エヌ・イー・ケムキャット社製)に70℃で浸漬し、約0.03μmの皮膜を形成した。続いて3段水洗槽で洗浄後、還元型無電解金めっき液(商品名:スーパーメックス#850、エヌ・イー・ケムキャット社製)に70℃で浸漬し、約0.1μmの皮膜を形成した。局部電池反応によるニッケルの金めっき表面層への偏析が認められた。厚付け金めっきを行っている間にニッケル溶出によるニッケル膜と金膜との界面腐食が進行した。そして実施例1と同様の手順で金ワイヤボンディング試験およびボールシェア試験を実施した。
比較例1と同様のフェライト基材を用いて、実施例1と同様の手順で外部接続電極部3の表面にニッケル−リン皮膜を約8μm形成した。そして3段水洗槽で洗浄後、置換型無電解金めっき液(商品名:スーパーメックス#250、エヌ・イー・ケムキャット社製)に70℃で浸漬し、約0.03μmの皮膜を形成した。続いて3段水洗槽で洗浄後、還元型無電解金めっき液(商品名:スーパーメックス#850、エヌ・イー・ケムキャット社製)に70℃で浸漬し、約0.2μmの皮膜を形成した。厚付け金めっきを行っている間にニッケル溶出によるニッケル膜と金膜との界面腐食が進行した。還元型無電解金めっきにより金皮膜をより厚くしたものの0.2μmと不充分な厚さであったためニッケルの拡散経路が完全には遮断されずにニッケルの金めっき表面層への偏析が若干認められた。そして実施例1と同様の手順で金ワイヤボンディング試験およびボールシェア試験を実施した。
この表1から明らかなように、表面被覆層の金膜厚が同じでも本発明の基板の電極10における金ワイヤボンディング強度の方が従来技術よりも優れていることがわかった。実施例では金めっき表面層へのニッケルの偏析が認められないため表面の金めっき膜と金ワイヤとの濡れ性が良く十分に高いボンディング強度を得ることができた。実施例では引張り試験により金ワイヤが破断し、金ワイヤと電極10との接合面が剥がれることはなかった。比較例では金めっき表面層へのニッケルの偏析が認められたため表面の金めっき膜と金ワイヤとの濡れ性が悪く十分に高いボンディング強度を得ることはできない。比較例では引張り試験により金ワイヤと電極10との接合面が剥がれた。
この表1から明らかなように、本発明の基板の電極10におけるはんだ接続性は界面破断を生じることなくはんだ内で破断することから信頼性に優れていることが確認された。図3に示すようにはんだ12内の破断位置14はせん断応力の印加位置に近いところである。比較例ではニッケル膜と金皮膜との界面腐食のためニッケル/はんだ間で破断し、はんだ接続信頼性は実施例より劣ることが確認された。なお、表面の金皮膜ははんだ濡れ性を確保した後はAu-Sn合金となってはんだ中に拡散し、パラジウム皮膜はPd-Sn合金となってはんだ中に拡散するためはんだ接合後は何れの皮膜も膜の形態を保たない。はんだはニッケル−リン皮膜との間でNi-Sn合金を形成するが当該合金は融点温度が高いためはんだ中に拡散しにくい。実施例では何れも十分な厚さのニッケル−リン皮膜としたためNi-Sn合金を形成してもなお電極10との間にニッケル−リン皮膜が残っていた。そのためはんだ喰われを防止することができた。
2:内部配線
3:外部接続電極部
4:絶縁層
5:下地層
6:中間層
7:表面被覆層
10:電極
11:金線
12:ハンダボール
13:ボンドテスタ
14:破断位置
Claims (7)
- セラミック又はフェライトからなる基材と、該基材に形成した外部接続電極部と、該外部接続電極部の表面上に形成したニッケルあるいはニッケル合金を主体とする金属膜よりなる下地層と、該下地層の表面上に形成したパラジウムあるいはパラジウム合金よりなる中間層と、該中間層の表面上に形成した金あるいは金合金よりなる表面被覆層とを備えてなることを特徴とする外部接合電極付き基板。
- 請求項1において、前記外部接続電極部は銀あるいは銀合金であることを特徴とする外部接合電極付き基板。
- 請求項1において、前記下地層が2〜15μmであることを特徴とする外部接合電極付き基板。
- 請求項1において、前記中間層が0.05〜1.0μmであることを特徴とする外部接合電極付き基板。
- 請求項1において、前記表面被覆層が0.03〜0.2μmであることを特徴とする外部接合電極付き基板。
- セラミック又はフェライトからなる基材に形成した外部接続電極部の表面上にニッケルあるいはニッケル合金を主体とする金属膜よりなる下地層を形成し、
該下地層の表面上に還元型パラジウムめっきによりパラジウムあるいはパラジウム合金よりなる中間層と形成し、
該中間層の表面上に置換型金めっきにより金あるいは金合金を主体とする表面被覆層を形成することを特徴とする外部接合電極付き基板の製造方法。 - 請求項6において、前記下地層、前記中間層および前記表面被覆層を無電解めっき法により形成することを特徴とする外部接合電極付き基板の製造方法。
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JP2006197825A JP2008028069A (ja) | 2006-07-20 | 2006-07-20 | 外部接合電極付き基板およびその製造方法 |
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- 2006-07-20 JP JP2006197825A patent/JP2008028069A/ja active Pending
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