JP2008021801A - 半導体装置の製造方法、半導体装置、および露光マスクデータの作成方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体基板に回路素子が形成され、該回路素子を覆うようにして多層配線部が形成された半導体装置を製造するにあたり、層間絶縁膜の元となる電気絶縁膜上に層間絶縁膜での配線の配置パターンに対応したパターンの第1開口部OP1,OP2が形成されたハードマスク100と、第1開口部と平面視上交差する第2開口部OP5が接続ビアの配置パターンに対応して形成されたレジストマスク105とをこの順番で形成し、ハードマスクおよびレジストマスクの各々をエッチングマスクとして用いて電気絶縁膜にビアホールを形成した後に、ハードマスクをエッチングマスクとして用いて電気絶縁膜に配線形成用のトレンチを形成し、その後、ビアホールおよびトレンチを導電性材料で埋めて接続ビアおよび配線の各々を得る。
【選択図】 図4−2
Description
図1は、この発明の半導体装置の一例を概略的に示す断面図である。同図に示す半導体装置70は、半導体基板10と、半導体基板10に形成された回路素子20,30と、回路素子20,30を覆うようにして半導体基板10上に形成された多層配線部60とを備えた45nm世代の半導体装置である。
この発明の半導体装置の製造方法は、前述したように、半導体基板と、該半導体基板に形成された回路素子と、該回路素子を覆うようにして半導体基板上に形成された多層配線部とを有し、多層配線部は、複数の層間絶縁膜と、該複数の層間絶縁膜それぞれに設けられた配線および接続ビアとを有する半導体装置の製造方法である。そして、該製造方法は、ハードマスク形成工程と、レジストマスク形成工程と、ビアホール形成工程と、トレンチ形成工程と、配線形成工程とを含んでいる。以下、図1に示した半導体装置70における第n層間絶縁膜50、第n層接続ビア47a、および第n層配線48a,48bを形成する場合を例にとり、図1で用いた参照符号を適宜引用して工程毎に詳述する。
ハードマスク形成工程では、層間絶縁膜の元となる電気絶縁膜上に、該電気絶縁膜を元にして形成される層間絶縁膜での配線の配置パターンに対応したパターンの下に第1開口部が形成されたハードマスクを形成する。
レジストマスク形成工程では、ハードマスクを覆うようにして、該ハードマスクに形成されている第1開口部と平面視上交差する第2開口部が層間絶縁膜での接続ビアの配置パターンに対応したパターンの下に形成されたレジストマスクを形成する。このレジストマスクは、例えば、上記の第1開口部を埋めるようにしてハードマスク上にレジスト(フォトレジストやX線レジスト等)層を形成した後、このレジスト層に所定形状の露光マスクを用いた選択的な露光処理および現像処理を順次施して所定箇所に第2開口部を形成することで得られる。このとき、第2開口部は、上述の電気絶縁膜の下地となっている層に設けられている配線(下層配線に相当する。)にアライメントさせて、すなわち第2開口部における平面視上の中心点が下層配線における長手軸上の所定の箇所と平面視上重なるようにして、形成する。
ビアホール形成工程では、上述したハードマスクおよびレジストマスクの各々をエッチングマスクとして用いて電気絶縁膜(ハードマスクが形成されている電気絶縁膜)をエッチングして、該電気絶縁膜にビアホールを形成する。このときのエッチングとしては、例えばドライエッチングを適用することができる。
トレンチ形成工程では、上述のレジストマスクを除去した後にハードマスクをエッチングマスクとして用いて電気絶縁膜をエッチングして、該電気絶縁膜に配線形成用のトレンチを形成する。このときのエッチングとしては、例えばドライエッチングを適用することができる。
配線形成工程では、上述したビアホールおよびトレンチの各々を導電性材料で埋めて接続ビアおよび配線の各々を得る。上記の導電性材料としては、例えば銅やアルミニウム等を用いることができる。
上述したレジストマスク形成工程でレジストマスクの形成に使用する露光マスクは、例えば、この発明の露光マスクデータの作成方法により得た露光マスクデータに基づいて作製することができる。露光マスクデータの作成は、例えば所定の機能を付与したコンピュータ上で行うことができる。
実施の形態3で説明した露光マスクデータの作成方法では、構造設計データでの接続ビアを上層配線の長手軸方向と平面視上直交する方向にのみ拡張することで得られる仮想接続ビア(第2仮想接続ビア)に対応した座標データをオーバーサイズステップで求めたが、この発明の露光マスクデータの作成方法では、構造設計データでの接続ビアを複数方向に拡張させることで得られる仮想接続ビアに対応した座標データをオーバーサイズステップで求めることもできる。このときのオーバーサイズステップは、実施の形態3で説明したオーバーサイズステップと同様に、第1サブステップ、第2サブステップ、および第3サブステップの3つのサブステップに分けて行うことができる。
20,30 回路素子
32a〜32d 第1層接続ビア
33a〜33d 第1層配線
35 第1層間絶縁膜
40 第2層間絶縁膜
42a 第(n−1)層接続ビア
43a,43b 第(n−1)層配線
45 第(n−1)層間絶縁膜
47a 第n層接続ビア
48b 第n層配線
50 第n層間絶縁膜
60 多層配線部
70 半導体装置
100 ハードマスク
105 レジストマスク
OP1,OP2 第1開口部
OP5 第2開口部
AL1 配線の長手軸
VH ビアホール
T1,T2 配線形成用のトレンチ
V1 接続ビア
WL1 上層配線
VV1,VV11 第1仮想接続ビア
VV2,VV12 第2仮想接続ビア
Claims (5)
- 半導体基板と、該半導体基板に形成された回路素子と、該回路素子を覆うようにして前記半導体基板上に形成された多層配線部とを有し、前記多層配線部は、複数の層間絶縁膜と、該複数の層間絶縁膜それぞれに設けられた配線および接続ビアとを有する半導体装置の製造方法であって、
層間絶縁膜の元となる電気絶縁膜上に、該電気絶縁膜を元にして形成される層間絶縁膜での配線の配置パターンに対応したパターンの下に第1開口部が形成されたハードマスクを形成するハードマスク形成工程と、
前記ハードマスクを覆うようにして、前記第1開口部と平面視上交差する第2開口部が前記層間絶縁膜での接続ビアの配置パターンに対応したパターンの下に形成されたレジストマスクを形成するレジストマスク形成工程と、
前記ハードマスクおよび前記レジストマスクの各々をエッチングマスクとして用いて前記電気絶縁膜をエッチングして、該電気絶縁膜にビアホールを形成するビアホール形成工程と、
前記レジストマスクを除去した後に前記ハードマスクをエッチングマスクとして用いて前記電気絶縁膜をエッチングして、該電気絶縁膜に配線形成用のトレンチを形成するトレンチ形成工程と、
前記ビアホールおよび前記トレンチの各々を導電性材料で埋めて前記接続ビアおよび前記配線をそれぞれ得る配線形成工程と、
を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 半導体基板と、該半導体基板に形成された回路素子と、該回路素子を覆うようにして前記半導体基板上に形成された多層配線部とを備え、前記多層配線部は、複数の層間絶縁膜と、該複数の層間絶縁膜それぞれに形成された配線および接続ビアとを有し、前記配線には線幅が45nm以下のものが含まれている半導体装置であって、
前記複数の層間絶縁膜の少なくとも1つに形成された配線および接続ビアは、デュアルダマシン構造を有しており、
前記デュアルダマシン構造を形成している接続ビアは、平面視上、当該デュアルダマシン構造を形成している配線の長手軸を対称軸とした形状を呈することを特徴とする半導体装置。 - 半導体基板と、該半導体基板に形成された回路素子と、該回路素子を覆うようにして前記半導体基板上に形成された多層配線部とを備え、前記多層配線部は、複数の層間絶縁膜と、該複数の層間絶縁膜それぞれに形成された配線および接続ビアとを有し、前記配線には線幅が45nm以下のものが含まれている半導体装置の製造に使用する露光マスクのデータ作成方法であって、
前記半導体装置の構造設計データから接続ビアの座標データを抽出するビアデータ抽出ステップと、
前記ビアデータ抽出ステップで抽出した接続ビアの座標データを座標変換して、前記接続ビアを該接続ビアの上端に接続される配線の長手軸方向と平面視上直交する方向に拡張することで得られる仮想接続ビアに対応した座標データを求めるオーバーサイズステップと、
を含むことを特徴とする露光マスクデータの作成方法。 - 前記オーバーサイズステップは、
前記接続ビアの座標データを座標変換して、前記接続ビアを前記長手軸方向と平面視上直交する方向および前記長手軸方向にそれぞれ拡張することで得られる第1仮想接続ビアに対応した座標データを求める第1サブステップと、
前記接続ビアの上端に接続される配線と前記第1仮想接続ビアとが重なる領域の座標データを求める第2サブステップと、
前記第2サブステップで求めた座標データを座標変換して、前記領域を該領域の中心点を基準にして90°回転させることで得られる第2仮想接続ビアに対応した座標データを求める第3ステップと、
を含むことを特徴とする請求項3に記載の露光マスクデータの作成方法。 - 前記オーバーサイズステップは、
前記接続ビアの座標データを座標変換して、前記接続ビアを前記長手軸方向と直交する方向および前記長手軸方向にそれぞれ拡張することで得られる第1仮想接続ビアに対応した座標データを求める第1サブステップと、
前記第1仮想接続ビアのうちで前記接続ビアの上端に接続される配線と平面視上重ならない領域の座標データを求める第2サブステップと、
前記領域と前記接続ビアとを合成することで得られる第2仮想接続ビアに対応した座標データを求める第3ステップと、
を含むことを特徴とする請求項3に記載の露光マスクデータの作成方法。
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---|---|---|---|---|
JP2000286336A (ja) * | 1999-01-13 | 2000-10-13 | Lucent Technol Inc | 集積回路の製造方法 |
JP2000294643A (ja) * | 1998-03-26 | 2000-10-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 配線構造体の形成方法 |
JP2005150493A (ja) * | 2003-11-18 | 2005-06-09 | Sony Corp | 半導体装置の製造方法 |
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2006
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