JP2008028016A5 - - Google Patents

Claims (14)

1. 半導体ウエハを載せて保持するための複数のウエハ載置トレイが重ね合わされて、上記ウエハ載置トレイに載せられた半導体ウエハがそのウエハ載置トレイとその上側に隣接して重ね合わされたウエハ載置トレイとの間に形成される内側空間内に収納された状態になる構成を有し、
   上記ウエハ載置トレイ上面の半導体ウエハ載置位置に弾力性のあるウエハ載置クッションシートが配置され、そのウエハ載置クッションシートは、弾力的なクッションとして機能する上側のクッション機能層と、上記ウエハ載置トレイの上面に対して着脱自在に吸着される着脱自在吸着面を有する下側の吸着機能層とを積層一体化して形成され、
   その着脱自在吸着面は多数の微細吸盤により形成されていて、その微細吸盤を上記ウエハ載置トレイの上面に押し付けることにより、その微細吸盤と上記ウエハ載置トレイの上面とが吸着固定された状態になることを特徴とするクッションシート付ウエハ収納容器。
2. 上記ウエハ載置クッションシートは上記半導体ウエハの略全面を載せられる大きさに形成されていて、そのウエハ載置クッションシートの裏面側の一部又は全面に上記着脱自在吸着面が形成されている請求項１記載のクッションシート付ウエハ収納容器。
3. 上記複数のウエハ載置トレイを互いに重ね合わされた状態で任意の重ね合わせ位置において解除自在に結合するためのトレイ結合機構が設けられている請求項１又は２記載のクッションシート付ウエハ収納容器。
4. 上記半導体ウエハを上記ウエハ載置クッションシートに対して押し付けるための弾力性のあるウエハ押付クッションシートが上記ウエハ載置トレイの裏面側に配置されている請求項１ないし３のいずれかの項に記載のクッションシート付ウエハ収納容器。
5. 上記ウエハ押付クッションシートは、弾力的なクッションとして機能する下側のクッション機能層と、上記ウエハ載置トレイの裏面に対して着脱自在に吸着される着脱自在吸着面を有する上側の吸着機能層とを積層一体化して形成されている請求項４記載のクッションシート付ウエハ収納容器。
6. 上記ウエハ載置クッションシートの上記半導体ウエハに接触する側の面に、上記半導体ウエハに対して着脱自在に吸着される着脱自在吸着面を有する吸着機能層が上記クッション機能層と積層一体化して形成されている請求項１ないし５のいずれかの項に記載のクッションシート付ウエハ収納容器。
7. 上記半導体ウエハに対する上記ウエハ載置クッションシートの吸着力が、上記ウエハ載置トレイに対する上記ウエハ載置クッションシートの吸着力より小さく設定されている請求項６記載のクッションシート付ウエハ収納容器。
8. 上記微細吸盤の平均直径が１０μｍ〜５０μｍの範囲に形成されている請求項１ないし７のいずれかの項に記載のクッションシート付ウエハ収納容器。
9. 上記微細吸盤が、連続気泡型又は独立気泡型の発泡体の気泡が外気に開口した状態のもので形成されている請求項８記載のクッションシート付ウエハ収納容器。
10. 上記微細吸盤が、発泡エラストマー系高分子材料、発泡ゴム系高分子材料又は発泡ウレタン系高分子材料で形成されている請求項８又は９記載のクッションシート付ウエハ収納容器。
11. 上記発泡ゴム系高分子材料がアクリル酸エステル共重合体からなる発泡アクリルラテックスである請求項１０記載のクッションシート付ウエハ収納容器。
12. 上記ウエハ載置クッションシート又は上記ウエハ押付クッションシートが、上記着脱自在吸着面を有する吸着機能層と弾力的なクッションとして機能するクッション機能層とを一体に積層して構成されている請求項１ないし１１のいずれかの項に記載のクッションシート付ウエハ収納容器。
13. 上記クッション機能層が、弾力性を有するエラストマー系高分子材料又は発泡高分子材料により形成されている請求項１２記載のクッションシート付ウエハ収納容器。
14. 上記ウエハ載置クッションシート及び上記ウエハ押付クッションシートの双方又は一方の電気的な表面抵抗が１０⁸〜１０¹⁰Ωの範囲にある請求項４ないし１３のいずれかの項に記載のクッションシート付ウエハ収納容器。